配合结构制造技术

保持器（７）的接合部分（７ａ）与金属垫片（６）接合，垫片（６）容纳在管状部分（７ｂ）中，并且管状部分（７ｂ）装配在连接管（１ａ）的台阶（５ａ）中。然后，另一连接管（１ｂ）靠近并面对连接管（１ａ）设置，连接管（１ａ）通过保持器（７）保持垫片（６），中心环（９）安装成围绕凸缘（２ａ，２ｂ）的外周。随后，具有限定两侧的斜面（３ａ，３ｂ）的梯形部分插入槽（１４）中，分段（１０ａ－１０ｃ）相互靠近形成环形。穿过分段（１０ａ）的切口（１２）的螺栓（１１）拧入分段（１０ｃ）的螺纹孔（１３）中。螺栓的拧入导致具有限定两侧的斜面（３ａ，３ｂ）的梯形部分插入槽（１４）的插入量增加。结果，凸缘（２ａ，２ｂ）之间的距离减小，并且凸起（４ａ，４ｂ）对垫片（６）的两侧的接触压力增加。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种用于连接管的连接的配合结构(fitting structure) 0
技术介绍
在半导体制造设备、通常的工业机器等中，包括连接管的导管构造用 于传送空气、纯净水、调节温度的冷却水或热水、有机化学液体等流体。 这种导管构造包括使连接管与另一构件连接的配合结构，例如，另一个连 接管、或设备的壳的流体入口/出口。传统上，例如，作为使一对,接管彼此连接的配合结构，在一种构造 中，相应连接管的端面保持成彼此紧密接触。在该情况下，橡胶0型圈插 入两个端面之间用于提高气密性。每个端面形成有槽用于保持O型圈。这 样，在一些情况中凸缘分别形成在相应连接管的端面上。然而，今年来，例如，在半导体制造设备中，即使在供应气体到反应室的气体供应部分中的流体中混入微量杂质或者即使小的压力波动，可能 会导致不能使用的无效产品的故障。因此，设置在该位置的导管构造需要比以前更高等级的气密性。如上所述，包括o型圈的构造难以实现很高的 气密性，由于o型圈的材料本质上是橡胶，由于橡胶更容易随时间可靠性降低。此外，无人可以否认流动气体和橡胶的化学反应会导致特性变化。因此，日本专利公开的审查专利申请No. 6本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于连接一对连接管的配合结构，每个所述连接管具有凸缘，所述凸缘在引导端部分设置有环形凸起，所述配合结构包括：　平坦的环形金属垫片，在所述一对连接管的所述凸缘彼此相对的状态下，所述金属垫片从两侧被每个凸起挤压；　保持器，所述保持器具有与所述金属垫片的至少一部分接合的接合部分，并且被所述连接管中的一个保持；　中心环，在所述一对连接管的所述凸缘横过所述金属垫片彼此相对的状态下，所述中心环能够安装成围绕所述两个凸缘的外周；和　夹紧环，所述夹紧环包括多个分段，所述多个分段依次设置并且连接成相邻的分段彼此枢转地附接，用于当定位在所述多个分段的一端处的分段与定位在另一端处的分段通过紧固构件彼此固定时，通...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：木村美良，长濑祐助，安达义纪，
申请(专利权)人：伊原科技株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]