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本发明提供光学装置、投影光学系统、曝光装置以及物品制造方法。本发明减小了当镜的形状变形时镜上产生的温度分布。光学装置包括：镜，具有反射面和与所述反射面的相反侧的背面；底座；固定部件，固定于所述背面的一部分，以将所述镜固定在所述底座上；以及多...
该专利属于佳能株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过佳能株式会社授权不得商用。

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