【技术实现步骤摘要】
光扫描装置
本专利技术涉及光扫描装置。
技术介绍
一直以来，公知一种光扫描装置，其使用将在压电薄膜的上表面形成有上部电极、并在下表面形成有下部电极的压电元件作为驱动源的促动器，使反射入射光的反射镜绕旋转轴旋转，来扫描反射光。在该促动器中，为了对压电薄膜施加电压，形成有与上部电极连接的上部布线、和与下部电极连接的下部布线(例如参照专利文献1和专利文献2)。上述的促动器具有用于使反射镜绕旋转轴旋转的MEMS构造体，MEMS构造体在厚度方向上较大地变形。作为MEMS构造体，为了确保表面的面内方向的刚性并且降低厚度方向的刚性，能够形成折皱构造。并且，作为MEMS构造体，能够形成为具有扭杆的结构，并且通过扭杆的扭转，能够使反射镜绕旋转轴旋转。在使用具有扭杆的促动器的光扫描装置中，公知当以使扭杆产生扭转变形的方式进行共振驱动时，对反射镜施加由扭杆的扭转变形产生的应力，从而反射镜也产生变形。专利文献3中提出如下技术：为了抑制上述的反射镜的变形，在反射镜的背面设置肋。为了抑制由扭杆的扭转引起的反射镜的变形，以提高扭杆与反射镜之间的连接部的刚性的方式配置肋。现有技术文献专利文献1：...
【技术保护点】
1.一种光扫描装置，其特征在于，具有：反射镜支撑部，其形成有反射激光的反射镜；驱动梁，其具有沿与预定轴垂直的方向延伸的梁，且与上述反射镜支撑部连接；驱动源，其形成于上述梁的一个面上；肋，其形成于上述反射镜支撑部的背面中与上述反射镜对置的位置；以及露出部，其使上述反射镜支撑部在除了上述反射镜以外的区域的上述反射镜支撑部的表面露出，通过上述驱动源的驱动，驱动上述反射镜支撑部使之在绕上述预定轴旋转的方向上摆动。
【技术特征摘要】
2018.03.14 JP 2018-0462451.一种光扫描装置，其特征在于，具有：反射镜支撑部，其形成有反射激光的反射镜；驱动梁，其具有沿与预定轴垂直的方向延伸的梁，且与上述反射镜支撑部连接；驱动源，其形成于上述梁的一个面上；肋，其形成于上述反射镜支撑部的背面中与上述反射镜对置的位置；以及露出部，其使上述反射镜支撑部在除了上述反射镜以外的区域的上述反射镜支撑部的表面露出，通过上述驱动源的驱动，驱动上述反射镜支撑部使之在绕上述预定轴旋转的方向上摆动。2.根据权利要求1所述的光扫描装置，其特征在于，上述肋是沿第一方向延伸的多个第一肋和沿与上述第一方向正交的第二方向延伸的多个第二肋交叉而成的井字形形状。3.根据权利要求2所述的光扫描装置，其特征在于，当延长上述第一肋而成的第一假想直线以及延长上述第二肋而成的第二假想直线与上述反射镜的外周在交点处交叉时，由相邻的上述交点决定的上述反射镜的外周的长度大致相等。4.根据权利要求2或3所述的光扫描装置，其特征在于，上述肋还具有沿上述反射镜的外周的环状的第三肋。5.根据权利要求4所述的光扫描装置，其特征在于，上述第一肋和上述第二肋分别与上述第三肋具有交点。6.根据权利要求1所述的光扫描装置，其特征在于，上述肋具有沿第一方向延伸的第一肋、沿与上述第一方向正交的第二方向延伸的第二肋、以及沿上述反射镜的外周的环状的第三肋，上述第一肋和上述第二肋分别与上述第三肋具有交点。7.根据权利要求1～3任一项中所述的光扫描装置，其特征在于，上述驱动梁具有...
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