The invention provides a liquid port distance positioning device, a method and a single crystal furnace. The liquid port distance positioning device is arranged in the single crystal furnace. When the light beam emitted by the transmitter is reflected by the reflector and coincides with the positioning hole, the positioning weight is positioned to the initial position, the preset distance is controlled to drop the weight, so as to make the weight reach the target position, and the position of the crucible is adjusted, so as to make the liquid level of silicon and the positioning piece When the lower edge contacts, the distance between the liquid silicon liquid level and the lower edge of the hot screen is the preset liquid port distance, so as to achieve the purpose of positioning the liquid port distance. The liquid port distance positioning device provided by the embodiment of the invention determines the liquid port distance by controlling the falling distance of the heavy hammer. The liquid port distance positioning accuracy is high, reducing the probability of crystal disconnection in the process of crystal drawing.
【技术实现步骤摘要】
一种液口距定位装置、方法及单晶炉
本专利技术涉及单晶炉
,特别是涉及一种液口距定位装置、方法及单晶炉。
技术介绍
随着光伏技术的不断提高,作为光伏发电基础材料的单晶硅得到快速发展,直拉法是目前生长单晶硅的主要技术,通过在单晶炉内加热多晶硅,拉制出单晶硅。液口距是单晶炉中热屏下沿距坩埚中硅液的液面的距离,在直拉生产单晶硅的过程中,无论是调温、引晶、放肩、转肩、等径,还是收尾等工序,都需要对液口距进行定位,以获得精确的液口距,从而保证拉晶过程中热场温度恒定,提高拉晶的精度。然而,现有技术中,液口距的定位主要是凭借肉眼观察,精度低,差异性大,容易导致液口距精度不够,造成拉晶的精度较差,甚至晶体断线的情况发生。
技术实现思路
鉴于上述问题,提出了本专利技术以便提供一种克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的一种液口距定位装置、方法及单晶炉。为了解决上述问题,一方面,本专利技术公开了一种液口距定位装置,设置于单晶炉内,所述单晶炉包括:壳体、热屏和盛有硅液的坩埚,所述热屏位于所述硅液的上方,所述液口距定位装置包括:固定块、发射器、牵引绳、重锤、反射器和处理器;其中,所述固定块固定在所述壳体上,所述发射器固定在所述固定块的一侧,所述牵引绳的一端与所述固定块可伸缩连接,所述牵引绳的另一端与所述重锤连接,所述重锤的下端设置有定位件;所述反射器设置在所述重锤上,所述反射器的反射面与所述发射器发射的光束承预设夹角;所述热屏上设置有定位孔;所述处理器用于,调节 ...
【技术保护点】
1.一种液口距定位装置,设置于单晶炉内,所述单晶炉包括:壳体、热屏和盛有硅液的坩埚,所述热屏位于所述硅液的上方,其特征在于,所述液口距定位装置包括:固定块、发射器、牵引绳、重锤、反射器和处理器;其中,/n所述固定块固定在所述壳体上,所述发射器固定在所述固定块的一侧,所述牵引绳的一端与所述固定块可伸缩连接,所述牵引绳的另一端与所述重锤连接,所述重锤的下端设置有定位件;/n所述反射器设置在所述重锤上,所述反射器的反射面与所述发射器发射的光束承预设夹角;/n所述热屏上设置有定位孔;/n所述处理器用于,调节所述重锤至初始位置,其中,所述初始位置指的是,所述发射器发出的光束经过所述反射器反射与所述定位孔重合时的位置;所述处理器还用于,控制所述重锤下降预设距离,以使所述重锤到达目标位置,其中,所述目标位置指的是,所述定位件下沿低于所述热屏下沿预设液口距的距离;所述处理器还用于,调节所述坩埚的位置,以使所述硅液液面与所述定位件下沿接触。/n
【技术特征摘要】
1.一种液口距定位装置,设置于单晶炉内,所述单晶炉包括:壳体、热屏和盛有硅液的坩埚,所述热屏位于所述硅液的上方,其特征在于,所述液口距定位装置包括:固定块、发射器、牵引绳、重锤、反射器和处理器;其中,
所述固定块固定在所述壳体上,所述发射器固定在所述固定块的一侧,所述牵引绳的一端与所述固定块可伸缩连接,所述牵引绳的另一端与所述重锤连接,所述重锤的下端设置有定位件;
所述反射器设置在所述重锤上,所述反射器的反射面与所述发射器发射的光束承预设夹角;
所述热屏上设置有定位孔;
所述处理器用于,调节所述重锤至初始位置,其中,所述初始位置指的是,所述发射器发出的光束经过所述反射器反射与所述定位孔重合时的位置;所述处理器还用于,控制所述重锤下降预设距离,以使所述重锤到达目标位置,其中,所述目标位置指的是,所述定位件下沿低于所述热屏下沿预设液口距的距离;所述处理器还用于,调节所述坩埚的位置,以使所述硅液液面与所述定位件下沿接触。
2.根据权利要求1所述的液口距定位装置,其特征在于,所述定位件为籽晶。
3.根据权利要求2所述的液口距定位装置,其特征在于,所述重锤的下端设置有夹头,所述夹头用于夹持所述籽晶。
4.根据权利要求1所述的液口距定位装置,其特征在于,所述预设距离...
【专利技术属性】
技术研发人员:李小龙,李强,涂准,
申请(专利权)人:宁夏隆基硅材料有限公司,
类型:发明
国别省市:宁夏;64
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