光学装置、投影光学系统、曝光装置以及物品制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供光学装置、投影光学系统、曝光装置以及物品制造方法。本发明专利技术减小了当镜的形状变形时镜上产生的温度分布。光学装置包括：镜，具有反射面和与所述反射面的相反侧的背面；底座；固定部件，固定于所述背面的一部分，以将所述镜固定在所述底座上；以及多个致动器，分别向所述背面施加力以使所述反射面的形状变化。其中，所述多个致动器包括：多个第一致动器，分别向所述背面中的第一区域施加力，所述第一区域包围由所述固定部件固定的所述镜的固定部；以及多个第二致动器，分别向所述背面中的、包围所述第一区域的第二区域施加力。所述第一致动器的推力生成的效率比所述第二致动器的推力生成的效率高。

Optical device, projection optical system, exposure device, and article manufacturing method

The invention provides an optical device, a projection optical system, an exposure device, and an object manufacturing method. The invention reduces the temperature distribution on the mirror when the shape of the mirror is deformed. The optical device comprises a mirror having a reflective surface and rear surface of the reflective surface on the opposite side of the base;; fixed parts, a part is fixed on the back, with the mirror fixed on the base; and a plurality of actuators, respectively, to the back of a force is applied to the reflecting surface the shape change. Among them, the plurality of actuator includes a plurality of first actuator respectively, a force is applied to the first region of the back, the first region surrounded by the mirror is fixed by the fixing member; and a plurality of second actuators, respectively applying force to the second region surrounding the first region in the back. The efficiency of thrust generation of the first actuator is more efficient than the thrust of the second actuator.

【技术实现步骤摘要】
光学装置、投影光学系统、曝光装置以及物品制造方法
本专利技术涉及包含能够变形的镜(mirror)的光学装置、投影光学系统、曝光装置以及物品制造方法。
技术介绍
包含用于校正波面误差和图像失真的能够变形的镜的光学装置特别地应用于半导体曝光装置、液晶曝光装置、或天体望远镜等。近年来，对曝光装置中的分辨率的要求越来越严格，因此对曝光像差的要求也变得严格。因此，为了校正曝光像差，提出了一种在曝光装置中包含能够变形的镜的装置结构。另外，在天文领域中，为了抑制空气波动对设置在地上的望远镜的影响，也开始使用能够变形的镜。在日本专利第4817702号中，公开了一种配置有多个致动器(actuator)的光学装置，该多个致动器保持能够变形的镜的中心部，并使镜的中心部之外的区域的表面形状变形。另外，在日本专利特开2015-70214号中，公开了一种混合搭载有高刚性的致动器和低刚性的致动器以使镜的固有频率变高的光学装置。
技术实现思路
专利技术要解决的问题若在中心部保持能够变形的镜，则镜的中心部附近区域的刚性与远离中心部的周边区域相比更高。因此，越靠近镜表面的中心部的区域越难以变形，往往需要大的驱动力。本专利技本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光学装置，所述光学装置包括：镜，具有反射面和与所述反射面相反侧的背面；底座；固定部件，固定于所述背面的一部分，以将所述镜固定在所述底座上；以及多个致动器，分别向所述背面施加力以使所述反射面的形状变化，其中，所述多个致动器包括：多个第一致动器，分别向所述背面中的第一区域施加力，所述第一区域包围由所述固定部件固定的所述镜的固定部；以及多个第二致动器，分别向所述背面中的、包围所述第一区域的第二区域施加力，所述第一致动器的推力生成的效率比所述第二致动器的推力生成的效率高。

【技术特征摘要】
2016.01.19 JP 2016-0082831.一种光学装置，所述光学装置包括：镜，具有反射面和与所述反射面相反侧的背面；底座；固定部件，固定于所述背面的一部分，以将所述镜固定在所述底座上；以及多个致动器，分别向所述背面施加力以使所述反射面的形状变化，其中，所述多个致动器包括：多个第一致动器，分别向所述背面中的第一区域施加力，所述第一区域包围由所述固定部件固定的所述镜的固定部；以及多个第二致动器，分别向所述背面中的、包围所述第一区域的第二区域施加力，所述第一致动器的推力生成的效率比所述第二致动器的推力生成的效率高。2.根据权利要求1所述的光学装置，其中，施加了力的所述背面的区域与所述固定部之间的距离越小，所述第一致动器的效率和所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔长植，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP