本发明专利技术提供一种流体控制装置，即使使用棒形的管式加热器，也不需要与其长度相应的替换空间，只要存在与其宽度相应的替换空间即可对其进行维护，能够抑制设置面积的增加。在支承部件（２）上设有在侧方开口的凹部（２ａ）。加热器部件（３）以能够从侧方安装或拆卸的方式被插入支承部件（２）的凹部（２ａ）中并固定。支承部件（２）由两片板状部件（２１）、（２２）重叠而形成，其横截面为コ字形。加热器部件（３）插入在由两片板状部件（２１）、（２２）所形成的凹部（２ａ）中并由内六角螺栓（２６）固定。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及半导体制造装置等所使用的流体控制装置，特别是 涉及带加热装置的流体控制装置。
技术介绍
专利文献1中公开了一种加热装置，用于对流体控制装置进行 加热，在流体控制装置的底座上固定有按前后顺序呈串联状配置的多个流体控制仪器，加热装置包括配置在流体控制装置左右两侧 的至少单侧上的作为加热器部件的带式加热器；由底壁和侧壁构成， 底壁被螺紋部件固定于底座，侧壁使带式加热器抵接于各流体控制 仪器的多个支架。另一方面，作为加热流体控制装置的加热器部件，具有管式加 热器，管式加热器能够应对高输出，适用于高温处理或带式加热器 不适用的位置的加热。专利文献1:日本特开平10-246356号公报
技术实现思路
在专利文献1的加热装置中，由于在底座上需要设置用于安装 支架底壁的部分，所以存在必须增加流体控制装置的设置面积的问 题。出于集成化方面的考虑，不希望增加这样的设置面积，但在用 带式加热器从侧面进行加热时，即使不使用支架，也会增加与带式 加热器的厚度相应的设置面积。因此，为了解决上述带式加热器的问题，虽然考虑到使用管式 加热器并使其夹在多个流体控制仪器和底座之间，但由于管式加热 器为棒形，在加热器断线时的替换等维护时，需要有与其长度相应的替换空间，因此，使用管式加热器时，存在着必须要考虑到维护 时如何确保替换空间而进行设计的问题。本专利技术的目的在于提供一种流体控制装置，即使使用棒形的管 式加热器，也不需要有与其长度相应的替换空间，只要具有与宽度 相应的替换空间即可进行维护，与此同时能够抑制设置面积的增加。本专利技术的技术方案1的流体控制装置中，串联状配置的多个流 体控制仪器被支承部件支承，其中，在支承部件上设有在侧方开口 的凹部，加热器部件以能够>^人侧方安装或拆卸的方式插入该凹部。作为流体控制装置例如以在入口侧和出口侧分别设有开关阀的 质量流量控制器为基本结构，根据需要再增加过滤器、调整器等各 种流体控制仪器而构成。也有的流体控制仪器是分别设于入口和出 口的带管连接部的块状接头部件、使相邻流体控制仪器相互连通的多个带V字形通路的块状连接部件等。支承部件由不锈钢等的金属制成，在支承部件的上表面上，以 规定的间距设有用于安装流体控制仪器的多个螺紋孔。支承部件可 以由截面为-字形的一个部件形成，也可以由两个部件构成。支岸义 部件被制成为，其长度比多个流体控制仪器在配置方向上的全长更 长，在该支承部件的两端部设有通孔，供将支承部件安装至底座的 螺紋部件插入。作为加热器部件，可以是在金属制成的管中设置电热线的管式 加热器，也可以是将电热线织入玻璃纤维材料的带式加热器，另外， 也可以使用封装加热器、微型加热器、板式加热器等各种类型的加热器。由于加热器部件能够相对侧方向设于支承部件的凹部安装拆 卸，所以只要具有用于在宽度方向上将加热器部件取出的宽度相应 的空间，就能够替换加热器部件。技术方案2的流体控制装置在技术方案1的装置的基础上，通 过两片板状部件相重叠，支承部件被形成为横截面为-字形，加热 器部件被插入由两片板状部件所形成的凹部中，并通过螺紋部件被固定。作为支承部件，可以通过以两片平坦的板状部件夹着垫片重叠 而形成为横截面为3字形，也可以通过至少其中一个板状部件上形 成有厚壁部的两片^反状部件重叠，而形成为4黄截面为3字形。技术方案3的流体控制装置在技术方案2的装置的基础上，其 中一片板状部件是平坦的板，另一板状部件是带阶梯的板，所述带 阶梯的板由与平坦的板重叠并结合的厚壁部、以及与平坦的板隔开 间隔正对的薄壁部构成。带阶梯的板的厚壁部设置在长度方向的全长范围内，由此，支 承部件的整个横截面形成为3字形。加热器部件、平坦的板、以及 带阶梯的板被制成相同长度。平坦的板与带阶梯的板的结合优选通 过螺紋部件实现，在这种情况下，在两板的重叠部设有供螺紋部件 插入的通孔，通过使插入该通孔的螺钉与设于底座的螺紋孔的旋合， 同时实现板相互的结合、和将支承部件安装至底座。同样地，关于 加热器部件的固定，设有将平坦的板、加热器部件、以及带阶梯的板全部贯穿的通孔，通过使插入该通孔的螺钉与设于底座的螺紋孔 的旋合，同时实现加热器的固定、以及将加热器部件和支承部件安 装至底座。若在流体控制装置的周围存在空间，则在长度方向上和 宽度方向上都能够将加热器部件取出。技术方案4的流体控制装置在技术方案3的装置的基础上，加 热器部件包括棒形加热器主体；导热板，其具有棒形加热器主体 以能够安装或拆卸的方式插入其中的加热器插入孔，带阶梯的板的 薄壁部的宽度比板整个宽度的一半大，设置加热器插入孔，使得棒 形加热器主体位于支承部件的宽度方向中央。棒形加热器主体例如被制成管式加热器。管式加热器具有一 端部封闭另一端部开口的金属制成的管；设在管内部的镍铬合金线 等的电热线、以及镁粉等的填充材料；与电热线相连接的引出线。 管式加热器的输出功率大，能够进行高温加热。管式加热器例如由 温度控制器对电压进行开或关的控制而达到控制温度。用于控制温度的传感器例如使用白金薄膜温度传感器、封装型k型热电偶等。导热板由热传递性好的材质例如铝制成，通过使棒形加热器主 体被紧密地插入加热器插入孔，来自棒形加热器主体的热量经由导 热板被效率良好地传递至支承部件。棒形加热器主体通常是截面为 圆形的杆状，与此相应，加热器插入孔也净皮制成截面为圆形。净皮插 入加热器插入孔的棒形加热器主体，例如通过从导热纟反的侧面拧入 的螺钉而被固定，由此，棒形加热器主体与加热器插入孔的周面紧 密接触并以能够自由安装或拆卸的方式支承于导热板。而且，通过 使带阶梯的板的薄壁部的宽度比板的整个宽度的一半大，能够使棒 形加热器主体正好位于支承部件的宽度方向中央，由此，能够在宽 度方向上实现均匀加热。在利用带式加热器进行加热时，由于带式加热器易变形因而若 不以夹子等将其压在流体控制仪器上，则会在带式加热器与流体控 制仪器之间产生空气层从而成为绝热层，通过以上述的结构使用棒 形加热器，能够改善加热器与流体控制仪器的紧密接触性，能够防 止演变为绝热层的空气层的产生。本专利技术的流体控制装置，通常是由一个装置(集成化流体控制 装置)构成一条管线，多个管线是分别以规定的间隔(管线间距尺 寸)并列地配置在底座上的。集成化流体控制装置由于是与其他装 置组合而作为半导体制造用的气体供给装置使用的，因而在底座的 设置面积上存在着制约，难以在底座的周围确保充分的空间。用带 式加热器从流体控制仪器的侧面加热时，就需要增大各管线的间距 尺寸，而通过在被制成一条管线所需的宽度的支承部件上如技术方 案1所述那样内置加热器部件，则能够减小管线的间距尺寸。而且，通过制成技术方案2的结构，在替换加热器部件时，能够在保持流 体控制装置的设置状态的状态下将加热器部件在宽度方向上取出。 由此，即使是在集成化流体控制装置的底座的周围、尤其是长度方 向上无法确保充分空间的情况下，也能够将加热器部件从宽度方向 上取出，能够使加热器部件移动至不受空间制约的位置而进行替换。(专利技术的效果)根据技术方案1的流体控制装置，由于串联状配置的多个流体 控制仪器被支承部件支承，在支承部件上设有在侧方开口的凹部， 加热器部件以能够从侧方安装或拆卸的方式插入该凹部，所以本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种流体控制装置，在支承部件上支承有呈串联状配置的多个流体控制仪器，其特征在于，在支承部件上设有向侧方开口的凹部，加热器部件以能够从侧方安装或拆卸的方式插入并固定于该凹部。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：四方出，
申请(专利权)人：株式会社富士金，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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