【技术实现步骤摘要】
促动器以及光扫描装置
本专利技术涉及促动器以及光扫描装置。
技术介绍
一直以来，公知一种光扫描装置，其使用将在压电薄膜的上表面形成有上部电极、并在下表面形成有下部电极的压电元件作为驱动源的促动器，使反射入射光的反射镜部绕旋转轴旋转，来扫描反射光。在该促动器中，为了对压电薄膜施加电压，形成有与上部电极连接的上部布线、和与下部电极连接的下部布线(例如参照专利文献1和专利文献2)。上述的促动器具有用于使反射镜部绕旋转轴旋转的MEMS构造体，MEMS构造体在厚度方向上较大地变形。作为MEMS构造体，为了确保表面的面内方向的刚性并且降低厚度方向的刚性，能够形成折皱构造。在专利文献3的图4所示的具有折皱构造的MEMS构造体中，通过在折皱的悬臂部配置压电元件，使之变形，来使反射镜摆动。该行为因压电元件伸长收缩而折皱的悬臂部翘曲，从而作为MEMS构造体发挥功能，但由于压电元件不仅在悬臂的长边方向上还在短边方向上伸长收缩，所以反射镜部因其影响不仅摆动还进行厚度方向上的并进移动，即有厚度方向上的位移。现有技术文献专利文献1：日本特开2016-1325号公报专利文献2：日本专利5876...
【技术保护点】
1.一种促动器，其特征在于，具有：驱动梁，其具有沿与预定轴垂直的方向延伸的梁，并且支撑驱动对象物；驱动源，其形成于上述梁的一个面上；以及肋，其形成于上述梁的另一个面，在上述驱动源的与肋的端部对置的部分形成有切口部，通过上述驱动源的驱动，驱动上述驱动对象物使之在绕上述预定轴旋转的方向上摆动。
【技术特征摘要】
2018.03.02 JP 2018-0370561.一种促动器，其特征在于，具有：驱动梁，其具有沿与预定轴垂直的方向延伸的梁，并且支撑驱动对象物；驱动源，其形成于上述梁的一个面上；以及肋，其形成于上述梁的另一个面，在上述驱动源的与肋的端部对置的部分形成有切口部，通过上述驱动源的驱动，驱动上述驱动对象物使之在绕上述预定轴旋转的方向上摆动。2.根据权利要求1所述的促动器，其特征在于，上述驱动梁具有沿与上述预定轴垂直的方向延伸的多个上述梁，相邻的上述梁的端部彼此通过折回部连结，从而整体具有之字形状的折皱构造。3.根据权利要求2所述的促动器，其特征在于，从上述梁与上述折回部的连结位置至上述肋的距离为上述梁在与上述预定轴垂直的方向上的长度的10％以上且20％以下。4.根据权利要求1～3任一项中所述的促动器，其特征在于，上述肋形成为在上述梁的长边方向上较短且在短边方向上较长的形状。5.根据权利要求1～3任一项中所述的促动器，其特征在于，上述肋在上述预定轴的方向上的长度为上述梁的宽度的70％以上。6.根据权利要求1～3任一项中所述的促动器，其特征在于，上述切口部是上述驱动源的一部分在上述梁的一个面的俯视中呈半圆形状地被除去而成的切口部。7.根据权利要求1～3任一项中所述的促动器，其特征在于，上述切口部在上述预定轴的方向上的深度为上述肋的长度的14％以上。8.根据权利要求1～3任一项中所述的促动器，其特征在于，在与上述预定轴垂直的方向上的上述切口部的宽度与上述肋的宽度的差为0.2mm以上。9.一种促动器，其特征在于，具有：驱动梁，其具有沿与预定轴垂直的方向延伸的多个梁...
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