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本发明的光模块包括：支承层(2A)、设在支承层(2A)上的器件层(3A)、安装在器件层(3A)的可动镜(5A)。器件层(3A)具有：可动镜(5A)贯通的安装区域(31A)、与安装区域(31A)连接的驱动区域(32A)。在支承层(2A)与器件...
该专利属于浜松光子学株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过浜松光子学株式会社授权不得商用。

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