晶圆收容容器制造技术

一种晶圆收容容器(1)，具备：容器本体(10)，在一端具有开口部(11)，在另一端具有与开口部(11)对向且可供重叠收容晶圆的搭载部(12)；盖体(20)，用以堵塞开口部(11)；以及保持机构(30)，可开闭地将容器本体(10)与盖体(20)嵌合保持；保持机构(30)于至少两个部位具有：卡止构件(32)，从容器本体(10)的另一端朝一端延伸，并在一端部具备卡止爪部(31)；以及卡止孔部(33)，设置于盖体(20)，且被卡止爪部(31)卡止；于盖体侧壁部(21)设置有：引导构件(40)，于盖体(20)朝容器本体(10)嵌合时，一边接触卡止构件(32)一边保持同心状态地引导容器本体(10)与盖体(20)。

Wafer container

A wafer receiving container (1) is provided with a container body (10), an opening part (11) at one end, a carrying part (12) opposite to the opening part (11) at the other end, a cover body (20) for blocking the opening part (11), and a holding mechanism (30), which can open and close the container body (10) and the cover body (20), and a holding mechanism (30) at least two parts, which are provided with a card The stop member (32) extends from the other end of the container body (10) to one end, and is provided with a clamping claw part (31) at one end, and a clamping hole part (33), which is arranged on the cover body (20), and is clamped by the clamping claw part (31); the side wall part (21) of the cover body is provided with a guiding member (40), when the cover body (20) is inlaid towards the container body (10), one side contacts the clamping member (32), while maintaining a concentric state to guide the container The body (10) and the cover body (20).

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】晶圆收容容器
本专利技术涉及一种晶圆收容容器。
技术介绍
作为用以收容半导体晶圆的晶圆收容容器，例如有专利文献1所揭示的容器。于专利文献1所揭示的晶圆收容容器设置有收容部，该收容部于容器本体上具备略筒状的本体侧壁部。于收容部的最上层与最下层配置有缓冲材料(cushionmaterial)等。收容部使晶圆与层间片(interlayersheet)(合成树脂制薄片(sheet)或无尘纸或合成树脂制成形品等)交替地夹设并收容于上下的缓冲材料之间。收容部以将具备略筒状的盖体侧壁部的盖体盖上的方式通过保持机构保持并收容成密闭状态。[现有技术文献][专利文献]专利文献1：日本特开2004－262545号公报。
技术实现思路
[专利技术所要解决的问题]然而，在专利文献1的晶圆收容容器中，预先使用以收容晶圆的收容部的本体侧壁部配合晶圆的外径，并以将盖体侧壁部盖上本体侧壁部的外侧的方式作成密闭状态。因此，在以通过机器人等自动装置将盖体盖上时不会有什么问题。然而，在通过作业者将盖体盖上时容器本体的中心轴与盖体的中心轴偏离而无法以同心状态盖上的情形中，会有因为盖体侧壁部而对被收容的晶圆造成损伤之虞的问题。尤其是，在预先将收容部的本体侧壁部作成比晶圆的外侧还大且将盖体侧壁部配置于内侧并以盖体侧壁部按压晶圆的构造的晶圆收容容器中，盖体侧壁部所致使的晶圆的损伤问题会变得更显着。本专利技术有鉴于此种现有技术的问题点而开发完成，目的在于提供一种能不会对已收容的晶圆造成损伤地将盖体盖上的晶圆收容容器。[解决问题的技术手段]为了达成所述目的，本专利技术的晶圆收容容器系具备：容器本体，在一端具有开口部，在另一端具有与所述开口部对向且可供重叠收容晶圆的搭载部；盖体，用以堵塞所述开口部；以及保持机构，可开闭地将所述容器本体与所述盖体嵌合保持；所述保持机构于至少两个部位具有：卡止构件，从所述容器本体的所述另一端朝所述一端延伸，并在一端部具备卡止爪部；以及卡止孔部，设置于所述盖体，且被所述卡止爪部卡止；于盖体侧壁部设置有：引导构件，于所述盖体朝所述容器本体嵌合时，一边接触所述卡止构件一边保持同心状态地引导所述容器本体与所述盖体。优选为，所述容器本体于所述搭载部隔开间隔形成有：本体侧壁部，划分用以收容所述晶圆的收容部；所述卡止构件形成为比所述本体侧壁部还高。优选为，所述引导构件由设置于所述盖体侧壁部的外侧的肋条(rib)所构成。优选为，所述盖体具有用以堵塞所述开口部的盖体顶面部，于所述盖体顶面部的至少两个部位具有：按压构件，于所述盖体顶面部的中心方向摆动，按压已收容并重叠于所述容器本体的所述晶圆的外侧；所述按压构件设置有：按压面件，以面按压所述晶圆的外周；所述容器本体具有：导引(guide)槽，使所述按压构件的前端部从所述搭载部的外侧朝内侧移动，并导引至按压所述晶圆的外周的位置；所述导槽设置成比所述搭载部的表面还凹陷。[专利技术的效果]依据本专利技术的晶圆收容容器，能不对已收容的晶圆造成损伤地将盖体盖上。附图说明图1为本专利技术的晶圆收容容器的一实施方式的容器本体的概略立体图。图2中的(a)为本专利技术的晶圆收容容器的一实施方式的卡止构件片的后视图；图2中的(b)为本专利技术的晶圆收容容器的一实施方式的卡止构件片的剖视图。图3为已将本专利技术的晶圆收容容器的一实施方式的盖体的上下反转的状态的概略立体图。图4为本专利技术的晶圆收容容器的一实施方式的图3的局部放大立体图。图5中的(a)为本专利技术的晶圆收容容器的一实施方式的盖体的卡止孔部的前视图；图5中的(b)为本专利技术的晶圆收容容器的一实施方式的盖体的卡止孔部的中央剖视图。图6中的(a)为本专利技术的晶圆收容容器的一实施方式的引导构件的动作的引导开始状态的说明图；图6中的(b)为本专利技术的晶圆收容容器的一实施方式的引导构件的动作的引导结束后的说明图。图7中的(a)为本专利技术的晶圆收容容器的一实施方式的按压构件的动作的局部俯视图；图7中的(b)为本专利技术的晶圆收容容器的一实施方式的按压构件的动作的局部剖视图。图8为本专利技术的晶圆收容容器的一实施方式的分解状态的构略立体图。具体实施方式以下依据附图详细说明本专利技术的晶圆收容容器的一实施方式。本专利技术的晶圆收容容器1具备：容器本体10，在一端具有开口部11，在另一端具有与开口部11对向且可供重叠收容晶圆W的搭载部12；盖体20，用以堵塞开口部11；以及保持机构30，可开闭地将容器本体10与盖体20嵌合保持。保持机构30于至少两个部位具有：卡止构件32，从容器本体10的另一端朝一端延伸，并在一端部具备卡止爪部31；以及卡止孔部33，设置于盖体20，且被卡止爪部31卡止。此外，于盖体侧壁部21设置有：引导构件40，于盖体20朝容器本体10嵌合时，一边接触卡止构件32一边保持同心状态地引导容器本体10与盖体20。藉此，当将盖体20盖上容器本体10时，在至少两部位中，盖体侧壁部21的引导构件40接触设置于容器本体10的卡止构件32。引导构件40与卡止构件32一边接触一边保持同心状态并引导盖体20，藉此能以盖体侧壁部21不会对已收容的晶圆W造成损伤的方式盖上盖体20。在本实施方式中，以容器本体10的开口部11朝向上方开口并将水平的晶圆W重叠收容于搭载部12上的情形作为例子进行说明。此外，也可在将晶圆W重叠收容至晶圆收容容器1并将盖体20盖上的收容完毕后，不论晶圆W在何种状态下皆可进行搬运等。晶圆W的朝向不论是例如水平或垂直等皆不会产生任何问题。容器本体10具备成为底面板的搭载部12。如图1所示，搭载部12形成为四角隅作成圆弧状的略正方形形状的四角形。于搭载部12的上表面重叠收容有晶圆W。此外，搭载部12并未限定于四角形形状，也可为其他的形状。此外，于搭载部12以朝向上方突出的方式形成有本体侧壁部14，该本体侧壁部14划分晶圆W的收容部13。本体侧壁部14形成为多个圆弧状，例如形成为四个圆弧状，该圆弧状配合晶圆W的形状并作为圆筒的一部分。本体侧壁部14沿着圆周隔开间隔L，并与搭载部12形成为一体。藉此，本体侧壁部14的上端部就成为容器本体10的开口部11，被本体侧壁部14划分的空间成为晶圆W的收容部13。本体侧壁部14的内径形成为不妨碍晶圆W的收容或取出的大小。本体侧壁部14的内径比晶圆W的大小(直径)还大，例如比5吋、6吋、8吋、12吋等尺寸还大(例如直径大1mm至2mm左右)。本体侧壁部14的间隔L作为晶圆W取出时的机器手臂(robotarm)的插入口。如图1以及图2中的(a)、(b)所示，于容器本体10的本体侧壁部14的下端部外周以朝向上方突出的方式形成有与盖体20(参照图3)之间呈圆弧状的密封(seal)面15。于搭载部12的外周的本体侧壁部14的间隔L部分经由段差部形成有直线状的密封面16。直线状的密封面16在两端部与圆弧状的密封面15连续且连结成环状并围绕容器本体10的全周。藉此，当后面所述的盖体20盖上时，盖体20中的被分割成四个盖体侧壁部21的内侧面接触圆弧状的密封面15。进而，与盖体20的盖体侧壁部21连结的四边上的直线状的盖体外壁部22接触直线状的密封面16。通过这些接触而被密封，晶圆收容容器1能将收容部13内作成密闭状态。将盖体20显示于图3、图4、图5中的(a)、(b)以及图8。盖体20以堵塞容器本本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆收容容器，具备：容器本体，在一端具有开口部，在另一端具有与所述开口部对向且可供重叠收容晶圆的搭载部；盖体，用以堵塞所述开口部；以及保持机构，可开闭地将所述容器本体与所述盖体嵌合保持；所述保持机构于至少两个部位具有：卡止构件，从所述容器本体的所述另一端朝所述一端延伸，并在一端部具备卡止爪部；以及卡止孔部，设置于所述盖体，且被所述卡止爪部卡止；于盖体侧壁部设置有：引导构件，于所述盖体朝所述容器本体嵌合时，一边接触所述卡止构件一边保持同心状态地引导所述容器本体与所述盖体。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2017.03.31 JP 2017-0699181.一种晶圆收容容器，具备：容器本体，在一端具有开口部，在另一端具有与所述开口部对向且可供重叠收容晶圆的搭载部；盖体，用以堵塞所述开口部；以及保持机构，可开闭地将所述容器本体与所述盖体嵌合保持；所述保持机构于至少两个部位具有：卡止构件，从所述容器本体的所述另一端朝所述一端延伸，并在一端部具备卡止爪部；以及卡止孔部，设置于所述盖体，且被所述卡止爪部卡止；于盖体侧壁部设置有：引导构件，于所述盖体朝所述容器本体嵌合时，一边接触所述卡止构件一边保持同心状态地引导所述容器本体与所述盖体。2.如权利要求1所述的晶圆收容容器，其特征在于，所述容器本体于所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：西岛正敬，广瀬贤一，
申请(专利权)人：阿基里斯株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP