光学隔离的微机电(MEMS)开关和相关方法技术

描述光学隔离的微机电(MEMS)开关和相关方法。本文所述光学隔离的MEMS开关可用于提供电子设备之间的隔离。例如，本文所述类型的光学隔离的MEMS开关可以在接收电子设备和控制电路之间使用单独的接地。通过使用光学隔离器和MEMS开关可以实现高压信号和高压电源的隔离，其中光学隔离器控制MEMS开关的状态。在一些实施方案中，利用光学隔离器提供高电压，可以去除对诸如高压电源和电荷泵之类的电高压源的需求，从而消除了对接收电子设备的潜在损坏的原因。在一个示例中，光学隔离器和MEMS开关可以共同封装在同一衬底上。

Optically Isolated Microelectromechanical (MEMS) Switches and Related Methods

【技术实现步骤摘要】
光学隔离的微机电(MEMS)开关和相关方法相关申请的交叉引用本申请根据35U.S.C.§119(e)要求2018年3月15日提交的题为“光学隔离的微机电(MEMS)开关和相关方法”、代理人案卷号G0766.70241US00的美国临时专利申请序列No.62/643,567的权益，其全部内容通过引用并入本文。
本申请涉及微机电系统(MEMS)开关。
技术介绍
一些微机电系统(MEMS)开关包括可移动梁。当处于接通状态时，可移动的光束提供电信号的通道；当处于关闭状态时，它阻挡了通道。
技术实现思路
一些实施方案涉及光学隔离的微机电(MEMS)开关和相关方法。本文所述光学隔离的MEMS开关可用于提供电子设备之间的隔离。例如，本文所述类型的光学隔离的MEMS开关可以在接收电子设备和控制电路之间使用单独的接地。通过使用光学隔离器和MEMS开关可以实现高压信号和高压电源的隔离，其中光学隔离器控制MEMS开关的状态。在一些实施方案中，利用光学隔离器提供高电压，可以去除对诸如高压电源和电荷泵之类的电高压源的需求，从而消除了对接收电子设备的潜在损坏的原因。在一个示例中，光学隔离器和MEMS开关可以共同封装本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高压光隔离系统，包括：具有控制端子的开关；和耦合到所述开关的控制端子的光接收器，所述光接收器被配置为响应于接收光信号而输出20V至10000V之间的电压。

【技术特征摘要】
2018.03.15 US 62/643,567;2018.09.21 US 16/137,6401.一种高压光隔离系统，包括：具有控制端子的开关；和耦合到所述开关的控制端子的光接收器，所述光接收器被配置为响应于接收光信号而输出20V至10000V之间的电压。2.权利要求1所述的高压光隔离系统，其中所述开关和所述光接收器设置在同一封装中。3.权利要求1所述的高压光隔离系统，其中所述光接收器被配置为响应于接收光信号而输出60V至10000V之间的电压。4.权利要求1所述的高压光隔离系统，其中所述光接收器包括多个光电探测器。5.权利要求1所述的高压光隔离系统，其中所述高压光隔离系统缺少电荷泵和高压电源。6.权利要求1所述的高压光隔离系统，还包括设置在封装中的光源。7.权利要求6所述的高压光隔离系统，其中所述光源堆叠在所述光接收器的顶部上。8.权利要求7所述的高压光隔离系统，其中所述光源通过粘合透光层堆叠在所述光接收器的顶部上。9.权利要求1所述的高压光隔离系统，还包括邻近所述光接收器设置的非平面光学分离器。10.权利要求1所述的高压光隔离系统，其中所述开关包括具有可移动梁的MEMS开关。11.权利要求1所述的高压光隔离系统，还包括转换速率限制电路，其耦合到所述光接收器和所述开关的控制端子，所述转换速率限制电路被配置为限制施加到所述开关的控制端...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵映，A·奥都奈尔，M·J·托希格，O·J·科尔西，J·T·希兰，M·C·W·科尔恩，P·W·史蒂文斯，B·A·赫克特，P·菲茨杰拉德，M·舍默尔，
申请(专利权)人：亚德诺半导体无限责任公司，
类型：发明
国别省市：百慕大群岛,BM