【技术实现步骤摘要】
一种丙烯酸酯类光刻胶单体的制备方法
本申请涉及有机化学合成
具体来说,本申请涉及一种丙烯酸酯类光刻胶单体的制备方法。
技术介绍
聚丙烯酸酯类化合物及其衍生物是最早一代的193nm光刻胶用树脂,聚丙烯酸酯在193nm处透明度和分辨率都很高,且其合成工艺简单,费用低廉。含内酯结构的丙烯酸酯是193nm光刻胶中常用的树脂单体,也是用量较多的单体,其极性基团在曝光后脱保护,进而溶于显影液。2-羧基-4-降冰片内酯-5-乙酰氧基甲基丙烯酸酯是一种193nm光刻胶用树脂。目前,日本住友化学的专利JP2013257539A中涉及一种合成2-羧基-4-降冰片内酯-5-乙酰氧基甲基丙烯酸酯的方法,其合成路线如下所示:在该专利文献披露的方法中,首先使(2-甲基丙烯酰氧基)-乙酸与N,N’-羰基二咪唑(CDI)反应合成中间体a,产率84.65%;然后,再使中间体a与2-羟基-4-氧杂三环[4,2,1,037]-5-壬酮反应,生成目标产物2-羧基-4-降冰片内酯-5-乙酰氧基甲基丙烯酸酯,产率34.24%。这种工艺的 ...
【技术保护点】
1.一种丙烯酸酯类光刻胶单体的制备方法,其特征在于,所述方法包括以下步骤:/nS1:在存在第一催化剂的情况下,使含卤乙酰化试剂与含羟基的降冰片烷内酯在第一溶剂中反应第一预定时间段,得到含卤乙酰化降冰片烷内酯;/nS2:在存在第二催化剂的情况下,使所述含卤乙酰化降冰片烷内酯与丙烯酸或其衍生物在第一有机溶剂中反应第二预定时间段,得到2-羧基-4-降冰片内酯-5-乙酰氧基甲基丙烯酸酯。/n
【技术特征摘要】
1.一种丙烯酸酯类光刻胶单体的制备方法,其特征在于,所述方法包括以下步骤:
S1:在存在第一催化剂的情况下,使含卤乙酰化试剂与含羟基的降冰片烷内酯在第一溶剂中反应第一预定时间段,得到含卤乙酰化降冰片烷内酯;
S2:在存在第二催化剂的情况下,使所述含卤乙酰化降冰片烷内酯与丙烯酸或其衍生物在第一有机溶剂中反应第二预定时间段,得到2-羧基-4-降冰片内酯-5-乙酰氧基甲基丙烯酸酯。
2.如权利要求1所述的丙烯酸酯类光刻胶单体的制备方法,其特征在于,所述第一预定时间段为3-6小时;
和/或,所述第二预定时间段为4-8小时。
3.如权利要求1所述的丙烯酸酯类光刻胶单体的制备方法,其特征在于,所述含卤乙酰化试剂包括氯乙酰氯或者溴乙酰溴。
4.如权利要求1所述的丙烯酸酯类光刻胶单体的制备方法,其特征在于,所述含羟基的降冰片烷内酯包括2-羟基-4-氧杂三环[4,2,1,037]-5-壬酮。
5.如权利要求1所述的丙烯酸酯类光刻胶单体的制备方法,其特征在于,所述丙烯酸或其衍生物包括丙烯酸或者甲基丙烯酸。
6.如权利要求1所述的丙烯酸酯类光刻胶单体的制备方法,其特征在于,所述第一催化剂为吡啶或其衍生物;
和/或,所述第二催化剂为氢氧化钠、氢氧化钾、碳酸钠或者碳酸...
【专利技术属性】
技术研发人员:傅志伟,贺宝元,潘新刚,余文卿,郭有壹,
申请(专利权)人:上海博栋化学科技有限公司,
类型:发明
国别省市:上海;31
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