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本发明公开了一种用于芯片硅生产的环保处理设备,包括酸洗池,所述酸洗池的下端一侧贯穿设有排液管,所述排液管的一端连接有第一电控三通阀,所述第一电控三通阀的两侧均连接有排污管,两个排污管的一端均贯穿设有反应罐,所述反应罐上设有混合装置,两个反应...该专利属于大同新成新材料股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过大同新成新材料股份有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种用于芯片硅生产的环保处理设备,包括酸洗池,所述酸洗池的下端一侧贯穿设有排液管,所述排液管的一端连接有第一电控三通阀,所述第一电控三通阀的两侧均连接有排污管,两个排污管的一端均贯穿设有反应罐,所述反应罐上设有混合装置,两个反应...