干法蚀刻机取送片方法技术

本发明专利技术公开了一种干法蚀刻机取送片方法，实现了干法蚀刻机生产线不同制程腔体生产不同产品，提升了干法蚀刻机生产线的柔性；同时又提升了整条生产线的tact time，减少了机械手臂/清洗机台/干法蚀刻机的等待时间，提升了生产效率；而且因为本申请计支持多制程腔体独立生产，故保证其中一个制程腔体进行非整机需要停止的PM时，其它制程腔体能够正常生产，降低了干法蚀刻机机台的维护时间；因此本申请实现将制程腔体独立性生产与tact time提升的最大平衡，实现工厂生产效率提升，成本降低、柔性提升的需求。

The method of taking and delivering chips by dry etching machine

The invention discloses a method for taking and delivering chips of the dry etching machine, which realizes the production of different products in different process cavities of the production line of the dry etching machine, improves the flexibility of the production line of the dry etching machine, at the same time, improves the tact time of the whole production line, reduces the waiting time of the manipulator / cleaning machine / dry etching machine, and improves the production efficiency; moreover, the application supports more The process cavity is produced independently, so when one of the process cavity is subject to PM which is not required to be stopped by the whole machine, the other process cavity can be produced normally, which reduces the maintenance time of the dry etching machine; therefore, the application realizes the maximum balance between the independent production of the process cavity and the increase of the tact time, so as to realize the requirements of the improvement of the factory production efficiency, cost reduction and flexibility.

【技术实现步骤摘要】
干法蚀刻机取送片方法
本专利技术涉及干法蚀刻机生产线
，具体为一种干法蚀刻机取送片方法。
技术介绍
面板制程中干法蚀刻机是关键的多制程腔体机台，在提升tacttime和各制程腔体独立生产不同产品间存在矛盾。现有干法蚀刻机的生产制程中，干法蚀刻机的生产线由面板移栽机、机械手臂、清洗机、干法蚀刻机组成，制程为面板从移栽机通过机械手臂到清洗机清洗，然后机械手臂将面板送到干法蚀刻机进行干蚀刻，最后机械手臂将面板送回移栽机。每次要片由干法蚀刻机发起并告知机械手臂需求的产品类型。机械手臂的控制逻辑由BC系统控制。当各制程腔体生产不同产品(含PM时用的实验品)时，因为需要先进清洗机，机械手臂无法预知干法蚀刻机下次将要哪个产品，只能等干法蚀刻机机台明确告知要的产品类型，这样造成每次干法蚀刻机生产没要片时清洗机出现等待，清洗机清洗时干法蚀刻机出现等待闲置，从而出现tacttime降低。当要提升tacttime时，干法蚀刻机机台中各制程腔体就只能生产同一产品，造成干法蚀刻机机台生产灵活性降低，同时如果一个制程腔体进行PM跑实验品时，其它制程腔体就会等待闲置，造成干法蚀刻机机台的产能浪费。故想要实现提升tacttime及各制程腔体生产独立性的平衡，关键在于机械手臂取送片逻辑的优化。本设计就是提供系统性的机械手臂取送片逻辑解决方案，以实现多制程腔体独立生产，保证干法蚀刻机生产线中各设备的生产节奏高效，降低设备的等待时间，提升tacttime，最终达到tacttime提升与各制程腔体独立生产的矛盾解决。为了解决以上问题我方研发出了干法蚀刻机取送片方法。
技术实现思路
本专利技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种干法蚀刻机取送片方法。本专利技术通过以下技术方案来实现上述目的：干法蚀刻机取送片方法，包括以下步骤：A、干法蚀刻机机台上报各制程腔体的状态及MODE信息至BC系统，各制程腔体设有各自的ID序号；B、BC系统将状态为运行/等待的制程腔体列为有效制程腔体，将状态为非运行/等待的制程腔体列为无效制程腔体，将有效制程腔体按ID序号排序，根据此排序获取到对应制程腔体MODE排序，BC系统根据此MODE排序循环作为机械手臂从面板移栽机取对应MODE产品的依据；C、从面板移栽机上取待生产面板时，根据有效制程腔体MODE的排序，对面板移栽机上的待生产面板进行逐一MODE的比对，如果有对应的MODE产品则将其取出，如果没有对应MODE产品则依排序移到下一个MODE比对；D、如有对应的MODE产品，则机械手臂直接从面板移栽机上预先取出待生产面板到清洗机台进口处等待，待清洗机台里面生产完成且干法蚀刻机需要放片时进行交换片，交换片步骤为：机械手臂的一手臂将从面板移栽机中取出的面板放入清洗机台，机器人的另一手臂将清洗机台中取出的面板放入到干法蚀刻机里，同时再将干法蚀刻机里面需要排出的已完成面板取出送回面板移栽机，然后再预先取出待生产面板到清洗机台进口处等待。具体地，如在生产过程中有制程腔体状态由运行/等待变为非运行/等待，则将此有效制程腔体及其对应的制程腔体MODE从MODE排序中删除；如果在生产过程中有制程腔体状态由非运行/等待变为运行/等待，则将此制程腔体及对应的制程腔体MODE添加MODE排序中。具体地，面板由多层电路组成，根据每层电路来命名不同产品，不同产品使用MODE来区分，MODE信息由MES系统根据面板在整个生产的不同电路层自动带到每一片面板玻璃上，在不同电路层生产时需要自动变更MODE信息；然后在面板搬运到面板移栽机时将此MODE信息跟随每片面板玻璃的资料一起下载到BC系统上，从而BC系统获取到每片面板的MODE信息。本专利技术的有益效果在于：通过本专利技术方法实现了干法蚀刻机生产线不同制程腔体生产不同产品，提升了干法蚀刻机生产线的柔性；同时又提升了整条生产线的tacttime，减少了机械手臂/清洗机台/干法蚀刻机的等待时间，提升了生产效率；而且因为本申请计支持多制程腔体独立生产，故保证其中一个制程腔体进行非整机需要停止的PM时，其它制程腔体能够正常生产，降低了干法蚀刻机机台的维护时间；因此本申请实现将制程腔体独立性生产与tacttime提升的最大平衡，实现工厂生产效率提升，成本降低、柔性提升的需求。附图说明图1为本专利技术中遇水试验装置的结构示意图；图中：1、面板移栽机；2、机械手臂；3、清洗机台；4、干法蚀刻机；41、制程腔体。具体实施方式下面结合附图对本专利技术作进一步说明：BC系统通过获取的信息主动控制机械手臂2取送片。取片逻辑：A、干法蚀刻机4机台上报各制程腔体41的状态及MODE信息至BC系统，各制程腔体41设有各自的ID序号；B、BC系统将状态为运行/等待的制程腔体41列为有效制程腔体41，将状态为非运行/等待的制程腔体41列为无效制程腔体41，将有效制程腔体41按ID序号排序，根据此排序获取到对应制程腔体41MODE排序，BC系统根据此MODE排序循环作为机械手臂2从面板移栽机1取对应MODE产品的依据；C、从面板移栽机1上取待生产面板时，根据有效制程腔体41MODE的排序，对面板移栽机1上的待生产面板进行逐一MODE的比对，如果有对应的MODE产品则将其取出，如果没有对应MODE产品则依排序移到下一个MODE比对；依次类推，循环有效ChamberMODE排序进行抽片；送片逻辑：D、如有对应的MODE产品，则机械手臂2直接从面板移栽机1上预先取出待生产面板到清洗机台3进口处等待，待清洗机台3里面生产完成且干法蚀刻机4需要放片时进行交换片，交换片步骤为：机械手臂2的一手臂将从面板移栽机1中取出的面板放入清洗机台3，机器人的另一手臂将清洗机台3中取出的面板放入到干法蚀刻机4里，同时再将干法蚀刻机4里面需要排出的已完成面板取出送回面板移栽机1，然后再预先取出待生产面板到清洗机台3进口处等待。依此循环进行干法蚀刻机4生产线的生产。如在生产过程中有制程腔体41状态由运行/等待变为非运行/等待，则将此有效制程腔体41及其对应的制程腔体41MODE从MODE排序中删除；如果在生产过程中有制程腔体41状态由非RUN/IDEL变为运行/等待，则将此制程腔体41及对应的制程腔体41MODE添加MODE排序中。面板由多层电路组成，根据每层电路来命名不同产品，不同产品使用MODE来区分，MODE信息由MES系统根据面板在整个生产的不同电路层自动带到每一片面板玻璃上，在不同电路层生产时需要自动变更MODE信息；然后在面板搬运到面板移栽机1时将此MODE信息跟随每片面板玻璃的资料一起下载到BC系统上，从而BC系统获取到每片面板的MODE信息。干法蚀刻机4机台各制程腔体41类型根据产品分类提供相同类型，同样使用MODE来区分(具体MODE的数量需求及命名根据不同面板技术来定)，每个制程腔体41均能设置为任一个MODE，MODE信息为每个制程腔体41的一个属性。MODE的数量和名称均能实现增加、修改、删除等功能以提供工程人员自定义操作。制程腔体41MODE设置提供手动及自动设定功能，默认为手动设定，自动设定预留为特殊情况下干法蚀刻机4机台的其它需求使用。每个制程腔体41进行MODE变更时需及时将新的MODE上报给BC系统，以便BC系统及时获知制程腔体41本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.干法蚀刻机取送片方法，其特征在于，包括以下步骤：A、干法蚀刻机机台上报各制程腔体的状态及MODE信息至BC系统，各制程腔体设有各自的ID序号；B、BC系统将状态为运行/等待的制程腔体列为有效制程腔体，将状态为非运行/等待的制程腔体列为无效制程腔体，将有效制程腔体按ID序号排序，根据此排序获取到对应制程腔体MODE排序，BC系统根据此MODE排序循环作为机械手臂从面板移栽机取对应MODE产品的依据；C、从面板移栽机上取待生产面板时，根据有效制程腔体MODE的排序，对面板移栽机上的待生产面板进行逐一MODE的比对，如果有对应的MODE产品则将其取出，如果没有对应MODE产品则依排序移到下一个MODE比对；D、如有对应的MODE产品，则机械手臂直接从面板移栽机上预先取出待生产面板到清洗机台进口处等待，待清洗机台里面生产完成且干法蚀刻机需要放片时进行交换片，交换片步骤为：机械手臂的一手臂将从面板移栽机中取出的面板放入清洗机台，机器人的另一手臂将清洗机台中取出的面板放入到干法蚀刻机里，同时再将干法蚀刻机里面需要排出的已完成面板取出送回面板移栽机，然后再预先取出待生产面板到清洗机台进口处等待。

【技术特征摘要】
1.干法蚀刻机取送片方法，其特征在于，包括以下步骤：A、干法蚀刻机机台上报各制程腔体的状态及MODE信息至BC系统，各制程腔体设有各自的ID序号；B、BC系统将状态为运行/等待的制程腔体列为有效制程腔体，将状态为非运行/等待的制程腔体列为无效制程腔体，将有效制程腔体按ID序号排序，根据此排序获取到对应制程腔体MODE排序，BC系统根据此MODE排序循环作为机械手臂从面板移栽机取对应MODE产品的依据；C、从面板移栽机上取待生产面板时，根据有效制程腔体MODE的排序，对面板移栽机上的待生产面板进行逐一MODE的比对，如果有对应的MODE产品则将其取出，如果没有对应MODE产品则依排序移到下一个MODE比对；D、如有对应的MODE产品，则机械手臂直接从面板移栽机上预先取出待生产面板到清洗机台进口处等待，待清洗机台里面生产完成且干法蚀刻机需要放片时进行交换片，交换片步骤为：机械手臂的一手臂将从面板移栽机中取出的面板放入清洗机台，机器人的另...

【专利技术属性】
技术研发人员：贺远苗，刘丰洋，邹良栋，
申请(专利权)人：中电九天智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：四川,51