促动器和光扫描装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供促动器和光扫描装置，目的在于：能够抑制在锯齿波的归零区间单独产生的振铃自身，与归零部分的波形以外的波形无关地抑制振铃。本发明专利技术的促动器具备支承驱动对象物的梁以及被输入驱动信号的驱动源，上述驱动信号包含锯齿波形状的驱动波形，上述锯齿波形状的驱动波形的下降沿部分的微分波形具有将振铃波长乘以除了整数以外的预定倍数所得的波长的半正弦波的形状，通过上述驱动源的驱动，在围绕预定的轴旋转的方向对上述驱动对象物进行摇动驱动。

Actuator and Optical Scanning Device

【技术实现步骤摘要】
促动器和光扫描装置
本专利技术涉及促动器和光扫描装置。
技术介绍
以前，已知一种光扫描装置，其使用将在压电薄膜的上表面形成了上部电极、在下表面形成了下部电极的压电元件作为驱动源的促动器，使反射入射光的反射镜部围绕旋转轴旋转，来扫描反射光。在该促动器中，为了向压电薄膜施加电压，而形成有与上部电极连接的上部布线、与下部电极连接的下部布线(例如参照专利文献1和专利文献2)。在上述光扫描装置中，对驱动源使用锯齿状波形的电压，但在驱动时，有时产生因反射镜部的共振振动造成的振铃(ringing)。振铃的产生会造成通过光扫描装置的扫描而形成的图像的质量变差。在专利文献3中，检测输入锯齿波时的振动角度，并且进行对驱动波形施加频率滤波的反馈控制以除去振铃分量。在专利文献4中，输入对已知的频率分量施加了除去共振频率分量的滤波所得的驱动波形。但是，如果使用如上述那样对驱动波形整体施加频率滤波的方法，则存在以下的问题，即例如在使用主扫描区间为阶梯状的锯齿波的情况下，阶梯部分变钝，无法得到所需要的线性区间。另外，在施加滤波的方法中，对连续重复的锯齿波有效，但在锯齿波的频率变动的情况、锯齿波和锯齿波之间不定期地本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种促动器，其特征在于，具备：支承驱动对象物的梁；以及被输入驱动信号的驱动源，其中，上述驱动信号包含锯齿波形状的驱动波形，上述锯齿波形状的驱动波形的下降沿部分的微分波形具有将振铃波长乘以除了整数以外的预定倍数所得的波长的半正弦波的形状，通过上述驱动源的驱动，在围绕预定的轴旋转的方向上对上述驱动对象物进行摇动驱动。

【技术特征摘要】
2018.03.15 JP 2018-0480941.一种促动器，其特征在于，具备：支承驱动对象物的梁；以及被输入驱动信号的驱动源，其中，上述驱动信号包含锯齿波形状的驱动波形，上述锯齿波形状的驱动波形的下降沿部分的微分波形具有将振铃波长乘以除了整数以外的预定倍数所得的波长的半正弦波的形状，通过上述驱动源的驱动，在围绕预定的轴旋转的方向上对上述驱动对象物进行摇动驱动。2.根据权利要求1所述的促动器，其特征在于，上述预定倍数的波长是振铃波长的(n+0.5)倍的波长，其中，n为正整数。3.根据权利要求1或2所述的促动器，其特征在于，多个上述梁在与上述预定的轴垂直的方向上延伸，相邻的上述梁的端部之间通过折回部连结，作为整体具有之字形的蛇腹构造。4.根据权利要求1或2所述的促动器，其特征在于，上述梁是在表面形成有上述驱动源而对上述驱动对象物进行摇动的驱动梁。5.根据权利要求1或2所述的促动器，其特征在于，上述锯齿波形状的驱动波形的下降沿部分的微分波形具有将偶数个上述半正弦波连结起来所得的波形。6.根据权利要求1或2所述的促动器，其特征在于，上述锯齿波形状的驱动波形的上升沿部分具有第一阶梯状波形和与上述第一阶梯状波形连续的第二阶梯状波形，在上述第一阶梯状波形与上述第二阶梯状波形之间，形成有产生与振铃波形成反相位的振动的振铃抑制波形。7.根据权利要求6所述的促动器，其特征在于，通过上述第一阶梯状波形产生的振铃和通过上述第二阶梯状波形产生的振...

【专利技术属性】
技术研发人员：山田健介，
申请(专利权)人：三美电机株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP