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促动器以及光扫描装置制造方法及图纸
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下载促动器以及光扫描装置的技术资料
文档序号:22074499
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本发明提供一种促动器以及光扫描装置。通过抑制促动器在厚度方向上的位移,也能够在利用光的干涉的测定装置中利用。本发明的促动器具备具有沿与预定轴垂直的方向延伸的梁且与驱动对象物连接的驱动梁、形成于上述梁的一个面上的驱动源、以及形成于上述梁的另一...
该专利属于三美电机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三美电机株式会社授权不得商用。
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