一种磁悬浮支撑装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种磁悬浮支撑装置，包括：支撑盘及设置于支撑盘上的光学元件，光学元件上设有若干第一连接端，支撑盘上设有与第一连接端对应的若干第二连接端，每个第一连接端与其对应的第二连接端之间通过磁浮机构支撑，第一连接端与第二连接端还通过柔性悬架连接。第一连接端与第二连接端之间通过磁浮机构支撑，磁浮机构可以向光学元件提供磁浮力，使光学元件可以飘浮起来，且通过柔性悬架将光学元件与支撑盘连接可以使光学元件与支撑盘之间连接稳定，以减少光学元件中的应力，隔离外界的干扰力对光学元件的影响，提高光学元件的面形精度。此外，还能够隔离外界振动对光学元件的影响，提高光学元件的稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种磁悬浮支撑装置
本专利技术涉及光学元件高精度面形实现
，更具体地说，涉及一种磁悬浮支撑装置。
技术介绍
随着高精度精密光学仪器的快速发展和应用，对光学系统成像质量要求也越来越高，尤其极紫外光刻技术(EUVL)应用，工作波长为13～14nm的波段，光学元件加工、检测、支撑装调等技术比传统的光学系统要求更高。极紫外光刻系统要达到衍射极限分辨率的要求，系统波前偏差要小于λ/14，对于六镜系统而言单个反射面面形要求达到0.20nmrms。在如此极端苛刻的面形要求下，光学元件支撑装置中的干扰因素对面形影响变得十分严重。综上所述，如何降低光学元件支撑装置对面形的影响，是目前本领域技术人员亟待解决的问题。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术的目的是提供一种可以降低对光学元件面形精度的影响的磁悬浮支撑装置。为了实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种磁悬浮支撑装置，包括：支撑盘及设置于所述支撑盘上的光学元件，所述光学元件上设有若干第一连接端，所述支撑盘上设有与所述第一连接端对应的若干第二连接端，每个所述第一连接端与其对应的所述第二连接端之间通过磁浮机构支撑，所述第一连接端与所述第二连接端本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种磁悬浮支撑装置，其特征在于，包括：支撑盘(3)及设置于所述支撑盘(3)上的光学元件(1)，所述光学元件(1)上设有若干第一连接端，所述支撑盘(3)上设有与所述第一连接端对应的若干第二连接端，每个所述第一连接端与其对应的所述第二连接端之间通过磁浮机构(2)支撑，所述第一连接端与所述第二连接端还通过柔性悬架连接。

【技术特征摘要】
1.一种磁悬浮支撑装置，其特征在于，包括：支撑盘(3)及设置于所述支撑盘(3)上的光学元件(1)，所述光学元件(1)上设有若干第一连接端，所述支撑盘(3)上设有与所述第一连接端对应的若干第二连接端，每个所述第一连接端与其对应的所述第二连接端之间通过磁浮机构(2)支撑，所述第一连接端与所述第二连接端还通过柔性悬架连接。2.根据权利要求1所述的磁悬浮支撑装置，其特征在于，所述磁浮机构(2)包括设置于所述第一连接端上的第一磁体及设置于所述第二连接端上的第二磁体，所述第一磁体与所述第二磁体的同磁极相对。3.根据权利要求2所述的磁悬浮支撑装置，其特征在于，所述第一磁体为正向条形磁体(5)，所述第二磁体为与所述正向条形磁体(5)磁极方向相反的反向条形磁体(7)。4.根据权利要求3所述的磁悬浮支撑装置，其特征在于，所述第一连接端为第一匚形接口板(4)，所述第二连接端为与所述第一匚形接口板(4)开口相对的第二匚形接口板(8)，所述正向条形磁体(5)设置于所述第一匚形接口板(4)的开口中，所述反向条形磁体(7)设置于所述第二匚形接口板(8)的开口中。5.根据权利要求4所述的磁悬浮支撑装置，其特征在于，所述柔性悬架包括设置于所述正向条形磁体(5)和所述反向条形磁体(7)的同侧、且一端连接于所述第一匚形接口板(4)、另一端...

【专利技术属性】
技术研发人员：王辉，周烽，王丽萍，李渊明，金春水，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：吉林,22