用于硅片花篮的装篮搬运机制造技术

本申请公开了一种用于硅片花篮的装篮搬运机，包括机架、抓取机构和推车，推车与机架抽屉式连接，机架内设有花篮放置腔，花篮放置腔的底面由至少一块固定板、推车的顶板以及托板拼接而成，花篮放置腔侧壁上设有开口，托板对应开口设置，托板通过第一垂直气缸与机架连接，固定板与机架固定连接，抓取机构包括一对横向电缸、纵向电缸和第二垂直电缸，一对横向电缸对称设置在花篮放置腔顶部，纵向电缸与一对横向电缸滑动连接，第二垂直电缸与横向电缸垂直设置，垂直电缸与横向电缸滑动连接，垂直电缸上设有上下移动的双向气缸，双向气缸的输出端分别连接有夹片。该用于硅片花篮的装篮搬运机通过各电缸联动以及夹片夹持，实现多角度自动化抓取花篮。

Basket carrier for silicon flower basket

The application discloses a basket loading and transporting machine for silicon flower basket, which comprises a frame, a grabbing mechanism and a cart, the cart is connected with a frame drawer, a flower basket placing cavity is arranged in the frame, the bottom surface of the flower basket placing cavity is spliced by at least one fixed plate, the top plate of the cart and a supporting plate, the side wall of the flower basket placing cavity is provided with an opening, the supporting plate is correspondingly arranged with an opening, and the supporting plate is arranged through the first vertical The straight cylinder is connected with the frame, and the fixed plate is connected with the frame. The grabbing mechanism includes a pair of transverse electric cylinders, longitudinal electric cylinders and the second vertical electric cylinder. The first pair of transverse electric cylinders are symmetrically arranged on the top of the flower basket placing cavity, the longitudinal electric cylinder is connected with a pair of transverse electric cylinders by sliding, the second vertical electric cylinder is vertically arranged with the transverse electric cylinder, the vertical electric cylinder is connected with the transverse electric cylinder by sliding, and the vertical electric cylinder is arranged on the vertical electric cylinder There are two-way cylinders that move up and down, and the output ends of the two-way cylinders are respectively connected with clips. The basket loader for silicon flower basket realizes multi angle automatic grabbing flower basket through linkage of electric cylinders and clamping.

【技术实现步骤摘要】
用于硅片花篮的装篮搬运机
本申请涉及半导体晶圆设备领域，特别是一种用于硅片花篮的装篮搬运机。
技术介绍
现有半导体晶圆硅片生产设备过程中，输送带将分拣完的硅片输送至花篮内进行装配，再有人工进行花篮搬运分配，自动化效率低且人工成本较高。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于硅片花篮的装篮搬运机，以克服现有技术中的不足。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：本申请实施例公开了用于硅片花篮的装篮搬运机，其特征在于：包括机架、抓取机构和推车，所述推车与机架抽屉式连接，所述机架内设有花篮放置腔，所述花篮放置腔的底面由至少一块固定板、推车的顶板以及托板拼接而成，所述花篮放置腔侧壁上设有开口，所述托板对应开口设置，所述托板通过第一垂直气缸与机架连接，所述托板能在第一垂直气缸上上下移动，所述固定板与机架固定连接，所述抓取机构包括一对横向电缸、纵向电缸和第二垂直电缸，一对所述横向电缸对称设置在花篮放置腔顶部，所述纵向电缸设置在一对横向电缸之间且与一对横向电缸滑动连接，所述第二垂直电缸与纵向电缸垂直设置，所述第二垂直电缸与纵向电缸滑动连接，所述第二垂直电缸上设有上下移动的双向气缸，所述双向气缸的两个输出端分别连接有夹片。优选的，在上述的用于硅片花篮的装篮搬运机中，至少一块所述固定板设有一对，所述推车设有一对，一对所述固定板设置在托板两侧，一对所述推车的顶板设置在固定板远离开口的一侧。优选的，在上述的用于硅片花篮的装篮搬运机中，所述托板上凹设有卡槽。优选的，在上述的用于硅片花篮的装篮搬运机中，所述推车包括顶板、支撑架和滚轮，所述支撑件与顶板下端面固定连接，所述滚轮设置在支撑件底部，所述机架上设有配合顶板的滑槽。优选的，在上述的用于硅片花篮的装篮搬运机中，所述支撑架上设有推车把手。与现有技术相比，本技术的优点在于：1、该用于硅片花篮的装篮搬运机通过各电缸联动以及夹片夹持，实现多角度自动化抓取花篮，节省人工成本。2、当推车顶板上的花篮装满硅片进行人工更换推车顶板上的花篮时，正在装配的花篮可以放置在固定板上，实现不间断连续性装篮，提高效率。3、通过推车顶板上放置硅片花篮并且通过抽屉式连接的推车进行花篮更换，效率更高，且方便工人操作。附图说明为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动以根据这些附图获得其他的附图。图1所示为本技术具体实施例中用于硅片花篮的装篮搬运机的结构示意图。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行详细的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。参图1所示，本实施例中的用于硅片花篮的装篮搬运机，包括机架1、抓取机构2和推车3。推车3与机架1抽屉式连接，该推车为常规技术中用于搬运货物的推车，具有放置货物的顶板和助于移动的滚轮。机架1内设有花篮放置腔101，花篮放置腔101的底面由至少一块固定板102、推车3的顶板以及托板104拼接而成，花篮放置腔101侧壁上设有开口105，托板104对应开口105设置，托板104通过第一垂直气缸106与机架1连接，托板104能在第一垂直气缸106上上下移动，固定板102与机架1固定连接。抓取机构2包括一对横向电缸201、纵向电缸202和第二垂直电缸203，一对横向电缸201对称设置在花篮放置腔101顶部，纵向电缸202通过连接板和滑块设置在一对横向电缸201之间，纵向电缸202通过连接板与横向电缸201滑动连接，第二垂直电缸203与纵向电缸202垂直设置，第二垂直电缸203通过垂直连接板和滑块与纵向电缸202滑动连接，第二垂直电缸203远离纵向气缸202的一面上设有双向气缸204，双向气缸204通过垂直连接板和滑块与第二垂直电缸203上下移动连接，双向气缸204的两个输出端分别连接有夹片205。进一步的，至少一块固定板102设有一对，推车3设有一对，一对固定板102设置在托板104两侧，一对推车3的顶板设置在固定板102远离开口105的一侧。在该技术方案中，该用于硅片花篮的装篮搬运机通过各电缸联动以及夹片夹持，实现多角度自动化抓取花篮，节省人工成本；当推车顶板上的花篮装满硅片进行人工更换推车顶板上的花篮时，正在装配的花篮可以放置在固定板上，实现不间断连续性装篮，提高效率；通过推车顶板上放置硅片花篮并且通过抽屉式连接的推车进行花篮更换，效率更高，且方便工人操作。在一实施例中，托板104上凹设有卡槽107。在该技术方案中，该凹槽与花篮底部形状配合，防止硅片装蓝时花篮产生晃动。在一实施例中，推车3包括顶板301、支撑架302和滚轮303，支撑件302与顶板301下端面固定连接，滚轮303设置在支撑件302底部，机架1上设有配合顶板301的滑槽103。进一步的，支撑架302上设有推车把手304。在该技术方案中，顶板、支撑架以及滚轮形成一个推车，方便工人对花篮的搬运。具体实施原理：工人将未装硅片的花篮放置在顶板上后，将推车放置在机架内，通过抓取机构将其中一个放置在推车顶板上的花篮放置至托板上的凹槽内，输送硅片的传送带通过开口与托板上的花篮配合连接实现装配，第一垂直气缸跟随装片的速度带动花篮上下移动辅助装片，待装片完成时，抓取机构将已装配完的花篮夹持至原位置，并将另外未装硅片的花篮放置至托板凹槽内，依次类推，当其中一个推车上的最后一个空蓝放置至托板凹槽时，人工将推车抽出进行空蓝更换，当未及时更换空蓝放置推车时，抓取机构将装满硅片的花篮放置在固定板上并从另一个推车上抓取空框，以保证连续性不间断自动化装蓝。需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。以上仅是本申请的具体实施方式，应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本申请原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本申请的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于硅片花篮的装篮搬运机，其特征在于：包括机架、抓取机构和推车，所述推车与机架抽屉式连接，所述机架内设有花篮放置腔，所述花篮放置腔的底面由至少一块固定板、推车的顶板以及托板拼接而成，所述花篮放置腔侧壁上设有开口，所述托板对应开口设置，所述托板通过第一垂直气缸与机架连接，所述托板能在第一垂直气缸上上下移动，所述固定板与机架固定连接，所述抓取机构包括一对横向电缸、纵向电缸和第二垂直电缸，一对所述横向电缸对称设置在花篮放置腔顶部，所述纵向电缸设置在一对横向电缸之间且与一对横向电缸滑动连接，所述第二垂直电缸与纵向电缸垂直设置，所述第二垂直电缸与纵向电缸滑动连接，所述第二垂直电缸上设有上下移动的双向气缸，所述双向气缸的两个输出端分别连接有夹片。

【技术特征摘要】
1.一种用于硅片花篮的装篮搬运机，其特征在于：包括机架、抓取机构和推车，所述推车与机架抽屉式连接，所述机架内设有花篮放置腔，所述花篮放置腔的底面由至少一块固定板、推车的顶板以及托板拼接而成，所述花篮放置腔侧壁上设有开口，所述托板对应开口设置，所述托板通过第一垂直气缸与机架连接，所述托板能在第一垂直气缸上上下移动，所述固定板与机架固定连接，所述抓取机构包括一对横向电缸、纵向电缸和第二垂直电缸，一对所述横向电缸对称设置在花篮放置腔顶部，所述纵向电缸设置在一对横向电缸之间且与一对横向电缸滑动连接，所述第二垂直电缸与纵向电缸垂直设置，所述第二垂直电缸与纵向电缸滑动连接，所述第二垂直电缸上设有上下移动的双...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨宣教，
申请(专利权)人：张家港市德昶自动化科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32