光模块制造技术

本发明专利技术的光模块包括：支承层(2A)、设在支承层(2A)上的器件层(3A)、安装在器件层(3A)的可动镜(5A)。器件层(3A)具有：可动镜(5A)贯通的安装区域(31A)、与安装区域(31A)连接的驱动区域(32A)。在支承层(2A)与器件层(3A)之间，形成有至少与安装区域(31A)以及驱动区域(32A)对应的空间(S1A)，可动镜(5A)的一部分位于空间(S1A)。

Optical module

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】光模块
本专利技术的一方面涉及光模块。
技术介绍
已知利用MEMS(MicroElectroMechanicalSystems(微机电系统))技术在SOI(SiliconOnInsulator(绝缘体上硅))基板形成有干涉光学系统的光模块(例如，参照专利文献1)。这样的光模块由于能够提供实现高精度的光学配置的FTIR(傅立叶变换型红外分光分析仪)而受到注目。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特表2012－524295号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的问题但是，上述那样的光模块中，例如在可动镜的大小依赖于对SOI基板的深沟加工的达成度方面存在如下课题。即，因为对SOI基板的深沟加工的达成度最大也就500μm左右，在增大可动镜的大小来提高FTIR的灵敏度时存在极限。于是，考虑将分体形成的可动镜安装于器件层(例如在SOI基板中形成有驱动区域的层)的技术。本公开的一方面的目的在于提供一种能够实现可动镜向器件层的可靠安装的光模块。解决课题的技术手段本公开的一方面的光模块，包括：支承层、设在支承层上的器件层、安装在器件层的可动镜，器件层具有：可动镜贯通的安装区域、与安装区域连接的驱动区域，在本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光模块，其中，包括：支承层；设置于所述支承层上的器件层；及安装于所述器件层的可动镜，所述器件层具有：所述可动镜贯通的安装区域；及与所述安装区域连接的驱动区域，在所述支承层与所述器件层之间，形成有至少与所述安装区域以及所述驱动区域对应的空间，所述可动镜的一部分位于所述空间。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2017.03.14 JP 2017-048561;2017.03.14 JP 2017-048561.一种光模块，其中，包括：支承层；设置于所述支承层上的器件层；及安装于所述器件层的可动镜，所述器件层具有：所述可动镜贯通的安装区域；及与所述安装区域连接的驱动区域，在所述支承层与所述器件层之间，形成有至少与所述安装区域以及所述驱动区域对应的空间，所述可动镜的一部分位于所述空间。2.根据权利要求1所述的光模块，其中，还包括设置于所述支承层与所述器件层之间的中间层，在所述中间层形成有第1开口，在所述支承层形成有凹部或第2开口，所述空间包含：所述第1开口内的区域以及所述凹部内的区域、或者、所述第1开口内的区域以及所述第2开口内的区域，所述可动镜的所述一部分位于所述凹部内的区域或所述第2开口内的区域。3.根据权利要求2所述的光模块，其中，所述支承层为SOI基板的第1硅层，所述器件层为所述SOI基板的第2硅层，所述中间层为所述SOI基板的绝缘层。4.根据权利要求1所述的光模块，其中，在所述支承层形成有凹部或开口，所述空间包含所述凹部内的区域...

【专利技术属性】
技术研发人员：铃木智史，杉本达哉，港谷恭辅，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP