行星齿轮式清洗装置制造方法及图纸

一种行星齿轮式清洗装置，电机的输出轴与小带轮固定，小带轮与大带轮由传动带连接，大带轮与大轴的上端固定连接，大轴的中部由两个大轴轴承与轴套连接，轴套与大齿轮固定连接，大齿轮与小齿轮啮合，小齿轮与小轴的一端固定连接，大轴的另一端与一个双连架的一侧固定在一起，小轴的中部由两个小轴轴承支撑在双连架的另一侧内部，小轴的另一端与刷子固定连接。刷子就在小轴的带动下，不断地绕大轴公转，同时刷子本身也不断地绕小轴的轴线自转，该装置结构紧凑，齿轮受力状况较好，效率较高，从而能够对承片台进行均匀的清洗。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种清洗装置，特别是一种应用在半导体设备上的承片台清洗装置。(二)
技术介绍
在国内外的半导体设备中，对承片台的清洗工作主要采用的是直线滑块式清洗装置和滚 轮式清洗装置。直线滑块式清洗装置的缺点是对承片台的清洗的效率低，结构占用空间较 大；而滚轮式清洗装置的缺点是承片台清洗不均匀，尤其对于承片台的中心部位不能够进行 很好的清洗，工作起来各有不同的缺点和问题。(三)
技术实现思路
本技术的目的是为半导体设备提供一种结构紧凑、运转平稳、清洗均匀的旋转式清 洗结构。为实现上述目的，本技术的解决方案是这种行星齿轮式清洗装置，包括顺序连接的电机、传动机构和刷子，其特征在于传动 机构为带轮和齿轮双轴传动机构，电机1的输出轴与小带轮2固定，小带轮2与大带轮4由传动 带17连接，大带轮4与大轴5的上端固定连接，大轴5的中部由两个大轴轴承14与轴套6连接， 轴套6与大齿轮7固定连接，大齿轮7与小齿轮8啮合，小齿轮与小轴9的一端固定连接，大轴 5的另一端与一个双连架10的一侧固定在一起，小轴9的中部由两个小轴轴承l3支撑在双连架 IO的另一侧内部，小轴的另一端与刷子ll固定连接。优选的技术方案上述大带轮2与大轴5之间可由胀紧套3或花键固定连接。上述轴套6的中部可设有凸台，该凸台与护罩18连接。上述小轴的另一端可由刷座和螺栓与刷子ll固定连接。该结构中的大带轮与大轴采用胀紧套连接，结构简单，中心定位精度高。旋转的大轴和 小轴与轴套之间都采用了双轴承设计，提高了结构旋转刚度。采用行星齿轮式的清洗结构，由于齿轮传动的选用使结构更加紧凑，体积小，可以充分 利用空间，所以结构尺寸非常紧凑。同时轮系中分布的行星轮齿承受载荷，行星齿轮公转产 生的离心惯性力与齿廓啮合处的径向力相平衡，使受力状况较好，噪音较低，效率较高，清 洗均匀。刷子采用既自转又公转的设计，刷子就在小轴的带动下，不断地绕大轴公转，同时刷子本身也不断地绕小轴的轴线自转，从而使机构能够对半导体设备专用的承片台或其它平面物 体进行均匀的清洗。(四) 附图说明 图l是本技术的内部结构示意图。 图2是刷子工作原理示意图。 图3是本技术的外形结构示意图。附图标记l一电机、2 —小带轮、3 —胀紧套、4一大带轮、5 —大轴、6 —轴套、7 —大 齿轮、8 —小齿轮、9一小轴、IO —双连架、ll一刷子、12 —承片台、13 —小轴轴承、14一大 轴轴承、15 —刷座、16 —螺栓、17 —传动带、18 —护罩。具体实施方式实施例如图l、 3所示，这种行星齿轮式清洗装置，包括顺序连接的电机、传动机构和刷 子，其特征在于传动机构为带轮和齿轮双轴传动机构，电机1的输出轴与小带轮2固定，小 带轮2与大带轮4由传动带17连接，大带轮4与大轴5的上端由胀紧套3固定连接，大轴5的中部 由两个大轴轴承14与轴套6连接，轴套6与大齿轮7固定连接，大齿轮7与小齿轮8啮合，小齿 轮与小轴9的一端固定连接，大轴5的另一端与一个双连架10的一侧固定在一起，小轴9的中 部由两个小轴轴承13支撑在双连架10的另一侧内部，小轴的另一端由刷座和螺栓与刷子ll固 定连接。轴套6的中部可设有凸台，该凸台与护罩18连接。这种新型行星齿轮结构的清洗装置，主要由电机、带轮、轴、齿轮、双连架、刷子等几 部分组成，小带轮2固定在伺服电机1的输出轴端，小带轮通过皮带带动大带轮运动，大带轮 通过胀紧套与大轴连接，大轴与双连架固定在一起，小轴同时与小齿轮和双连架固定在一 起，大齿轮与轴套固定在一起，并与小齿轮啮合。通过同步带传动带动大带轮4旋转，大轴 5、双连架10就实现了与大带轮4的同轴线旋转，同时小轴9就在双连架10的带动下，绕大轴 5的轴线进行旋转，在此同时，小轴9上固定的小齿轮8与轴套6上固定的大齿轮7进行啮合， 于是刷子ll就实现了自旋转。工作过程中，伺服电机的输出轴转速为m，则小带轮固定在输出轴上，转速也为m;小 带轮通过同步带传动带动大带轮旋转，大带轮获得了转速n2，与大带轮固定在一起的大轴、 双连架也具有了转速I12，同时，双连架带动小轴以及刷子绕大轴以转速112旋转，此时，小轴 上固定的小齿轮与轴套上固定的大齿轮进行啮合，从而使小轴自身产生了转速为112自旋转。由图2所示，刷子11的大小超过承片台12的半径，刷子就在小轴的带动下，以转速!12绕 大轴旋转，同时刷子本身也不断地以转速I13绕小轴的轴线旋转。所以，在清洗的过程中，刷子以转速I12对承片台进行清洗时，在承片台的中心部位，刷子的线速度较低，但是由于刷子 的大小超过承片台半径，此时刷子仍然具有一定大小的线速度，而且刷子以转速I13的自旋转 可以产生较大的线速度，能够较好的弥补刷子以转速112产生线速度较小的不足，从而能够对 承片台的中心部位进行很好的清洗。权利要求1. 一种行星齿轮式清洗装置，包括顺序连接的电机、传动机构和刷子，其特征在于传动机构为带轮和齿轮双轴传动机构，电机(1)的输出轴与小带轮(2)固定，小带轮(2)与大带轮(4)由传动带(17)连接，大带轮(4)与大轴(5)的上端固定连接，大轴(5)的中部由两个大轴轴承(14)与轴套(6)连接，轴套(6)与大齿轮(7)固定连接，大齿轮(7)与小齿轮(8)啮合，小齿轮与小轴(9)的一端固定连接，大轴(5)的另一端与一个双连架(10)的一侧固定在一起，小轴(9)的中部由两个小轴轴承(13)支撑在双连架(10)的另一侧内部，小轴的另一端与刷子(11)固定连接。2.根据权利要求l所述的行星齿轮式清洗装置，其特征在于上述大 带轮(2)与大轴(5)之间由胀紧套(3)或花键固定连接。3.根据权利要求1或2所述的行星齿轮式清洗装置，其特征在于上 述轴套(6)的中部有凸台，该凸台与护罩(18)连接。4.根据权利要1或2所述的行星齿轮式清洗装置，其特征在于上述 小轴的另一端由刷座和螺栓与刷子(11)固定连接。专利摘要一种行星齿轮式清洗装置，电机的输出轴与小带轮固定，小带轮与大带轮由传动带连接，大带轮与大轴的上端固定连接，大轴的中部由两个大轴轴承与轴套连接，轴套与大齿轮固定连接，大齿轮与小齿轮啮合，小齿轮与小轴的一端固定连接，大轴的另一端与一个双连架的一侧固定在一起，小轴的中部由两个小轴轴承支撑在双连架的另一侧内部，小轴的另一端与刷子固定连接。刷子就在小轴的带动下，不断地绕大轴公转，同时刷子本身也不断地绕小轴的轴线自转，该装置结构紧凑，齿轮受力状况较好，效率较高，从而能够对承片台进行均匀的清洗。文档编号F16H37/00GK201127394SQ20072020176公开日2008年10月8日 申请日期2007年12月25日 优先权日2007年12月25日专利技术者徐旭光, 欣 王, 衣忠波 申请人:中国电子科技集团公司第四十五研究所本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种行星齿轮式清洗装置，包括顺序连接的电机、传动机构和刷子，其特征在于：传动机构为带轮和齿轮双轴传动机构，电机（１）的输出轴与小带轮（２）固定，小带轮（２）与大带轮（４）由传动带（１７）连接，大带轮（４）与大轴（５）的上端固定连接，大轴（５）的中部由两个大轴轴承（１４）与轴套（６）连接，轴套（６）与大齿轮（７）固定连接，大齿轮（７）与小齿轮（８）啮合，小齿轮与小轴（９）的一端固定连接，大轴（５）的另一端与一个双连架（１０）的一侧固定在一起，小轴（９）的中部由两个小轴轴承（１３）支撑在双连架（１０）的另一侧内部，小轴的另一端与刷子（１１）固定连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：衣忠波，王欣，徐旭光，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第四十五研究所，
类型：实用新型
国别省市：13[中国|河北]