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本发明抑制由形成于反射镜支撑部的表面的表面膜的膜应力引起的反射镜的平面度的恶化。本发明的光扫描装置具有形成有反射激光的反射镜的反射镜支撑部、具有沿与预定轴垂直的方向延伸的梁且与上述反射镜支撑部连接的驱动梁、形成于上述梁的一个面上的驱动源、形...
该专利属于三美电机株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过三美电机株式会社授权不得商用。

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