一种硅片精磨抛光工装及硅片抛光设备，包括固定连接组件、抛光打磨件、连接杆，所述连接杆的上端与固定连接组件固定连接，所述抛光打磨件固定设置在连接杆的下端；本实用新型专利技术通过设置的固定连接组件将连接杆固定，并将抛光打磨件固定在连接杆上，避免在抛光的作业过程中，抛光打磨件掉落或位移，造成抛光异常，本实用新型专利技术结构简单，操作方便，不仅解决了硅片抛光的问题，也提高了整个生产效率，降低了成本。
【技术实现步骤摘要】
硅片精磨抛光工装及硅片抛光设备
本技术涉及硅片生产设备
，尤其涉及一种硅片精磨抛光工装及硅片抛光设备。
技术介绍
精磨抛光机抛光是指用抛光砂轮将大尺寸硅片磨平整或抛光的操作过程。随着半导体市场日趋激烈，客户对产品的精度、外观越来越高，硅片表面线痕及粗糙度方面尤为重要，目前采用的是进口抛光砂和抛光布配合抛光，会造成成本过高和效率低下的情况。现有技术中公开的抛光装置，结构复杂，成本高效率低下，不能满足大尺寸硅片生产过程中快速简单的抛光需求。
技术实现思路
有鉴于此，有必要提供一种硅片精磨抛光工装；还有必要提供一种硅片抛光设备。一种硅片精磨抛光工装，包括固定连接组件、抛光打磨件、连接杆，所述连接杆的上端与固定连接组件固定连接，所述抛光打磨件固定设置在连接杆的下端，用于对硅片进行抛光。优选的，所述固定连接组件包括联动杆、连接端部、锁紧顶杆，所述联动杆的一端与连接端部的侧壁固定连接，所述连接端部套装在连接杆上，并通过锁紧顶杆将连接端部与连接杆相固定。优选的，所述连接端部的顶部开设有安装孔，所述安装孔沿连接端部的顶部向下贯穿整个连接端部。优选的，所述连接端部远离联动杆的一侧表面上开设有锁紧孔，所述锁紧孔与安装孔贯通，所述安装孔套装在连接杆上，锁紧顶杆穿过锁紧孔后将连接端部与连接杆相固定。优选的，所述锁紧孔的内壁上设置有螺纹，所述锁紧顶杆的外壁上开设有与锁紧孔内壁上的螺纹相匹配的螺纹。优选的，所述抛光打磨件套装在连接杆的下端，且抛光打磨件与连接杆通过轴承连接。优选的，所述抛光打磨件远离连接杆的一侧表面上开设有沉孔。优选的，所述抛光打磨件远离连接杆的一侧表面上设置有打磨层。优选的，所述连接杆的下端固定设置有定位头，定位头位于抛光打磨件上的沉孔内。一种硅片抛光设备，所述硅片抛光设备包括硅片精磨抛光工装。本技术采用上述技术方案，其有益效果在于：该技术包括固定连接组件、抛光打磨件、连接杆，所述连接杆的上端与固定连接组件固定连接，所述抛光打磨件固定设置在连接杆的下端；本技术通过设置的固定连接组件将连接杆固定，并将抛光打磨件固定在连接杆上，避免在抛光的作业过程中，抛光打磨件掉落或位移，造成抛光异常，本技术结构简单，操作方便，不仅解决了硅片抛光的问题，也提高了整个生产效率，降低了成本。附图说明图1为本技术的结构示意图。图2为本技术固定连接组件的结构示意图。图中：固定连接组件01、联动杆11、连接端部12、锁紧顶杆13、安装孔14、锁紧孔15、抛光打磨件02、沉孔21、连接杆03、定位头31。具体实施方式请参看图1至图2，本技术实施例提供了一种硅片精磨抛光工装，包括固定连接组件01、抛光打磨件02、连接杆03，固定连接件是固定安装在抛光机上的，通过抛光机带动固定连接件左右摆动，所述连接杆03的上端与固定连接组件01固定连接，所述抛光打磨件02固定设置在连接杆03的下端，用于对硅片进行抛光。通过设置的固定连接组件01将连接杆03固定，并将抛光打磨件02固定在连接杆03上，避免在抛光的作业过程中，抛光打磨件02掉落或位移，造成抛光异常，不仅解决了硅片抛光的问题，也提高了整个生产效率，降低了成本。所述固定连接组件01包括联动杆11、连接端部12、锁紧顶杆13，所述联动杆11的一端与连接端部12的侧壁固定连接，所述连接端部12套装在连接杆03上，并通过锁紧顶杆13将连接端部12与连接杆03相固定。所述连接端部12的顶部开设有安装孔14，所述安装孔14沿连接端部12的顶部向下贯穿整个连接端部12。所述连接端部12远离联动杆11的一侧表面上开设有锁紧孔15，所述锁紧孔15与安装孔14贯通，所述安装孔14套装在连接杆03上，锁紧顶杆13穿过锁紧孔15后将连接端部12与连接杆03相固定。所述锁紧孔15的内壁上设置有螺纹，所述锁紧顶杆13的外壁上开设有与锁紧孔15内壁上的螺纹相匹配的螺纹。所述抛光打磨件02套装在连接杆03的下端，且抛光打磨件02与连接杆03通过轴承连接。所述抛光打磨件02远离连接杆03的一侧表面上设置有打磨层，其中打磨层为圆环状金刚砂磨削层，圆环状金刚砂磨削层分为8瓣，每瓣之间有凹槽进行排水。在对硅片进行抛光时，可以使抛光打磨件02可以沿连接杆03的周向方向转动，提高抛光效率。所述抛光打磨件02远离连接杆03的一侧表面上开设有沉孔21。所述连接杆03的下端固定设置有定位头31，定位头31位于抛光打磨件02上的沉孔21内，定位头31可以用于支撑连接抛光打磨件02，使抛光打磨件02能够较为稳固的与连接杆03固定。在使用的时候，将联动杆11固定在抛光机上，而需要打磨的硅片是固定在抛光机的圆形工作台面上的，将抛光打磨件02固定在连接杆03上后，启动抛光机，使抛光机上的圆形工作台面转动，从而使硅片一起转动，此时，抛光机带动联动杆11左右摆动，从而使抛光打磨件02沿硅片表面左右摆动，对硅片进行抛光，在抛联动杆11左右摆动的过程中，抛光打磨件02能够沿着连接杆03的周向方向转动，此时，硅片在圆形工作台面的带动下周向转动，而抛光打磨件02不仅左右摆动的同时，还能够周向自转，这样就可以大大提高抛光效率。一种硅片抛光设备，所述硅片抛光设备包括硅片精磨抛光工装。以上所揭露的仅为本技术较佳实施例而已，当然不能以此来限定本技术之权利范围，本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例的全部或部分流程，并依本技术权利要求所作的等同变化，仍属于技术所涵盖的范围。本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种硅片精磨抛光工装，其特征在于：包括固定连接组件、抛光打磨件、连接杆，所述连接杆的上端与固定连接组件固定连接，所述抛光打磨件固定设置在连接杆的下端，用于对硅片进行抛光。/n
【技术特征摘要】
1.一种硅片精磨抛光工装，其特征在于：包括固定连接组件、抛光打磨件、连接杆，所述连接杆的上端与固定连接组件固定连接，所述抛光打磨件固定设置在连接杆的下端，用于对硅片进行抛光。
2.根据权利要求1所述的硅片精磨抛光工装，其特征在于：所述固定连接组件包括联动杆、连接端部、锁紧顶杆，所述联动杆的一端与连接端部的侧壁固定连接，所述连接端部套装在连接杆上，并通过锁紧顶杆将连接端部与连接杆相固定。
3.根据权利要求2所述的硅片精磨抛光工装，其特征在于：所述连接端部的顶部开设有安装孔，所述安装孔沿连接端部的顶部向下贯穿整个连接端部。
4.根据权利要求3所述的硅片精磨抛光工装，其特征在于：所述连接端部远离联动杆的一侧表面上开设有锁紧孔，所述锁紧孔与安装孔贯通，所述安装孔套装在连接杆上，锁紧顶杆穿过锁紧孔后将连接端部与连接杆相固定。
...
【专利技术属性】
技术研发人员：许小鹏，马俊廷，丁亚国，张洪标，
申请(专利权)人：宁夏银和新能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：宁夏;64
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