致动传感模块制造技术

一种致动传感模块，包含：主体，包括:第一隔腔，内部隔出第一隔室及第二隔室；第二隔腔，内部具有第三隔室；第三隔腔，内部由承载隔板隔出第四隔室及第五隔室；微粒监测基座，设置于第三隔腔的第四隔室、承载隔板之间；多个致动器，包括:第一致动器，设置于第二隔室及第一隔板之间；第二致动器，设置于微粒监测基座的承置槽中；多个传感器，包括第一传感器，设置于第一隔室中，并对气体进行监测；第二传感器，设置于第三隔室中，以对第三隔室中的气体监测；以及第三传感器，位于微粒监测基座的监测通道中，以对监测通道的气体监测。

Actuator Sensor Module

【技术实现步骤摘要】
致动传感模块
本案关于一种致动传感模块，尤指一种组配于薄型可携式装置应用进行气体监测的致动传感模块。
技术介绍
现代人对于生活周遭的气体品质的要求愈来愈重视，例如一氧化碳、二氧化碳、挥发性有机物(VolatileOrganicCompound，VOC)、PM2.5、一氧化氮、一氧化硫等等气体，环境中这些气体暴露会影响人体健康，严重的甚至危害到生命。因此环境气体品质好坏纷纷引起各国重视，为目前急需要去重视的课题。如何确认气体品质的好坏，利用一种气体传感器来监测周围环境气体是可行的，若又能即时提供监测信息，警示处在环境中的人，能够即时预防或逃离，避免遭受环境中的气体暴露造成人体健康影响及伤害，利用气体传感器来监测周围环境可说是非常好的应用。目前气体传感器的感测监测气体是依据环境气流而导送到气体传感器表面做反应监测，若无致动器来导引气体，增加气体流速时，气体移动至气体传感器的时间过长，感测效率不彰；然而若加设致动器组成一致动传感模块，又会因为致动器作动时，因其高速及持续的振动，因而产生热能，这热能将会不断的传递至感测气体传感器周边，如此热能进而导致传感器周遭的待测气体与致动传感模块感测的外围气体有所差异，影响气体传感器的监测结果。此外，当致动传感模块应用于一装置(如可携式电子装置)上结合后，装置内电子元件(如电路板、处理器等)运作后，导致产生装置内一些气体污染、热源等干扰物质，这些干扰物质导入致动传感模块内与待测气体混合皆会影响到气体传感器的监测品质，无法测量到致动传感模块的外围待测气体真正特性与成份，造成测量结果产生误差。有鉴于此，要如何提升感测效率的同时，又要达到致动传感模块真正监测到所需待测气体，降低其他外在因素对于气体传感器气体传感器所造成的影响，实为目前迫切需要解决的问题
技术实现思路
本案的主要目的是提供一种致动传感模块，可组配于薄型可携式装置应用进行气体监测，致动传感模块包含一主体、一致动器及一气体传感器，致动器的设置不仅加快气体导送到气体传感器的表面进行监测，提升气体传感器感测效率，且主体具备有单向开口监测腔室，以提供一单向气体导入导出的监测，共振片再透过致动器致动导送气体，达到致动传感模块真正导入薄型可携式装置外气体进行监测，这致动传感模块内所需监测气体特性等同于薄型可携式装置外的气体特性。本案的一广义实施态样为一种致动传感模块，包含：一主体，由多个隔腔结合组成，该多个隔腔包括:一第一隔腔，内部由一第一隔板区隔出一第一隔室及一第二隔室，且设有一第一进气口，连通该第一隔室，设有一第一出气口，连通该第二隔室，以及该第一隔板具有一第一连通口，以连通该第一隔室及该第二隔室；一第二隔腔，供与第一隔腔结合成一体，内部具有一第三隔室，且设有一第二通气口，连通该第三隔室；一第三隔腔，供与第一隔腔及第二隔腔结合成一体，内部由一承载隔板隔出一第四隔室及一第五隔室，且设有一第二进气口，连通该第四隔室，设有一第二出气口，连通该第五隔室，以及该承载隔板具有一第二连通口，以连通该第四隔室及该第五隔室；一微粒监测基座，设置于该第三隔腔的该第四隔室、该承载隔板之间，具有一监测通道，且该监测通道一端具有一承置槽，与该监测通道连通；多个致动器，包括:一第一致动器，设置于该第二隔室及该第一隔板之间，以控制气体由该第一进气口导入该第一隔室，并透过该第一连通口连通而导送于该第二隔室中，再由该第一出气口排出，构成该第一隔室的单一方向气体导送；一第二致动器，设置于该微粒监测基座的该承置槽中，封闭该监测通道的一端，以控制气体由该第二进气口导入该第四隔室再导入该监测通道，并透过该第二连通口连通而导送于该第五隔室中，再由该第二出气口排出，构成该第三隔室的单一方向气体导送；多个传感器，包括一第一传感器，设置于该第一隔室中，并与该第一致动器保持相互隔离，并对流通于表面的气体进行监测；以及一第二传感器，设置于该第三隔室中，以对导入该第三隔室中的气体监测；以及一第三传感器，承载于该承载隔板上，并位于该微粒监测基座的该监测通道中，以对导入该监测通道的气体监测。【附图说明】图1为本案致动传感模块的第一隔腔剖面示意图。图2为本案致动传感模块的第二隔腔剖面示意图。图3为本案致动传感模块的第三隔腔剖面示意图图4为本案致动传感模块应用于薄型可携式装置示意图。图5为图4的致动传感模块应用于薄型可携式装置的第一隔腔剖面示意图。图6为图4的致动传感模块应用于薄型可携式装置的第二隔腔及第三隔腔剖面示意图。图7A为本案致动传感模块的第一致动器分解示意图。图7B为本案致动传感模块的第一致动器另一角度分解示意图。图8A为本案致动传感模块的第一致动器剖面示意图。图8B至图8D为本案致动传感模块的第一致动器作动示意图。图9为本案致动传感模块的第二致动器分解示意图。图10A为本案致动传感模块的第二致动器组设于微粒监测基座上剖面示意图。图10B及图10C为本案致动传感模块的第二致动器组设于微粒监测基座上作动示意图。图11为本案致动传感模块的第一隔腔另一实施例剖面示意图图12A为本案致动传感模块另一实施例的阀示意图。图12B为本案致动传感模块另一实施例的阀作动示意图。图13为本案致动传感模块的第三隔腔另一实施例剖面示意图。图14为本案致动传感模块的第三隔腔另一实施例应用于薄型可携式装置所对应第四通孔示意图。图15为本案致动传感模块的第三隔腔另一实施例应用于薄型可携式装置剖面示意图。【符号说明】10：薄型可携式装置10a：第一通孔10b：第二通孔10c：第三通孔10d：第四通孔1：主体1a：第一隔腔11a：第一本体11b：第二本体11c：隔板11d：第一隔室11e：第二隔室11f：第一进气口11g：第一出气口11h：第一流通口11i：第一连接穿孔11j：第二连接穿孔1b：第二隔腔12a：第三本体12b：第四本体12c：第三腔室12d：通气口12e：第三连接穿孔11c：第三隔腔13a：第五主体13b：第六主拟13c：承载隔板13d：第四隔室13e：第五隔室13f：第二进气口13g：第二出气口13h：第二流通口13i：第四连接穿孔13j：连接器2：微粒监测基座21：监测通道22：承置槽31：第一致动器31：进气板31a：进气孔31b：汇流排孔31c：汇流腔室31：共振板31a：中空孔31b：可动部31c：固定部313：压电致动器313a：悬浮板3131a：第一表面3132a：第二表面313b：外框3131b：组配表面3132b：下表面313c：连接部313d：压电元件313e：间隙313f：凸部314：绝缘片315：导电片316：腔室空间32：第二致动器321：喷气孔片321a：支架321b：悬浮片321c：中空孔洞322：腔体框架323：致动体323a：压电载板323b：调整共振板323c：压电片324：绝缘框架325：导电框架326：共振腔室327：气流腔室41：第一传感器42：第二传感器43：第三传感器5：电路软板6：阀61：保持件62：密封件63：位移件g：腔室间距【具体实施方式】体现本案特征与优点的一些典型实施例将在后段的说明中详细叙述。应理解的是本案能够在不同的态样上具有各种的变化，其皆不脱离本案的范围，且其中的说明及图示在本质上当作说明之用，而非用以限制本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种致动传感模块，其特征在于，包含：一主体，由多个隔腔结合组成，该多个隔腔包括：一第一隔腔，内部由一第一隔板区隔出一第一隔室及一第二隔室，且设有一第一进气口，连通该第一隔室，设有一第一出气口，连通该第二隔室，以及该第一隔板具有一第一连通口，以连通该第一隔室及该第二隔室；一第二隔腔，供与第一隔腔结合成一体，内部具有一第三隔室，且设有一通气口，连通该第三隔室；以及一第三隔腔，供与第一隔腔及第二隔腔结合成一体，内部由一承载隔板隔出一第四隔室及一第五隔室，且设有一第二进气口，连通该第四隔室，设有一第二出气口，连通该第五隔室，以及该承载隔板具有一第二连通口，以连通该第四隔室及该第五隔室；一微粒监测基座，设置于该第三隔腔的该第四隔室、该承载隔板之间，具有一监测通道，且该监测通道一端具有一承置槽，与该监测通道连通；多个致动器，包括：一第一致动器，设置于该第二隔室及该第一隔板之间，以控制气体由该第一进气口导入该第一隔室，并透过该第一连通口连通而导送于该第二隔室中，再由该第一出气口排出，构成该第一隔腔的单一方向气体导送；一第二致动器，设置于该微粒监测基座的该承置槽中，封闭该监测通道的一端，以控制气体由该第二进气口导入该第四隔室再导入该监测通道，并透过该第二连通口连通而导送于该第五隔室中，再由该第二出气口排出，构成该第三隔腔的单一方向气体导送；以及多个传感器，包括：一第一传感器，设置于该第一隔室中，并与该第一致动器保持相互隔离，并对流通于表面的气体进行监测；一第二传感器，设置于该第三隔室中，以对进入该第三隔室中的气体监测；以及一第三传感器，承载于该承载隔板上，并位于该微粒监测基座的该监测通道中，以对导入该监测通道的气体监测。...

【技术特征摘要】
1.一种致动传感模块，其特征在于，包含：一主体，由多个隔腔结合组成，该多个隔腔包括：一第一隔腔，内部由一第一隔板区隔出一第一隔室及一第二隔室，且设有一第一进气口，连通该第一隔室，设有一第一出气口，连通该第二隔室，以及该第一隔板具有一第一连通口，以连通该第一隔室及该第二隔室；一第二隔腔，供与第一隔腔结合成一体，内部具有一第三隔室，且设有一通气口，连通该第三隔室；以及一第三隔腔，供与第一隔腔及第二隔腔结合成一体，内部由一承载隔板隔出一第四隔室及一第五隔室，且设有一第二进气口，连通该第四隔室，设有一第二出气口，连通该第五隔室，以及该承载隔板具有一第二连通口，以连通该第四隔室及该第五隔室；一微粒监测基座，设置于该第三隔腔的该第四隔室、该承载隔板之间，具有一监测通道，且该监测通道一端具有一承置槽，与该监测通道连通；多个致动器，包括：一第一致动器，设置于该第二隔室及该第一隔板之间，以控制气体由该第一进气口导入该第一隔室，并透过该第一连通口连通而导送于该第二隔室中，再由该第一出气口排出，构成该第一隔腔的单一方向气体导送；一第二致动器，设置于该微粒监测基座的该承置槽中，封闭该监测通道的一端，以控制气体由该第二进气口导入该第四隔室再导入该监测通道，并透过该第二连通口连通而导送于该第五隔室中，再由该第二出气口排出，构成该第三隔腔的单一方向气体导送；以及多个传感器，包括：一第一传感器，设置于该第一隔室中，并与该第一致动器保持相互隔离，并对流通于表面的气体进行监测；一第二传感器，设置于该第三隔室中，以对进入该第三隔室中的气体监测；以及一第三传感器，承载于该承载隔板上，并位于该微粒监测基座的该监测通道中，以对导入该监测通道的气体监测。2.如权利要求1所述的致动传感模块，其特征在于，该第一隔腔包括一第一本体及一第二本体，其中该第一本体及该第二本体相互对接，且该第一隔板设置于该第一本体、该第二本体之间，以使该第一本体、该第一隔板之间构成第一隔室，该第二本体、该第一隔板之间构成第二隔室，而该第一进气口设置于该第一本体、该第一隔板之间连通该第一隔室，该第一出气口设置于该第二本体、该第一隔板之间连通该第二隔室。3.如权利要求1所述的致动传感模块，其特征在于，该第二隔腔包括一第三本体及一第四本体，其中该第三本体及该第四本体相互对接以区隔出第三隔室。4.如权利要求1所述的致动传感模块，其特征在于，该第三隔腔包括一第五本体及一第六本体，其中该第五本体及该第六本体相互对接，且该承载隔板设置于该第五本体、该第六本体之间，以使该第五本体、该承载隔板之间构成第四隔室，该第六本体、该承载隔板之间构成第五隔室，而该第二进气口设置于该第五本体、该承载隔板之间连通该第四隔室，该第二出气口设置于该第六本体、该承载隔板之间连通该第五隔室。5.如权利要求1所述的致动传感模块，其特征在于，该第一传感器为气体传感器。6.如权利要求5所述的致动传感模块，其特征在于，该气体传感器包含一氧气传感器、一一氧化碳传感器及一二氧化碳传感器的至少其中之一或其任意组合而成的群组。7.如权利要求5所述的致动传感模块，其特征在于，该气体传感器包含一挥发性有机物传感器。8.如权利要求5所述的致动传感模块，其特征在于，该气体传感器包含监测细菌、病毒及微生物的至少其中之一或其任意组合而成的群组的传感器。9.如权利要求1所述的致动传感模块，其特征在于，该第二传感器为温度传感器及湿度传感器的至少其中之一。10.如权利要求1所述的致动传感模块，其特征在于，该第三传感器为光感传感器。11.如权利要求10所述的致动传感模块，其特征在于，该光感传感器为PM2.5传感器。12.如权利要求1所述的致动传感模块，其特征在于，该第一致动器为一微机电系统气体泵。13.如权利要求1所述的致动传感模块，其特征在于，该第一致动器为一气体泵，其包含：一进气板，具有至少一进气孔、至少一汇流排孔及一汇流腔室，其中该至少一进气孔供导入气流，该汇流排孔对应该进气孔，且引导该进气孔的气流汇流至该汇流腔室；一共振片，具有一中空孔对应该汇流腔室，且该中空孔的周围为一可动部；以及一压电致动器，与该共振片相对应设置；其中，该共振片与该压电致动器之间具有一间隙形成一腔室空间，以使该压电致动器受驱动时，使气流由该进气板的该至少一进气孔导入，经该至少一汇流排孔汇集至该汇流腔室，再流经该共振片的该中空孔，由该...

【专利技术属性】
技术研发人员：莫皓然，林景松，韩永隆，黄启峰，李伟铭，
申请(专利权)人：研能科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71