【技术实现步骤摘要】
一种激光透射多孔阳极氧化铝制备纳米结构的方法及装置
本专利技术属于激光刻蚀领域,涉及纳米结构的加工技术,尤其是一种激光透射多孔阳极氧化铝制备纳米结构的方法及装置。
技术介绍
现今的工业生产和科研工作对仪器设备的精密度要求越来越高,微型结构的制作更加受到人们的重视。纳米物质,是尺寸介于分子和微米尺度间的物质,由一维、二维、三维的尺寸在1-100nm范围内的物质组成的结构称为纳米结构。由于近年来人们对于纳米结构的加工方法逐渐多样化和成熟化,纳米结构在电子领域、光学领域、磁学领域和医学领域得到了大量的应用。目前纳米结构的加工方式分为人工构筑法、分子自组装方法和模板法。一、人工构筑法分为光刻技术、束流刻蚀法、STM/AFM加工法、纳米压印技术。1、光刻技术:是利用光学-化学反应原理使用光致抗蚀剂配合光掩模板在待加工表面“复印”光掩模板上的图形图案。2、束流刻蚀法:加工原理与光刻技术类似使用了离子束和电子束取代光源。3、STM/AFM加工法:使用原子力显微镜与不同类型探针想配合对加工表面进行物理和化学上的修饰。4、纳米压印技术:将具有纳米级图案的样本利用机械力按压在涂有高分 ...
【技术保护点】
1.一种激光透射多孔阳极氧化铝制备纳米结构的方法,其特征在于:将多孔阳极氧化铝模板置于待加工金属表面的上方,且与待加工金属表面间隔一定距离,将激光扫描振镜系统置于多孔阳极氧化铝模板的上方,使激光能穿透多孔阳极氧化铝模板的纳米孔作用在待加工金属表面上,在待加工金属表面刻蚀出纳米结构。
【技术特征摘要】
1.一种激光透射多孔阳极氧化铝制备纳米结构的方法,其特征在于:将多孔阳极氧化铝模板置于待加工金属表面的上方,且与待加工金属表面间隔一定距离,将激光扫描振镜系统置于多孔阳极氧化铝模板的上方,使激光能穿透多孔阳极氧化铝模板的纳米孔作用在待加工金属表面上,在待加工金属表面刻蚀出纳米结构。2.根据权利要求1所述的激光透射多孔阳极氧化铝制备纳米结构的方法,其特征在于:激光采用单次扫描。3.根据权利要求1所述的激光透射多孔阳极氧化铝制备纳米结构的方法,其特征在于:多孔阳极氧化铝模板与待加工金属表面的间距为0.5~5mm。4.根据权利要求1所述的激光透射多孔阳极氧化铝制备纳米结构的方法,其特征在于:多孔阳极氧化铝模板与激光扫描振镜系统的间距为215-220mm。5.根据权利要求1所述的激光透射多孔阳极氧化铝制备纳米结构的方法,其特征在于:激光波长小于多孔阳极氧化铝模板的孔径。6.根据权利要求1所述的激光透射多孔阳极氧化铝制备纳米结构的方法,其特征在于:在多孔阳极氧化铝模板上激光光斑为0.05-0.08mm。7.一种激光透射多孔阳极氧化铝制备纳米结构的装置,其特征在于:包...
【专利技术属性】
技术研发人员:赵静楠,郭健,聂溪晗,李子超,马晓磊,王啸坤,
申请(专利权)人:天津科技大学,
类型:发明
国别省市:天津,12
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