一种用于芯片硅生产的环保处理设备及其操作方法技术

本发明专利技术公开了一种用于芯片硅生产的环保处理设备，包括酸洗池，所述酸洗池的下端一侧贯穿设有排液管，所述排液管的一端连接有第一电控三通阀，所述第一电控三通阀的两侧均连接有排污管，两个排污管的一端均贯穿设有反应罐，所述反应罐上设有混合装置，两个反应罐的上端一侧均贯穿设有输药管，两个输药管之间共同连接有第二电控三通阀，所述第二电控三通阀的一端连接有储药罐；本发明专利技术还提出了一种用于芯片硅生产的环保处理设备的操作方法。本发明专利技术能保证废液和药剂之间的反应时长，并且能很好的使废液和药剂充分反应，能提升对废液的处理质量和效率，还能将废液内的杂质进行过滤和沉淀，更好的保护环境。

An environmental protection equipment and its operation method for chip silicon production

The invention discloses an environmental protection treatment equipment for chip silicon production, which includes an acid pickling pool. The bottom side of the acid pickling pool is penetrated with a liquid discharge pipe, one end of the liquid discharge pipe is connected with a first electric control three-way valve, both sides of the first electric control three-way valve are connected with a sewage pipe, one end of the two sewage pipes is penetrated with a reaction tank, and the reaction tank is equipped with a mixing device, One side of the upper end of the two reaction tanks is penetrated with a drug delivery pipe, and the two drug delivery pipes are jointly connected with a second electric control three-way valve, and one end of the second electric control three-way valve is connected with a drug storage tank; the invention also proposes an operation method of an environmental protection processing equipment for chip silicon production. The invention can ensure a long reaction time between the waste liquid and the medicament, make the waste liquid and the medicament react fully, improve the treatment quality and efficiency of the waste liquid, filter and precipitate the impurities in the waste liquid, and better protect the environment.

【技术实现步骤摘要】
一种用于芯片硅生产的环保处理设备及其操作方法
本专利技术涉及芯片硅生产设备
，尤其涉及一种用于芯片硅生产的环保处理设备及其操作方法。
技术介绍
芯片的原料晶圆，晶圆的成分是硅，硅是由石英沙所精练出来的，晶圆便是硅元素加以纯化（99.999%），接着是将这些纯硅制成硅晶棒，成为制造集成电路的石英半导体的材料，将其切片就是芯片制作具体所需要的晶圆。晶圆越薄，生产的成本越低，但对工艺就要求的越高。使用单晶硅晶圆用作基层，然后使用光刻、掺杂、CMP等技术制成MOSFET或BJT等组件，再利用薄膜和CMP技术制成导线，如此便完成芯片制作。因产品性能需求及成本考量，导线可分为铝工艺和铜工艺。主要的工艺技术可以分为以下几大类：黄光微影、刻蚀、扩散、薄膜、平坦化制成、金属化制成。为了提升芯片的质量，生产芯片所用硅的纯度是有要求的，在芯片硅生产过程中需要使用酸洗池对硅进行反应，从而去除其内部的杂质，提升材料的品质，从而提升最终芯片硅的质量，现有的酸洗池内的溶液在清洗完成后，不能很好的进行处理，并且在处理时，不能保证其和反应药剂的混合质量，降低了处理质量，不利于保护环境，为此，我们提出了一种用于芯片硅生产的环保处理设备及其操作方法来解决上述问题。
技术实现思路
本专利技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种用于芯片硅生产的环保处理设备及其操作方法。为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：一种用于芯片硅生产的环保处理设备，包括酸洗池，所述酸洗池的下端一侧贯穿设有排液管，所述排液管的一端连接有第一电控三通阀，所述第一电控三通阀的两侧均连接有排污管，两个排污管的一端均贯穿设有反应罐，所述反应罐上设有混合装置，两个反应罐的上端一侧均贯穿设有输药管，两个输药管之间共同连接有第二电控三通阀，所述第二电控三通阀的一端连接有储药罐，两个反应罐的下端均贯穿设有连接管，两个连接管的一端共同连接有第三电控三通阀，所述第三电控三通阀的一端连接有过滤池，所述过滤池的下端一侧贯穿设有出水管，所述出水管的一端连接有沉淀池。优选地，所述混合装置包括安装在反应罐上的驱动电机，所述驱动电机的输出轴末端通过联轴器固定有连接轴，所述连接轴的下端延伸至反应罐内，所述连接轴的下端固定有转盘，所述转盘的一周侧壁上等间距固定有四个横杆，所述横杆上套设有第一转轴，所述第一转轴的上端固定有齿轮，所述反应罐的一周侧壁上固定有内齿圈，四个齿轮均和内齿圈相啮合，所述转盘的下端固定有第二转轴，所述第二转轴和四个第一转轴上均等间距固定有两个以上的搅拌叶，所述第二转轴和四个第一转轴的下端共同设有连接机构，所述连接机构和反应罐相连接。优选地，所述连接机构包括转动连接在四个第一转轴下端的放置板，所述第二转轴的下端转动连接有承载板，所述承载板的一周侧壁上等间距固定有四个连接杆，四个连接杆的一端分别固定在四个放置板的一侧，所述承载板的下端转动连接在反应罐内的底部。优选地，所述酸洗池内放置有承载筐，所述承载筐的上端四角均固定有吊耳，所述酸洗池内的一端侧壁上贯穿设有进液管。优选地，所述储药罐的上端一侧铰接有盖板，所述盖板的一侧固定有竖板，所述竖板上套设有滑杆，所述滑杆上套设有弹簧，所述弹簧的两端分别固定在滑杆的一端和竖板的一侧，所述储药罐上设有盲孔，所述滑杆的一端延伸至盲孔内。优选地，所述盖板的下端和储药罐的上端均固定有橡胶垫。优选地，所述过滤池内的底部铺设有砂石层，所述砂石层的上端铺设有鹅卵石层。优选地，所述沉淀池的下端一侧贯穿设有排水管，所述排水管上安装有阀门。优选地，四个放置板上共同固定有套环。本专利技术还提出了一种用于芯片硅生产的环保处理设备的操作方法，包括以下步骤：S1、为了减少硅内的杂质，需要对硅进行酸洗，将硅料放置进承载筐内，并通过吊具和吊耳连接，便于将硅料放置进酸洗池内，酸洗完成后，酸洗池内的废液通过排液管排出；S2、通过控制第一电控三通阀来选择将废液排至其中一个反应罐内，废液通过排污管进入选定的反应罐内，储药罐内的药剂通过第二电控三通阀的作用经输药管进入该反应罐内；S3、驱动电机运作，从而能使连接轴带动转盘转动，从而能使第二转轴转动，同时转盘通过横杆带动第一转轴以第二转轴为圆心转动，齿轮和内齿圈相啮合，能使第一转轴转动，从而能使搅拌叶转动，提升混合的质量，提高反应的质量，承载板和四个放置板保证第一转轴和第二转轴稳定运动；S4、反应完成后的液体通过连接管进入第三电控三通阀，从而进入过滤池内进行过滤；S5、在过滤池内通过鹅卵石层后进入砂石层，从而能很好的过滤掉液体内的杂质，再通过出水管进入沉淀池内；S6、液体进入沉淀池内沉淀，同时工作人员检测液体的水质情况，便于通过阀门控制排水管能否将沉淀池内的液体排出。与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：1、通过多个电控三通阀、反应罐、过滤池和沉淀池等部件的配合，从而便于控制废液的流向，便于保证废液和药剂之间的反应时间，从而有助于提升反应质量，并且能很好的对反应后液体内的杂质进行充分的过滤和沉淀，进而有助于提升液体的质量，避免污染环境；2、通过反应罐和混合装置等部件的配合，从而能使废液和药剂进行充分的混合，能使搅拌叶在反应罐内快速转动，进一步的提升溶液和药剂的反应质量，去除废液内的污染物，更好的提升废液的质量；综上所述，本专利技术能保证废液和药剂之间的反应时长，并且能很好的使废液和药剂充分反应，能提升对废液的处理质量和效率，还能将废液内的杂质进行过滤和沉淀，更好的保护环境。附图说明图1为本专利技术提出的一种用于芯片硅生产的环保处理设备的流程图；图2为本专利技术提出的一种用于芯片硅生产的环保处理设备的连接结构示意图；图3为本专利技术提出的一种用于芯片硅生产的环保处理设备的内齿圈结构示意图；图4为本专利技术提出的一种用于芯片硅生产的环保处理设备的连接机构示意图；图5为本专利技术提出的一种用于芯片硅生产的环保处理设备的A处放大图；图6为本专利技术提出的一种用于芯片硅生产的环保处理设备的承载筐结构示意图；图中：1酸洗池、2排液管、3输药管、4第二电控三通阀、5储药罐、6连接管、7第一电控三通阀、8排污管、9反应罐、10第三电控三通阀、11过滤池、12沉淀池、13吊耳、14进液管、15齿轮、16内齿圈、17搅拌叶、18第一转轴、19驱动电机、20连接轴、21第二转轴、22鹅卵石层、23砂石层、24出水管、25阀门、26排水管、27横杆、28转盘、29承载板、30放置板、31连接杆、32套环、33橡胶垫、34盲孔、35盖板、36竖板、37滑杆、38弹簧、39承载筐。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。参照图1-6，一种用于芯片硅生产的环保处理设备，包括酸洗池1，硅的制造过程中必须从硅的化合物中分离出硅，分离后为了更好的提升硅的品质，需要对硅进行酸洗，从而提升硅的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于芯片硅生产的环保处理设备，包括酸洗池（1），其特征在于：所述酸洗池（1）的下端一侧贯穿设有排液管（2），所述排液管（2）的一端连接有第一电控三通阀（7），所述第一电控三通阀（7）的两侧均连接有排污管（8），两个排污管（8）的一端均贯穿设有反应罐（9），所述反应罐（9）上设有混合装置，两个反应罐（9）的上端一侧均贯穿设有输药管（3），两个输药管（3）之间共同连接有第二电控三通阀（4），所述第二电控三通阀（4）的一端连接有储药罐（5），两个反应罐（9）的下端均贯穿设有连接管（6），两个连接管（6）的一端共同连接有第三电控三通阀（10），所述第三电控三通阀（10）的一端连接有过滤池（11），所述过滤池（11）的下端一侧贯穿设有出水管（24），所述出水管（24）的一端连接有沉淀池（12）。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于芯片硅生产的环保处理设备，包括酸洗池（1），其特征在于：所述酸洗池（1）的下端一侧贯穿设有排液管（2），所述排液管（2）的一端连接有第一电控三通阀（7），所述第一电控三通阀（7）的两侧均连接有排污管（8），两个排污管（8）的一端均贯穿设有反应罐（9），所述反应罐（9）上设有混合装置，两个反应罐（9）的上端一侧均贯穿设有输药管（3），两个输药管（3）之间共同连接有第二电控三通阀（4），所述第二电控三通阀（4）的一端连接有储药罐（5），两个反应罐（9）的下端均贯穿设有连接管（6），两个连接管（6）的一端共同连接有第三电控三通阀（10），所述第三电控三通阀（10）的一端连接有过滤池（11），所述过滤池（11）的下端一侧贯穿设有出水管（24），所述出水管（24）的一端连接有沉淀池（12）。


2.根据权利要求1所述的一种用于芯片硅生产的环保处理设备，其特征在于：所述混合装置包括安装在反应罐（9）上的驱动电机（19），所述驱动电机（19）的输出轴末端通过联轴器固定有连接轴（20），所述连接轴（20）的下端延伸至反应罐（9）内，所述连接轴（20）的下端固定有转盘（28），所述转盘（28）的一周侧壁上等间距固定有四个横杆（27），所述横杆（27）上套设有第一转轴（18），所述第一转轴（18）的上端固定有齿轮（15），所述反应罐（9）的一周侧壁上固定有内齿圈（16），四个齿轮（15）均和内齿圈（16）相啮合，所述转盘（28）的下端固定有第二转轴（21），所述第二转轴（21）和四个第一转轴（18）上均等间距固定有两个以上的搅拌叶（17），所述第二转轴（21）和四个第一转轴（18）的下端共同设有连接机构，所述连接机构和反应罐（9）相连接。


3.根据权利要求2所述的一种用于芯片硅生产的环保处理设备，其特征在于：所述连接机构包括转动连接在四个第一转轴（18）下端的放置板（30），所述第二转轴（21）的下端转动连接有承载板（29），所述承载板（29）的一周侧壁上等间距固定有四个连接杆（31），四个连接杆（31）的一端分别固定在四个放置板（30）的一侧，所述承载板（29）的下端转动连接在反应罐（9）内的底部。


4.根据权利要求1所述的一种用于芯片硅生产的环保处理设备，其特征在于：所述酸洗池（1）内放置有承载筐（39），所述承载筐（39）的上端四角均固定有吊耳（13），所述酸洗池（1）内的一端侧壁上贯穿设有进液管（14）。


5.根据权利要求1所述的一种用于芯片硅生产的环保处理设备，其特征在于：所述储药罐（5）的上端一侧铰接有盖板（35），所述盖...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭志宏，
申请(专利权)人：大同新成新材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：山西;14