温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种多向MEMS扫描装置，涉及激光扫描技术领域，该多向MEMS扫描装置采用两个以上的二维扫描微镜级联，可以实现对待测样品的多方向同时扫描，可以大大提高扫描效率；且每个微镜可以独立控制使得扫描单元实现任意图形的扫描，在实际应用时可...
该专利属于无锡迅杰光远科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡迅杰光远科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。