光模块制造技术

本发明专利技术的光模块包括：支承层(2A)、设在支承层(2A)上的器件层(3A)、安装在器件层(3A)的可动镜(5A)。器件层(3A)具有：可动镜(5A)贯通的安装区域(31A)、与安装区域(31A)连接的驱动区域(32A)。在支承层(2A)与器件层(3A)之间，形成有至少与安装区域(31A)以及驱动区域(32A)对应的空间(S1A)，可动镜(5A)的一部分位于空间(S1A)。

Optical module

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】光模块
本专利技术的一方面涉及光模块。
技术介绍
已知利用MEMS(MicroElectroMechanicalSystems(微机电系统))技术在SOI(SiliconOnInsulator(绝缘体上硅))基板形成有干涉光学系统的光模块(例如，参照专利文献1)。这样的光模块由于能够提供实现高精度的光学配置的FTIR(傅立叶变换型红外分光分析仪)而受到注目。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特表2012－524295号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的问题但是，上述那样的光模块中，例如在可动镜的大小依赖于对SOI基板的深沟加工的达成度方面存在如下课题。即，因为对SOI基板的深沟加工的达成度最大也就500μm左右，在增大可动镜的大小来提高FTIR的灵敏度时存在极限。于是，考虑将分体形成的可动镜安装于器件层(例如在SOI基板中形成有驱动区域的层)的技术。本公开的一方面的目的在于提供一种能够实现可动镜向器件层的可靠安装的光模块。解决课题的技术手段本公开的一方面的光模块，包括：支承层、设在支承层上的器件层、安装在器件层的可动镜，器件层具有：可动镜贯通的安装区域、与安装区域连接的驱动区域，在支承层与器件层之间，形成有至少与安装区域以及驱动区域对应的空间，可动镜的一部分位于空间。在该光模块中，可动镜贯通器件层的安装区域，可动镜的一部分位于在支承层与器件层之间形成的空间。由此，可将可动镜稳定且牢固地固定于器件层的安装区域。由此，根据该光模块实现可动镜向器件层的可靠安装。本公开的一方面的光模块也可以是，还包括设在支承层与器件层之间的中间层，在中间层形成有第1开口，在支承层形成有凹部或第2开口，空间包含：第1开口内的区域以及凹部内的区域、或者、第1开口内的区域以及第2开口内的区域，可动镜的一部分位于凹部内的区域或第2开口内的区域。由此，可适宜地实现用于可动镜向器件层的可靠安装的构成。在本公开的一方面的光模块中也可以是，支承层为SOI基板的第1硅层，器件层为SOI基板的第2硅层，中间层为SOI基板的绝缘层。由此，可由SOI基板适宜地实现用于可动镜向器件层的可靠安装的构成。在本公开的一方面的光模块中也可以是，在支承层形成有凹部或开口，空间包含凹部内的区域或开口内的区域，可动镜的一部分位于凹部内的区域或开口内的区域。由此，可适宜地实现用于可动镜向器件层的可靠安装的构成。在本公开的一方面的光模块中也可以是，在器件层形成有凹部，空间包含凹部内的区域，可动镜的一部分位于凹部内的区域。由此，可适宜地实现用于可动镜向器件层的可靠安装的构成。在本公开的一方面的光模块中也可以是，在器件层形成有第1凹部，在支承层形成有第2凹部或开口，空间包含：第1凹部内的区域以及第2凹部内的区域、或者、第1凹部内的区域以及开口内的区域，可动镜的一部分位于第2凹部内的区域或开口内的区域。由此，可适宜地实现用于可动镜向器件层的可靠安装的构成。在本公开的一方面的光模块中也可以是，可动镜的镜面相对于器件层位于支承层的相反侧。由此，可简化光模块的构成。本公开的一方面的光模块也可以是，还包括：安装在支承层、器件层、以及设在支承层与器件层之间的中间层的至少一者的固定镜、安装在支承层、器件层以及中间层的至少一者的分束器，可动镜、固定镜以及分束器以构成干涉光学系统的方式配置。由此，可获得灵敏度提高的FTIR。本公开的一方面的光模块也可以还包括：配置成使测定光从外部向干涉光学系统入射的光入射部、配置成使测定光从干涉光学系统向外部出射的光出射部。由此，可获得包括光入射部以及光出射部的FTIR。专利技术的效果根据本公开的一方面，可提供一种实现可动镜向器件层的可靠安装的光模块。附图说明图1是一实施方式的光模块的俯视图。图2是沿图1所示的IIA－IIA线的截面图。图3是沿图1所示的IIIA－IIIA线的截面图。图4是沿图1所示的IVA－IVA线的截面图。图5是沿图1所示的VA－VA线的截面图。图6是可动镜的周边结构的变形例的截面图。图7是可动镜的周边结构的变形例的截面图。图8是可动镜的周边结构的变形例的截面图。图9是可动镜的周边结构的变形例的截面图。图10是可动镜的周边结构的变形例的截面图。图11是可动镜的周边结构的变形例的截面图。图12是可动镜的周边结构的变形例的截面图。图13是可动镜的周边结构的变形例的截面图。图14是可动镜的周边结构的变形例的截面图。图15是可动镜的周边结构的变形例的截面图。图16是一实施方式的光模块的俯视图。图17是沿图16所示的IIB－IIB线的截面图。图18是沿图16所示的IIIB－IIIB线的截面图。图19的(a)是图17的局部放大图，(b)是沿图17所示的IVbB－IVbB线的截面图。图20的(a)是示出可动镜的安装过程的截面图，(b)是沿(a)所示的VbB－VbB线的截面图。图21的(a)是示出可动镜的安装过程的截面图，(b)是沿(a)所示的VIbB－VIbB线的截面图。图22是沿图16所示的VIIB－VIIB线的截面图。图23是沿图16所示的VIIIB－VIIIB线的截面图。图24是示出第1开口的变形例的截面图。图25是示出可动镜的变形例的截面图。图26是沿图25所示的XIB－XIB线的截面图。图27是一实施方式的光模块的俯视图。图28是沿图27所示的IIC－IIC线的截面图。图29是沿图27所示的IIIC－IIIC线的截面图。图30的(a)是图27所示的可动镜的周边结构的立体图，(b)是沿图30的(a)所示的IVbC－IVbC线的截面图。图31是沿图27所示的VC－VC线的截面图。图32是沿图27所示的VIC－VIC线的截面图。图33是可动镜的周边结构的变形例的截面图。图34是可动镜的周边结构的变形例的截面图。图35是可动镜的周边结构的变形例的截面图。图36是可动镜的周边结构的变形例的截面图。图37是可动镜的周边结构的变形例的截面图。图38是可动镜的周边结构的变形例的截面图。图39是变形例所涉及的光模块的局部概略俯视图。图40是沿图39所示的IXVC－IXVC线的截面图。图41是沿图39所示的XVC－XVC线的截面图。图42是示出可动镜的变形例的正视图。图43是图42所示的变形例的截面图。图44是示出可动镜的变形例的正视图。图45是示出可动镜的变形例的正视图。图46是示出可动镜的变形例的正视图。图47是示出可动镜的变形例的正视图。图48是示出可动镜的变形例的正视图。图49是示出可动镜的变形例的正视图。图50是示出开口的变形例的俯视图。图51是示出开口的变形例的俯视图。图52是示出开口的变形例的俯视图。图53是示出可动镜变形例的截面图。图54是示出开口的变形例的俯视图。具体实施方式[第1实施方式]以下参照附图详细地说明本公开的一方面的实施方式。再有，在各图中对相同或相当的部分赋予相同的标号，省略重复的部分。[光模块的构成]如图1所示，光模块1A包括：支承层2A、设于支承层2A上的器件层3A、设于支承层2A与器件层3A之间的中间层4A。支承层2A、器件层3A以及中间层4A由SOI基板构成。具体地，支承层2A是SOI基板的第1硅层。器件层3A是SOI基板的第2硅层。中间层4A是SOI基板的绝缘层。支承层2A、器件层3A以及中间层4A在从它们的层叠方本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光模块，其中，包括：支承层；设置于所述支承层上的器件层；及安装于所述器件层的可动镜，所述器件层具有：所述可动镜贯通的安装区域；及与所述安装区域连接的驱动区域，在所述支承层与所述器件层之间，形成有至少与所述安装区域以及所述驱动区域对应的空间，所述可动镜的一部分位于所述空间。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2017.03.14 JP 2017-048561;2017.03.14 JP 2017-048561.一种光模块，其中，包括：支承层；设置于所述支承层上的器件层；及安装于所述器件层的可动镜，所述器件层具有：所述可动镜贯通的安装区域；及与所述安装区域连接的驱动区域，在所述支承层与所述器件层之间，形成有至少与所述安装区域以及所述驱动区域对应的空间，所述可动镜的一部分位于所述空间。2.根据权利要求1所述的光模块，其中，还包括设置于所述支承层与所述器件层之间的中间层，在所述中间层形成有第1开口，在所述支承层形成有凹部或第2开口，所述空间包含：所述第1开口内的区域以及所述凹部内的区域、或者、所述第1开口内的区域以及所述第2开口内的区域，所述可动镜的所述一部分位于所述凹部内的区域或所述第2开口内的区域。3.根据权利要求2所述的光模块，其中，所述支承层为SOI基板的第1硅层，所述器件层为所述SOI基板的第2硅层，所述中间层为所述SOI基板的绝缘层。4.根据权利要求1所述的光模块，其中，在所述支承层形成有凹部或开口，所述空间包含所述凹部内的区域...

【专利技术属性】
技术研发人员：铃木智史，杉本达哉，港谷恭辅，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP