【技术实现步骤摘要】
一种多向MEMS扫描装置
本专利技术涉及激光扫描
，尤其是一种多向MEMS扫描装置。
技术介绍
激光扫描作为一种非接触式的测量方法已经在各个领域被广泛应用，通常扫描分为两种方式，一种是一维扫描，一种是二维扫描。传统的扫描机构主要采用电机驱动反射镜或振镜进行扫描，整个扫描装置体积较大，并且扫描频率有一定限制。在MEMS激光扫描技术出现后，扫描装置的体积降低了很多，但是某些MEMS激光扫描装置扫描维度及面积有很大限制，实际使用中扫描效率都受到一定的限制。
技术实现思路
本专利技术人针对上述问题及技术需求，提出了一种多向MEMS扫描装置，该装置可以实现多方向大面积的扫描，扫描效率较高，而且扫描图形可以灵活控制，扫描自由度也较高。本专利技术的技术方案如下：一种多向MEMS扫描装置，该多向MEMS扫描装置包括光源和双微镜扫描单元，双微镜扫描单元包括第一微镜、第二微镜、分束器、第一微镜隔离罩和第二微镜隔离罩，第一微镜、第二微镜、第一微镜隔离罩和第二微镜隔离罩分别采用MEMS工艺加工而成，第一微镜和第二微镜均采用二维扫描微镜，分束器分别和第一微镜隔离罩以及第二微镜隔离罩连接在...
【技术保护点】
1.一种多向MEMS扫描装置，其特征在于，所述多向MEMS扫描装置包括光源和双微镜扫描单元，所述双微镜扫描单元包括第一微镜、第二微镜、分束器、第一微镜隔离罩和第二微镜隔离罩，所述第一微镜、第二微镜、第一微镜隔离罩和第二微镜隔离罩分别采用MEMS工艺加工而成，所述第一微镜和第二微镜均采用二维扫描微镜，所述分束器分别和所述第一微镜隔离罩以及第二微镜隔离罩连接在一起，所述第一微镜和所述第一微镜隔离罩连接在一起，所述第二微镜和所述第二微镜隔离罩连接在一起，所述第一微镜隔离罩和第二微镜隔离罩上分别刻有隔离罩腔，所述第一微镜在所述第一微镜隔离罩的隔离罩腔内部进行扫描，所述第二微镜在所述...
【技术特征摘要】
1.一种多向MEMS扫描装置，其特征在于，所述多向MEMS扫描装置包括光源和双微镜扫描单元，所述双微镜扫描单元包括第一微镜、第二微镜、分束器、第一微镜隔离罩和第二微镜隔离罩，所述第一微镜、第二微镜、第一微镜隔离罩和第二微镜隔离罩分别采用MEMS工艺加工而成，所述第一微镜和第二微镜均采用二维扫描微镜，所述分束器分别和所述第一微镜隔离罩以及第二微镜隔离罩连接在一起，所述第一微镜和所述第一微镜隔离罩连接在一起，所述第二微镜和所述第二微镜隔离罩连接在一起，所述第一微镜隔离罩和第二微镜隔离罩上分别刻有隔离罩腔，所述第一微镜在所述第一微镜隔离罩的隔离罩腔内部进行扫描，所述第二微镜在所述第二微镜隔离罩的隔离罩腔内部进行扫描；所述光源朝向所述双微镜扫描单元中的所述分束器，所述光源发出的光经所述分束器的分束作用后分别入射到所述第一微镜和所述第二微镜上，所述第一微镜和所述第二微镜分别按照各自的扫描方式将入射的光通过所述分束器入射到待测物体上，所述第一微镜和第二微镜的扫描方式分别由独立的扫描信号进行控制。2.根据权利要求1所述的多向MEMS扫描装置，其特征在于，所述多向MEMS扫描装置包括N个所述双微镜扫描单元，各个所述双微镜扫描单元的扫描方式分别由独立的扫描信号进行控制，N≥2，N个所述双微镜扫描单元依次排列形成一个扫描单元行，所述光源发出的光入射到所述扫描单元行中的第1个双微镜扫描单元的分束器；在所述扫描单元行中，入射到第i个双微镜扫描单元的分束器的光经所述分束器的分束作用后分别入射到所述第i个双微镜扫描单元中的微镜以及第i+1个双微镜扫描单元的分束器，i为参...
【专利技术属性】
技术研发人员：兰树明，
申请(专利权)人：无锡迅杰光远科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32
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