The invention provides a single crystal furnace finishing method which can improve the finishing success rate, belonging to the technical field of single crystal silicon production. In this method, the temperature is set to enter the ending, and the rise of the crucible at the beginning of the ending continues to be calculated and set according to the ratio of the crucible to the follow-up. When the ending is completed, the first ending crystal bar is obtained, and the tail part of the first ending crystal bar is bisected and scribed, and the first ending coordinate spectrum is obtained. The first ending crystal bar is placed on the first ending coordinate spectrum, and the temperature and pulling speed are adjusted according to the trend of the fast or slow ending, so repeated Several times, the finishing process can be adjusted completely without human intervention. The success rate of closing was obviously improved, and the closing process did not need human intervention, reducing the intensity of human operation. What's more, the parameter data obtained by this method overcomes the influence of external factors and has a better ending effect on the same batch of monocrystalline silicon rods. At the same time, the obtained monocrystalline silicon rods have smooth tail, regular shape, reduced stress and are not easy to be damaged.
【技术实现步骤摘要】
能够提高收尾成功率的单晶炉收尾方法
本专利技术属于单晶硅生产
,具体涉及一种能够提高收尾成功率的单晶炉收尾方法。
技术介绍
利用直拉单晶炉生产单晶硅棒工艺过程中,晶体等径生长完成后,如果将晶体与熔液立即分开,因热应力原因会在晶体中产生位错和滑移线,并延晶体向上延伸,其延伸长度可达晶体一个直径,为了避免这种情况发生,必须将晶体直径慢慢缩小,直至缩尖才与液面分开,这一过程即为收尾。实际收尾过程中,速度和温度由拉晶炉的控制系统进行调控,收尾收进去后看不到光圈,这时是通过晶棒在液面上倒影的亮暗程度来判断收尾快或慢,需要操作人员的经验及频繁观察,即在收尾无法直观的判断收尾工艺中温度与拉速是否合适,只能依靠人员来进行。但当拉晶直径大于300mm至450mm及更大直径时,此时观察晶棒到液面的倒影以很难直接观察到了,且经验观察具有一定的延迟效应,收出的尾部可能一会长大一会缩小,增加了收尾难度、晶体也易失去单晶结构或收断,致使收尾失败。现有技术中,提供的一种CZ-80单晶炉自动收尾方法,设定单晶收尾开始时的单晶拉速和温校值的,并依据单晶收尾结束前随单晶收尾长度的变化而调节单晶拉速和温校值,该自动收尾方法解决了人工收尾过度依赖操作人员工作经验及大量人力被浪费的技术问题。然而,采用该自动收尾方法所得到的单晶硅棒的尾部呈现半径逐渐缩小的波纹管状,在突变处存在较大的应力,易导致单晶硅棒尾部断裂,影响单晶硅棒收尾成功率。
技术实现思路
有鉴于此,本专利技术提供一种能够提高收尾成功率的单晶炉收尾方 ...
【技术保护点】
1.一种能够提高收尾成功率的单晶炉收尾方法,其特征在于:包括以下步骤:/na. 以预定拉速作为单晶硅棒进入收尾的拉速;/nb. 根据单晶硅棒直径与坩埚内径的比值控制埚升;/nc. 以步骤a、步骤b 的方法完成第一次收尾,并获得第一收尾晶棒,对第一收尾晶棒的尾部等比例划线;以第一次收尾的单晶硅棒的长度为X轴,分别以第一次收尾的收尾温度、收尾拉速为Y轴,获取第一收尾坐标谱图;/nd. 将等比例划线的第一收尾晶棒放置与第一收尾坐标谱图上,并使得第一收尾晶棒的轴线平行第一收尾坐标谱图的X轴,此时,根据第一收尾晶棒的异形趋势对对应长度处的收尾温度或收尾拉速进行调整,获得第一次调整后收尾温度与收尾拉速数据;/ne. 以第一次调整后收尾温度与收尾拉速数据完成第二次收尾,重复上述步骤c、步骤d,获得第二次调整后收尾温度与收尾拉速数据;/nf. 参考步骤c、步骤d、步骤e,以第N次调整后收尾温度与收尾拉速数据完成第(N+1)次收尾,直至所得第N收尾晶棒的尾部形状规整,其中N为≥1的整数;/ng. 以第N次调整后收尾温度与收尾拉速数据作为单晶炉收尾控制参数,投入生产。/n
【技术特征摘要】
1.一种能够提高收尾成功率的单晶炉收尾方法,其特征在于:包括以下步骤:
a.以预定拉速作为单晶硅棒进入收尾的拉速;
b.根据单晶硅棒直径与坩埚内径的比值控制埚升;
c.以步骤a、步骤b的方法完成第一次收尾,并获得第一收尾晶棒,对第一收尾晶棒的尾部等比例划线;以第一次收尾的单晶硅棒的长度为X轴,分别以第一次收尾的收尾温度、收尾拉速为Y轴,获取第一收尾坐标谱图;
d.将等比例划线的第一收尾晶棒放置与第一收尾坐标谱图上,并使得第一收尾晶棒的轴线平行第一收尾坐标谱图的X轴,此时,根据第一收尾晶棒的异形趋势对对应长度处的收尾温度或收尾拉速进行调整,获得第一次调整后收尾温度与收尾拉速数据;
e.以第一次调整后收尾温度与收尾拉速数据完成第二次收尾,重复上述步骤c、步骤d,获得第二次调整后收尾温度与收尾拉速数据;
f.参考步骤c、步骤d、步骤e,以第N次调整后收尾温度与收尾拉速数据完成第(N+1)次收尾,直至所得第N收尾晶棒的尾部形状规整,其中N为≥1的整数;
g.以第N次调整后收尾温度与收尾拉速数据作为单晶炉收尾控制参数,投入生产。
2.如权利要求1所述的能够提高收尾成功率的单晶炉收尾方法,其特征在于:步骤d中,“根据第一收尾晶棒的异形趋势对对应长度处的收尾温度或收尾拉速进行调整”的具体调整方法为:
若异形趋势表现为偏快,则下调拉速和/或下调温度;
若异形趋势表现为偏慢,则...
【专利技术属性】
技术研发人员:梁万亮,马国忠,丁亚国,顾燕滨,河野贵之,
申请(专利权)人:宁夏银和新能源科技有限公司,
类型:发明
国别省市:宁夏;64
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。