用于间接控制拉晶直径的测量装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种用于间接控制拉晶直径的测量装置，包括生产状态影像获取组件、影像显示组件及测量组件，生产状态影像获取组件固定安装于拉晶炉上，影像显示组件电性连接生产状态影像获取组件，测量组件安装于影像显示组件上，用于通过测量，并从影像显示组件所显示的生产状态影像中获取拉晶直径的可参考数据。该装置解决了现有技术中存在的拉制大直径晶棒时或由于设计缺陷，通过测径仪无法直径获取拉晶直径的技术问题。实现精准控制拉晶直径，防止拉晶直径过大造成原料浪费，或者拉晶直径过小导致晶棒报废或降级。同时，可显著降低操作人员进入生产车间的频次，显著降低操作人员靠近拉晶炉进行操作的频次，实现本质安全生产。

【技术实现步骤摘要】
用于间接控制拉晶直径的测量装置
本技术属于单晶硅生产
，具体涉及一种用于间接控制拉晶直径的测量装置。
技术介绍
采用直拉法生产单晶硅，其中在等径工序中，必须定时的去测量晶棒直径，以确保拉晶晶棒的直径满足客户规格，直径偏大，容易造成材料浪费，偏小则导致产品报废或降级，给生产造成不必要的损失。一般量取直径是通过主视窗口上的附件，目镜和刻度条确认目测直径，此目测直径受人员差异，目镜移动差异影响，特别新员工，目镜松动，容易造成拉制产品直径不合适。同时，有些单晶炉炉台因所拉制的晶棒直径太大或原有设计未考虑到拉制大直径的晶棒，通过测径仪直接测量，则无法测量到直径。特别是拉制大直径单晶晶棒，如利用28吋热场拉制直径18.5吋晶棒，本身晶棒拉制难度就大，若无法准确控制住直径，可能就会太大，又增加了拉晶难度，且埚跟比无法准确输入，液面距离热屏底部的距离GAP无法保证，这样可能需要人为干预，致使生长界面上下波动，晶棒失去单晶结构。
技术实现思路
有鉴于此，本技术提供一种用于间接控制拉晶直径的测量装置，以解决现有技术中存在的拉制大直径晶棒时或由于设计缺陷，通过测径仪无法直径获取拉晶直径的技术问题。实现精准控制拉晶直径，防止拉晶直径过大造成原料浪费，或者拉晶直径过小导致晶棒报废或降级。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种用于间接控制拉晶直径的测量装置，设置于拉晶炉上，包括：生产状态影像获取组件，所述生产状态影像获取组件固定安装于拉晶炉上，用于获取拉晶炉内的生产状态影像；>影像显示组件，所述影像显示组件电性连接所述生产状态影像获取组件，用于接收并显示所述生产状态影像；以及测量组件，所述测量组件安装于所述影像显示组件上，用于通过测量，并从所述影像显示组件所显示的生产状态影像中获取拉晶直径的可参考数据。优选地，所述生产状态影像获取组件为CCD光学摄像机、光学成像仪或光学照相机中的一种。优选地，所述影像显示组件通过有线或无线的方式与所述生产状态影像获取组件电性连接。优选地，所述测量组件包括U型夹持卡及测量直尺，所述U型夹持卡能够固定夹持于所述影像显示组件的一侧，所述测量直尺的一端铰接连接所述U型夹持卡，且尺身平行于所述影像显示组件，所述测量直尺能够在平行于所述影像显示组件的平面内转动。优选地，所述测量组件还包括量角定位尺，所述量角定位尺固定连接所述U型夹持卡，且平行于所述影像显示组件设置，所述测量直尺铰接连接于所述量角定位尺上。优选地，所述量角定位尺为透明材质的半圆形量角器。优选地，所述U型夹持卡上设置有若干固定螺母，所述固定螺母能够将所述U型夹持卡固定于所述影像显示组件上。优选地，所述测量直尺为透明材质的方形尺。由上述技术方案可知，本技术提供了一种用于间接控制拉晶直径的测量装置，其有益效果是：将所述生产状态影像获取组件安装于拉晶炉上，并通过拉晶炉上原设计的测量或观测视窗获取包括包含有热屏影像、硅熔汤影像以及呈明显光亮部的结晶面影像在内的生产状态影像，并将该生产状态影像上传至所述影像显示组件。通过所述测量组件测量热屏影像内侧某一点到结晶面影像的垂直距离，以该距离作为调整拉晶直径的控制指标，一方面，在所述生产状态影像中，能够获取完整的测量视窗，从而解决了由于晶棒直径过大或单晶炉设计缺陷，导致通过传统测径仪无法直接获取拉晶直径，造成拉晶直径失控的技术问题。另一方面，提供了一种新的控制拉晶直径的方式，克服通过传统测径仪无法直接获取拉晶直径的问题的同时，为操作人员测量并控制拉晶直径提供可靠的参考，有利于降低由于测径仪本身、测径仪操作过程及操作人员主观因素引入的测量误差。同时，将获取的生产状态影像投射到所述影像显示组件上，所述影像显示组件可以设置在远离生产车间、远离拉晶炉的地方，如此则可以显著降低操作人员进入生产车间的频次，显著降低操作人员靠近拉晶炉进行操作的频次，实现本质安全生产。附图说明图1是间接控制拉晶直径的测量装置的主视图。图2是在所述影像显示组件上显示的生产状态影像示意图。图3是间接控制拉晶直径的测量装置的后视图。图中：用于间接控制拉晶直径的测量装置10、生产状态影像获取组件100、影像显示组件200、测量组件300、U型夹持卡310、固定螺母311、测量直尺320、量角定位尺330、热屏影像1、硅熔汤影像2、结晶面影像3。具体实施方式以下结合本技术的附图，对本技术的技术方案以及技术效果做进一步的详细阐述。请参看图1与图2，一具体实施方式中，一种用于间接控制拉晶直径的测量装置10，设置于拉晶炉上，包括：生产状态影像获取组件100、影像显示组件200及测量组件300。所述生产状态影像获取组件100固定安装于拉晶炉上，用于获取拉晶炉内的生产状态影像。所述影像显示组件200电性连接所述生产状态影像获取组件100，用于接收并显示所述生产状态影像。所述测量组件300安装于所述影像显示组件200上，用于通过测量，并从所述影像显示组件200所显示的生产状态影像中获取拉晶直径的可参考数据。例如，所述生产状态影像获取组件100为CCD光学摄像机、光学成像仪或光学照相机中的一种，将所述生产状态影像获取组件100安装于拉晶炉上，并通过拉晶炉上原设计的测量或观测视窗获取包括包含有热屏影像1、硅熔汤影像2以及呈明显光亮部的结晶面影像3在内的生产状态影像，并将该生产状态影像上传至所述影像显示组件200。通过所述测量组件300测量热屏影像内侧某一点到结晶面影像的垂直距离，以该距离作为调整拉晶直径的控制指标，一方面，在所述生产状态影像中，能够获取完整的测量视窗，从而解决了由于晶棒直径过大或单晶炉设计缺陷，导致通过传统测径仪无法直接获取拉晶直径，造成拉晶直径失控的技术问题。另一方面，提供了一种新的控制拉晶直径的方式，克服通过传统测径仪无法直接获取拉晶直径的问题的同时，为操作人员测量并控制拉晶直径提供可靠的参考，有利于降低由于测径仪本身、测径仪操作过程及操作人员主观因素引入的测量误差。同时，将获取的生产状态影像投射到所述影像显示组件上，所述影像显示组件可以设置在远离生产车间、远离拉晶炉的地方，如此则可以显著降低操作人员进入生产车间的频次，显著降低操作人员靠近拉晶炉进行操作的频次，实现本质安全生产。一实施例中，所述影像显示组件200通过有线或无线的方式与所述生产状态影像获取组件100电性连接，优选地，所述影像显示组件200通过无线的方式与所述生产状态影像获取组件100通讯。也就是说，所述生产状态影像获取组件100所采集的生产状态影像以数据的形式被上传至所述影像显示组件200上，并在所述影像显示组件200上获得可直观观测的生产状态影像。安装调试方便，显著降低操作人员进入生产车间的频次，显著降低操作人员靠近拉晶炉进行操作的频次，实现本质安全生产。一实施例中，所述测量组件300包括U型夹持卡310及测量直尺320，所述U型夹持卡310能够固定夹持于所述影像本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于间接控制拉晶直径的测量装置，设置于拉晶炉上，其特征在于，包括：/n生产状态影像获取组件，所述生产状态影像获取组件固定安装于拉晶炉上，用于获取拉晶炉内的生产状态影像；/n影像显示组件，所述影像显示组件电性连接所述生产状态影像获取组件，用于接收并显示所述生产状态影像；以及/n测量组件，所述测量组件安装于所述影像显示组件上，用于通过测量，并从所述影像显示组件所显示的生产状态影像中获取拉晶直径的可参考数据。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于间接控制拉晶直径的测量装置，设置于拉晶炉上，其特征在于，包括：
生产状态影像获取组件，所述生产状态影像获取组件固定安装于拉晶炉上，用于获取拉晶炉内的生产状态影像；
影像显示组件，所述影像显示组件电性连接所述生产状态影像获取组件，用于接收并显示所述生产状态影像；以及
测量组件，所述测量组件安装于所述影像显示组件上，用于通过测量，并从所述影像显示组件所显示的生产状态影像中获取拉晶直径的可参考数据。


2.如权利要求1所述的用于间接控制拉晶直径的测量装置，其特征在于，所述生产状态影像获取组件为CCD光学摄像机、光学成像仪或光学照相机中的一种。


3.如权利要求2所述的用于间接控制拉晶直径的测量装置，其特征在于，所述影像显示组件通过有线或无线的方式与所述生产状态影像获取组件电性连接。


4.如权利要求1所述的用于间接控制拉晶直径的测量装置，其特征在于，所述测量组件包括U...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁万亮，丁亚国，马国忠，顾燕滨，河野贵之，
申请(专利权)人：宁夏银和新能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：宁夏;64