用于间接控制拉晶直径的测量装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种用于间接控制拉晶直径的测量装置，包括生产状态影像获取组件、影像显示组件及测量组件，生产状态影像获取组件固定安装于拉晶炉上，影像显示组件电性连接生产状态影像获取组件，测量组件安装于影像显示组件上，用于通过测量，并从影像显示组件所显示的生产状态影像中获取拉晶直径的可参考数据。该装置解决了现有技术中存在的拉制大直径晶棒时或由于设计缺陷，通过测径仪无法直径获取拉晶直径的技术问题。实现精准控制拉晶直径，防止拉晶直径过大造成原料浪费，或者拉晶直径过小导致晶棒报废或降级。同时，可显著降低操作人员进入生产车间的频次，显著降低操作人员靠近拉晶炉进行操作的频次，实现本质安全生产。

【技术实现步骤摘要】
用于间接控制拉晶直径的测量装置
本技术属于单晶硅生产
，具体涉及一种用于间接控制拉晶直径的测量装置。
技术介绍
采用直拉法生产单晶硅，其中在等径工序中，必须定时的去测量晶棒直径，以确保拉晶晶棒的直径满足客户规格，直径偏大，容易造成材料浪费，偏小则导致产品报废或降级，给生产造成不必要的损失。一般量取直径是通过主视窗口上的附件，目镜和刻度条确认目测直径，此目测直径受人员差异，目镜移动差异影响，特别新员工，目镜松动，容易造成拉制产品直径不合适。同时，有些单晶炉炉台因所拉制的晶棒直径太大或原有设计未考虑到拉制大直径的晶棒，通过测径仪直接测量，则无法测量到直径。特别是拉制大直径单晶晶棒，如利用28吋热场拉制直径18.5吋晶棒，本身晶棒拉制难度就大，若无法准确控制住直径，可能就会太大，又增加了拉晶难度，且埚跟比无法准确输入，液面距离热屏底部的距离GAP无法保证，这样可能需要人为干预，致使生长界面上下波动，晶棒失去单晶结构。
技术实现思路
有鉴于此，本技术提供一种用于间接控制拉晶直径的测量装置，以解决现有技术中存在的拉制大直本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于间接控制拉晶直径的测量装置，设置于拉晶炉上，其特征在于，包括：/n生产状态影像获取组件，所述生产状态影像获取组件固定安装于拉晶炉上，用于获取拉晶炉内的生产状态影像；/n影像显示组件，所述影像显示组件电性连接所述生产状态影像获取组件，用于接收并显示所述生产状态影像；以及/n测量组件，所述测量组件安装于所述影像显示组件上，用于通过测量，并从所述影像显示组件所显示的生产状态影像中获取拉晶直径的可参考数据。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于间接控制拉晶直径的测量装置，设置于拉晶炉上，其特征在于，包括：
生产状态影像获取组件，所述生产状态影像获取组件固定安装于拉晶炉上，用于获取拉晶炉内的生产状态影像；
影像显示组件，所述影像显示组件电性连接所述生产状态影像获取组件，用于接收并显示所述生产状态影像；以及
测量组件，所述测量组件安装于所述影像显示组件上，用于通过测量，并从所述影像显示组件所显示的生产状态影像中获取拉晶直径的可参考数据。


2.如权利要求1所述的用于间接控制拉晶直径的测量装置，其特征在于，所述生产状态影像获取组件为CCD光学摄像机、光学成像仪或光学照相机中的一种。


3.如权利要求2所述的用于间接控制拉晶直径的测量装置，其特征在于，所述影像显示组件通过有线或无线的方式与所述生产状态影像获取组件电性连接。


4.如权利要求1所述的用于间接控制拉晶直径的测量装置，其特征在于，所述测量组件包括U...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁万亮，丁亚国，马国忠，顾燕滨，河野贵之，
申请(专利权)人：宁夏银和新能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：宁夏;64