一种发热均匀的高温化学气相沉积设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种发热均匀的高温化学气相沉积设备，解决了现有高温化学气相沉积设备采用垂直放置的发热丝易造成发热桶内部发热不均匀，从而使内部反应条件不足难以达到更好的效果的问题，其包括桶体，所述桶体内部安装有保温层，保温层内侧位于桶体内部位置处安装有发热桶，保温层内部贯穿发热桶内部安装有发热组件，本实用新型专利技术，结构紧凑，便于优化现有高温化学气相沉积设备，使设备使用缠绕的发热线圈可以对发热桶内部更加均匀的散发热量，使用风机配合使热量在发热桶内部混合更加均匀，便于反应的高效进行，同时设置转动组件使热量更加快速且充分的散发至反应桶内，并有效隔离热量向外部流失。

High temperature chemical vapor deposition equipment with uniform heating

The utility model discloses a high-temperature chemical vapor deposition device with uniform heating, which solves the problem that the heating wire vertically placed in the existing high-temperature chemical vapor deposition device is easy to cause uneven heating in the heating barrel, so that the internal reaction conditions are insufficient and it is difficult to achieve better effect, including the barrel body, the barrel body is internally installed with a heat preservation layer, and the inner side of the heat preservation layer is located in the barrel The utility model has compact structure, which is convenient to optimize the existing high temperature chemical vapor deposition equipment, so that the winding heating coil of the equipment can distribute heat more evenly inside the heating barrel, and the fan can cooperate to make the heat mix more evenly inside the heating barrel, which is convenient to reverse At the same time, the rotating components are set to make the heat more quickly and fully distributed to the reaction tank, and effectively isolate the heat loss to the outside.

【技术实现步骤摘要】
一种发热均匀的高温化学气相沉积设备
本技术涉及高温化学气相沉积设备
，具体为一种发热均匀的高温化学气相沉积设备。
技术介绍
化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法，化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术，化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料，这些材料可以是氧化物、硫化物、氮化物、碳化物，也可以是III-V、II-IV、IV-VI族中的二元或多元的元素间化合物，而且它们的物理功能可以通过气相掺杂的淀积过程精确控制，目前，化学气相淀积已成为无机合成化学的一个新领域，但现有高温化学气相沉积设备仍存在一些不足：现有高温化学气相沉积设备采用垂直放置的发热丝易造成发热桶内部发热不均匀，从而使内部反应条件不足难以达到更好的效果。所以，如何设计一种发热均匀的高温化学气相沉积设备，成为我们当前要解决的问题。
技术实现思路
针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本技术提供一种发热均匀的高温本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种发热均匀的高温化学气相沉积设备，包括桶体(1)，其特征在于，所述桶体(1)内部安装有保温层(2)，保温层(2)内侧位于桶体(1)内部位置处安装有发热桶(3)，保温层(2)内部贯穿发热桶(3)内部安装有发热组件(4)，桶体(1)顶端位于发热桶(3)顶端位置处安装有保温盖(5)，发热桶(3)内部贯穿保温盖(5)安装有反应台(6)，发热桶(3)底端贯穿内部安装有排气口(7)，发热桶(3)下部外侧固定有转动组件(8)，转动组件(8)底端安装有电机(9)。/n

【技术特征摘要】
20190128 CN 20192014328481.一种发热均匀的高温化学气相沉积设备，包括桶体(1)，其特征在于，所述桶体(1)内部安装有保温层(2)，保温层(2)内侧位于桶体(1)内部位置处安装有发热桶(3)，保温层(2)内部贯穿发热桶(3)内部安装有发热组件(4)，桶体(1)顶端位于发热桶(3)顶端位置处安装有保温盖(5)，发热桶(3)内部贯穿保温盖(5)安装有反应台(6)，发热桶(3)底端贯穿内部安装有排气口(7)，发热桶(3)下部外侧固定有转动组件(8)，转动组件(8)底端安装有电机(9)。


2.根据权利要求1所述的一种发热均匀的高温化学气相沉积设备，其特征在于，所述发热组件(4)包括风机(401)、隔离层(402)、发热线圈(403)、镁粉(404)、发热孔(405)和保护套(406)，风机(401)外部之间安装有隔离层(402)，隔离层(402)内侧位于发热桶(3)外部位置处套接有发热线圈(403)，发热线圈(403)内部填充有镁粉(404)，发热桶(3)内侧安装有发热孔...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈宇，严丽红，
申请(专利权)人：张家港迪源电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32