一种激光扫描装置及激光扫描光学系统制造方法及图纸

本发明专利技术实施例是关于一种激光扫描装置及激光扫描光学系统。该激光扫描装置包括激光发生器、第一折射镜、第二折射镜、第三折射镜、振镜以及驱动装置，其中，所述激光发生器用以发射一激光束；所述第一折射镜靠近所述激光发生器发射激光束的一侧；所述第二折射镜与所述第三折射镜位于所述第一折射镜和振镜之间，且间隔第一预设距离；所述驱动装置与所述第一折射镜连接，用以驱动所述第一折射镜沿所述激光束的光路方向进行往复移动第二预设距离。本发明专利技术实施例可以使得聚焦至工作平面内的激光光斑尺寸更接近预期目标，在一定程度上减小了激光扫描装置的误差，使得扫描结果更加精确。

A Laser Scanning Device and Laser Scanning Optical System

【技术实现步骤摘要】
一种激光扫描装置及激光扫描光学系统
本专利技术实施例涉及激光聚焦
，尤其涉及一种激光扫描装置及激光扫描光学系统。
技术介绍
激光扫描装置可广泛应用于激光打标、激光雕刻以及激光加工等领域。相关技术中，能变焦的激光扫描装置通常要依赖于序列光线追迹模式下的成像光学设计，即忽略入射激光本身的光束发散角、强度分布等光束特性，将入射激光近似为平行光。关于上述技术方案，专利技术人发现至少存在如下一些技术问题：例如激光扫描装置实际的聚焦光斑尺寸会偏离预期设计指标，使用时还需要依赖经验对扫描结果进行补偿修正，费时费力。因此，有必要改善上述相关技术方案中存在的一个或者多个问题。需要注意的是，本部分旨在为权利要求书中陈述的本专利技术的实施方式提供背景或上下文。此处的描述不因为包括在本部分中就承认是现有技术。
技术实现思路
本专利技术实施例的目的在于提供一种激光扫描装置及激光扫描光学系统，进而至少在一定程度上克服由于相关技术的限制和缺陷而导致的一个或者多个问题。根据本专利技术实施例的第一方面，提供一种激光扫描装置，包括激光发生器、第一折射镜、第二折射镜、第三折射镜、振镜以及驱动装置；其中：所述激光发生器，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种激光扫描装置，其特征在于，包括激光发生器、第一折射镜、第二折射镜、第三折射镜、振镜以及驱动装置；其中：所述激光发生器，用以发射一激光束；所述第一折射镜，靠近所述激光发生器发射激光束的一侧，用以将所述激光束发散形成发散激光束；所述第二折射镜与所述第三折射镜位于所述第一折射镜和振镜之间，且间隔第一预设距离；其中，所述发散激光束依次通过所述第二折射镜与所述第三折射镜汇聚后照射至所述振镜的镜片表面，并由所述振镜的镜片表面反射至工作面；所述驱动装置，与所述第一折射镜连接，用以驱动所述第一折射镜沿所述激光束的光路方向进行往复移动第二预设距离；所述第一折射镜、所述第二折射镜和所述第三折射镜分别具有预...

【技术特征摘要】
1.一种激光扫描装置，其特征在于，包括激光发生器、第一折射镜、第二折射镜、第三折射镜、振镜以及驱动装置；其中：所述激光发生器，用以发射一激光束；所述第一折射镜，靠近所述激光发生器发射激光束的一侧，用以将所述激光束发散形成发散激光束；所述第二折射镜与所述第三折射镜位于所述第一折射镜和振镜之间，且间隔第一预设距离；其中，所述发散激光束依次通过所述第二折射镜与所述第三折射镜汇聚后照射至所述振镜的镜片表面，并由所述振镜的镜片表面反射至工作面；所述驱动装置，与所述第一折射镜连接，用以驱动所述第一折射镜沿所述激光束的光路方向进行往复移动第二预设距离；所述第一折射镜、所述第二折射镜和所述第三折射镜分别具有预设焦距。2.根据权利要求1所述激光扫描装置，其特征在于，所述第一折射镜为负透镜，所述第二折射镜和所述第三折射镜为正透镜。3.根据权利要求2所述激光扫描装置，其特征在于，所述第一折射镜的有效通光直径大于所述激光束的光斑直径。4...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏美乐，
申请(专利权)人：西安荷佐里机电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：陕西,61