【技术实现步骤摘要】
一种折射率匹配液辅助光学玻璃微透镜激光切割方法
本专利技术涉及光学玻璃微透镜切割
，特别是涉及一种折射率匹配液辅助光学玻璃微透镜激光切割方法。
技术介绍
光学玻璃微透镜，是指在传统光学玻璃透镜的基础上，在其表面制备一系列单元特征尺度为数百纳米到数十微米的微结构，从而使光学玻璃微透镜具备特殊的几何光学特性。其典型的器件，如光学玻璃微透镜阵列、光学摄像头、衍射光学器件、曲面折射-衍射光学元件等，是我国亟需的基础材料，广泛应用于精确制导、大型激光装备、高功率/超高功率光学系统、激光武器、光学成像、光学检测、通信互联、激光精密加工、生物医疗、VR/AR等领域中。现阶段光学玻璃微透镜的切割分离方法以机械方法为主。其主要的切割分离方法有金刚石刀具划线后掰片分离、锯切、线锯切割等，面临着切割质量差、切割速度慢、工艺流程繁琐、需后续打磨抛光等一系列问题。高质量的光学玻璃微透镜的切割分离面临着诸多问题。激光切割可以有效解决现阶段的光学玻璃材料机械切割所面临的问题。而传统的激光切割由于光学玻璃微透镜表面具有特殊的光学结构，将会使激光焦点产生不可控的二次折射/聚焦效应，从而使激光...
【技术保护点】
1.一种折射率匹配液辅助光学玻璃微透镜激光切割方法，其特征在于：包括如下步骤：步骤1：根据待切割光学玻璃微透镜的材料，选择同光学玻璃微透镜材料的折射率相同或相近的折射率匹配液；其典型的折射率匹配液组成成分为水和亚甲基碘氟化物；步骤2：将折射率匹配液放置于开口容器内，根据待切割分离光学玻璃微透镜的整体结构和表面微结构尺寸，选择合适的折射率匹配液深度，并将光学玻璃微透镜水平放置于折射率匹配液内；步骤3：开启激光切割装置，采用连续/脉冲激光，将激光焦点经过折射率匹配液入射至光学玻璃微透镜材料内部，并使材料吸收激光能量，在光学玻璃微透镜内部产生高温区域，移动激光焦点，从而完成切割分离。
【技术特征摘要】
1.一种折射率匹配液辅助光学玻璃微透镜激光切割方法，其特征在于：包括如下步骤：步骤1：根据待切割光学玻璃微透镜的材料，选择同光学玻璃微透镜材料的折射率相同或相近的折射率匹配液；其典型的折射率匹配液组成成分为水和亚甲基碘氟化物；步骤2：将折射率匹配液放置于开口容器内，根据待切割分离光学玻璃微透镜的整体结构和表面微结构尺寸，选择合适的折射率匹配液深度，并将光学玻璃微透镜水平放置于折射率匹配液内；步骤3：开启激光切割装置，采用连续/脉冲激光，将激光焦点经过折射率匹配液入射至光学玻璃微透镜材料内部，并使材料吸收激光能量，在光学玻璃微透镜内部产生高温区域，移动激光焦点，从而完成切割分离。2.根据权利要求1所述的折射率匹配液辅助光学玻璃微透镜激...
【专利技术属性】
技术研发人员：周天丰，刘朋，阮本帅，颜培，梁志强，刘志兵，解丽静，焦黎，王西彬，
申请(专利权)人：北京理工大学，
类型：发明
国别省市：北京,11
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