光学装置、曝光装置、光学装置制造方法和物品制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及光学装置、曝光装置、光学装置制造方法和物品制造方法。一种光学装置包括光学部件、被配置为支撑光学部件的支撑机构、操纵机构，该操纵机构被配置为在接触光学部件的同时操纵光学部件，使得光学部件的状态改变。通过操纵机构将光学部件从光学部件由支撑机构支撑的第一状态改变为光学部件由操纵机构支撑的第二状态。

Optical device, exposure device, optical device manufacturing method and article manufacturing method

【技术实现步骤摘要】
光学装置、曝光装置、光学装置制造方法和物品制造方法
本专利技术涉及一种光学装置、曝光装置、光学装置的制造方法和物品的制造方法。
技术介绍
在通过保持机构保持诸如透镜或镜子的光学部件的光学装置中，光学部件可以由于其自身重量等而在应力下变形。例如，日本专利公开第2001-242364号描述了在透镜和透镜安装部分在多个点处彼此接触的布置中，存在透镜变形和光学特性劣化的可能性。光学部件由于其自身重量而变形是不可避免的，但是可以在考虑光学部件的变形的同时调整包括光学部件的光学装置的光学特性。然而，当在装运之前调整光学装置并在装运之后再次调整光学装置时，如果在装运之前和装运之后光学部件的变形状态不同，则装运之前调整的重要性降低，并且在装运之后会需要长时间进行再次调整。
技术实现思路
本专利技术提供一种有利于缩短再次调整光学装置所需的时间的技术。本专利技术的第一方面提供了一种光学装置，包括光学部件和被配置为支撑光学部件的支撑机构，所述光学装置包含：操纵机构，被配置为在接触光学部件的同时操纵光学部件，使得光学部件的状态改变，其中，通过操纵机构将光学部件从光学部件由支撑机构支撑的第一状态改变为光学部件由操纵机构支撑的第二状态。本专利技术的第二方面提供了一种光学装置，包括光学部件和被配置为支撑光学部件的支撑机构，所述光学装置包含：操纵机构，被配置为在接触光学部件的同时操纵光学部件，使得光学部件的状态改变，其中，操纵机构包括被配置为驱动光学部件的驱动机构，并且光学部件由驱动机构驱动，使得光学部件从光学部件由支撑机构支撑的第一状态改变为光学部件由操纵机构支撑的第二状态。本专利技术的第三方面提供了一种光学装置，包括光学部件和被配置为支撑光学部件的支撑机构，所述光学装置包含：操纵机构，被配置为在接触光学部件的同时操纵光学部件，使得光学部件的状态改变；以及传感器，被配置为测量光学部件的位移或形状，其中，通过操纵机构将光学部件从光学部件由支撑机构支撑的第一状态改变为光学部件由操纵机构支撑的第二状态，并且基于传感器的测量结果，通过操纵机构操纵光学部件。本专利技术的第四方面提供了一种曝光装置，其被配置为使用在本专利技术的第一、第二和第三方面之一中限定的光学装置来曝光基板。本专利技术的第五方面提供了一种制造光学装置的方法，该光学装置包括光学部件、被配置为支撑光学部件的支撑机构以及被配置为操纵光学部件使得光学部件的状态改变的操纵机构，所述方法包括：将光学部件的状态设置为光学部件由支撑机构支撑的状态；在所述设置之后，将光学部件的状态改变为光学部件由操纵机构支撑的状态；在所述改变之后，将光学部件的状态改变为光学部件由支撑机构支撑的状态；在将光学部件的状态改变为光学部件由支撑机构支撑的状态之后，调整光学装置的光学特性；在所述调整之后，运输光学装置；在所述运输之后，将光学部件的状态设置为光学部件由支撑机构支撑的状态；当在所述运输之后将光学部件的状态设置为光学部件由支撑机构支撑的状态之后，将光学装置的状态改变为光学部件由操纵机构支撑的状态；以及在将光学装置的状态改变为光学部件由操纵机构支撑的状态之后，将光学装置的状态改变为光学部件由支撑机构支撑的状态。本专利技术的第六方面提供一种制造物品的方法，所述方法包括：通过使用在本专利技术的第四方面中限定的曝光装置对施加有光敏剂的基板进行曝光；通过对光敏剂进行显影来形成图案；以及使用该图案处理基板，其中，所述物品是从基板制造的。根据下面参照附图对示例性实施例的描述，本专利技术的其他特征将变得清晰。附图说明图1是示意性地示出作为根据本专利技术实施例的光学装置的曝光装置的布置的图；图2是示意性地示出根据本专利技术实施例的光学装置的布置的图；图3是示出应力减少操作的图；图4A和图4B是示意性地示出本专利技术的示例的图；图5是用于解释根据操纵机构对光学部件的操纵而发生的光学部件的变形的图；图6是示出使约束部件(一类支撑机构)与光学部件接触的过程的图；图7是示意性地示出本专利技术的另一示例的图；图8是示意性地示出根据本专利技术另一实施例的光学装置的布置的图；图9是示意性地示出根据本专利技术又一实施例的光学装置的布置的图；图10是用于解释问题的图；图11是用于解释问题的图；以及图12是用于解释问题的图。具体实施方式现在将参照附图通过其示例性实施例描述本专利技术。首先，将参照图10、图11和图12描述问题。注意，图10、图11和图12中所示的光学装置200仅是用于解释问题的参考示例，并未示出已知的光学装置。光学装置200可包括光学部件1、用于支撑光学部件1的支撑机构2和3以及用于封闭光学部件1的腔室30(封闭构件)。在光学部件1与支撑机构2和3之间产生摩擦力。摩擦力的大小和方向可以根据在支撑机构2和3上安装光学部件1的过程(顺序)以及在支撑机构2和3上安装光学部件1时光学部件1的移动量而改变。光学装置200的组装操作可以包括，例如，通过人力或升降架提起光学部件1并将其降低到支撑机构2和3上的操作。图10示意性地示出了用升降架54提起光学部件1并将其降低到支撑机构2和3上的操作。在图10所示的示例中，光学部件1在其向左侧(支撑机构2侧)移动的状态下降低到支撑机构2和3上。因此，光学部件1首先与支撑机构2和3中的左支撑机构2接触。即使意欲升降架54的位置与目标位置完全对准，升降架54的位置也总是在微米级上偏离目标位置。因此，每次光学部件1降低到支撑机构2和3上时，作用在降低到支撑机构2和3上并由支撑机构2和3支撑的光学部件1上的摩擦力都可以改变。在光学部件1降低到支撑机构2和3上并由支撑机构2和3支撑之后，可以检查和调整光学装置200的光学性能以满足规范。此后，可以准备(例如，包装和固定)光学装置200以供运输并运输(装运)。可以在其全部或部分被拆卸的状态下进行光学装置200的运输。图11示意性地示出了运输时的光学装置200。在运输时，光学部件1可以用固定部件55和56固定。通过用固定部件55和56固定光学部件1，可以防止在运输时光学部件1的损坏。然而，通过用固定部件55和56固定光学部件1，力被施加到光学部件1，使得光学部件1可以变形。另外，在运输期间光学装置200被施加冲击，使得光学部件1可变形。此外，在运输时，由于光学装置200的温度可以改变，光学部件1可以由于光学部件1与支撑机构2和3之间的热膨胀的差异而变形。此外，如图12中示意性所示，当光学装置200在用于运输的装载、卸载等时由升降架提起时，腔室30可以由于其自身重量而变形，其中提起钩57和58作为支撑点。由于上述原因，在准备运输(包装和固定)、装载、运输、卸载等时，在光学部件1中可能发生各种变形。因此，光学装置200或光学部件1的状态(光学部件1的变形状态)在装运之前的调整时间和装运之后的装运目的地的安装时间之间可能大不相同。此外，当光学装置200在其全部或部分被拆卸的状态下被运输时，光学装置200可以在运输目的地或安装目的地处组装。即使进行这样的拆卸和组装，光学装置200或光学部件1的状态(光学部件1的变形状态)在装运之前的调整时间和装运之后的装运目的地的安装时间之间也可能大不相同。因此，可以在装运目的地处再次调整光学装置200的光学特性。该调整可以包括调整光学部件1的位置。此外，在包括调整光学元件的光学装置200中，可以通本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光学装置，包括光学部件和被配置为支撑光学部件的支撑机构，所述光学装置包含：操纵机构，被配置为在接触光学部件的同时操纵光学部件，使得光学部件的状态改变，其中，通过操纵机构将光学部件从光学部件由支撑机构支撑的第一状态改变为光学部件由操纵机构支撑的第二状态。

【技术特征摘要】
2018.04.26 JP 2018-0857201.一种光学装置，包括光学部件和被配置为支撑光学部件的支撑机构，所述光学装置包含：操纵机构，被配置为在接触光学部件的同时操纵光学部件，使得光学部件的状态改变，其中，通过操纵机构将光学部件从光学部件由支撑机构支撑的第一状态改变为光学部件由操纵机构支撑的第二状态。2.根据权利要求1所述的装置，其中，操纵机构被配置为能够操纵光学部件，使得减少光学部件中的应力。3.根据权利要求1所述的装置，其中，通过操纵机构根据预定规范改变光学部件的状态。4.根据权利要求3所述的装置，其中，操纵机构根据在装运光学装置之前的规范改变光学部件的状态，并根据与装运之前相同的规范改变光学部件在光学装置的装运之后的状态。5.根据权利要求3所述的装置，其中，规范包括光学部件的状态的多次改变，并且规范包括多次改变的执行顺序的指定和光学部件在每一次改变中的移动量的指定。6.根据权利要求3所述的装置，其中，规范包括按照光学部件由支撑机构支撑的第一状态、光学部件由操纵机构支撑的第二状态和光学部件由支撑机构支撑的第一状态的顺序改变光学部件的状态。7.根据权利要求6所述的装置，其中，第二状态包括光学部件由操纵机构支撑但不由支撑机构支撑的状态。8.根据权利要求6所述的装置，其中，第二状态包括光学部件由支撑机构和操纵机构支撑的状态。9.根据权利要求6所述的装置，其中第二状态包括光学部件由支撑机构和操纵机构支撑的第三状态和光学部件由操纵机构支撑但不由支撑机构支撑的第四状态，并且操纵机构按照第一状态、第三状态、第四状态、第三状态和第一状态的顺序改变光学部件的状态。10.根据权利要求1所述的装置，还包括被配置为封闭光学部件的封闭构件，其中，操纵机构被配置为能够改变布置在封闭构件中的光学部件的状态。11.根据权利要求1所述的装置，其中，操纵机构包括被配置为驱动光学部件的驱动机构。12.根据权利要求1所述的装置，还包括被配置为测量光学部件的位移或形状的传感器，其中，基于传感器的测量结果，通过操纵机构操纵光学部件。13.根据权利要求12所述的装置，其中，在按照第一状态、第二状态和第一状态的顺序改变光学部件之后，通过传感器测量光学部件的位移或形状，并且基于传感器的测量结果，光学部件再次被改变为第二状态。14...

【专利技术属性】
技术研发人员：中岛猛，户村聪，羽切正人，关美津留，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP