一种自动化硅片清洗机制造技术

本实用新型专利技术涉及硅片清洗技术领域，尤其为一种自动化硅片清洗机，包括清洗箱、空心板、调节杆和螺母，所述清洗箱左右端面内侧均滑动连接有空心板，所述空心板另一端面开设有均匀分布的喷孔，所述空心板上端面均转动连接有调节杆，所述空心板上方均设有固定板，所述调节杆外侧与固定板螺旋连接，所述固定板上方均设有螺母，所述螺母内侧与调节杆螺旋连接，所述固定板一端与清洗箱固定连接，所述固定板另一端滑动连接有滑动板；本实用新型专利技术中，通过设置的空心板、喷孔、储放箱和偏心轮，这种设置硅片不易损坏，保证硅片的质量，大大提高了清洗的效率，节省大量时间，且能对硅片表面进行完全清洗，具有很好的实用效益，值得推广使用。

An Automatic Silicon Wafer Cleaner

【技术实现步骤摘要】
一种自动化硅片清洗机
本技术涉及硅片清洗
，具体为一种自动化硅片清洗机。
技术介绍
半导体器件生产中硅片须经严格清洗，微量污染也会导致器件失效，清洗的目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物，这些杂质有的以原子状态或离子状态，有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面，有机污染包括光刻胶、有机溶剂残留物、合成蜡和人接触器件、工具、器皿带来的油脂或纤维，无机污染包括重金属金、铜、铁、铬等，严重影响少数载流子寿命和表面电导；碱金属如钠等，随着社会的发展，硅片质量要求越来越高，因此，对一种自动化硅片清洗机的需求日益增长。目前市场上的硅片从树脂板上脱落下来后，需要将硅片放入脱胶喷淋工装内进行硅片脱胶喷淋清洁处理，由于在喷淋时，水流量无法冲洗到硅片整个表面，影响硅片的正常使用，同时硅片薄，喷淋水压过高会导致产品报废，带来巨大的经济损失，同时带来喷淋水资源浪费的问题，且清洗效率低下，浪费大量时间，因此，针对上述问题提出一种自动化硅片清洗机。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种自动化硅片清洗机，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种自动化硅片清洗机，包括清洗箱、空心板、调节杆和螺母，所述清洗箱左右端面内侧均滑动连接有空心板，所述空心板另一端面开设有均匀分布的喷孔，所述空心板上端面均转动连接有调节杆，所述空心板上方均设有固定板，所述调节杆外侧与固定板螺旋连接，所述固定板上方均设有螺母，所述螺母内侧与调节杆螺旋连接，所述固定板一端与清洗箱固定连接，所述固定板另一端滑动连接有滑动板，所述滑动板另一端设有储放箱，所述储放箱上端面设有盖板，所述储放箱内设有硅片，所述硅片下方设有顶板，所述顶板左右端面与储放箱滑动连接，位于右侧的所述空心板下方设有密封箱，所述密封箱内部固定连接有电机，所述电机主轴末端固定连接有偏心轮，所述偏心轮下方设有过滤板，所述过滤板外侧与清洗箱固定连接，所述清洗箱左端面滑动连接有收集箱，所述清洗箱前端面固定连接有支撑板，所述支撑板上端面固定连接有水泵。优选的，所述水泵输入端与清洗箱连通，所述水泵输出端均与空心板连通。优选的，所述储放箱是由镂空的不锈钢丝构成，所述储放箱内径与硅片宽度相同。优选的，所述空心板数量为两个，且空心板关于储放箱中心呈左右对称设置，所述电机主轴外侧与密封箱转动连接，所述密封箱右端面与清洗箱固定连接。优选的，所述过滤板呈倾斜设置，所述过滤板下端面与平面所呈夹角为30°，所述收集箱位于过滤板的上方，所述水泵的输入端末端位于过滤板的下方。与现有技术相比，本技术的有益效果是：1、本技术中，通过设置的空心板、喷孔、储放箱和偏心轮，可以通过喷孔对硅片同时进行双面清洗，而双面清洗的同时硅片两面受到的压力相同，这样硅片不易损坏，保证硅片的质量，且这种设置大大提高了清洗的效率，节省大量时间，且能对硅片表面进行完全清洗，具有很好的实用效益；2、本技术中，通过设置的过滤板、水泵、收集箱和电机，可以通过电机的转动带动偏心轮转动从而硅片可以上下移动，这样保证硅片表面能完全清洗，且一次可以同时对多个硅片进行清洗，节省大量时间，保证清洗效率，节省大量水资源，这种设置具有巨大的经济效益，值得推广使用。附图说明图1为本技术整体结构示意图；图2为本技术水泵安装结构示意图。图中：1-清洗箱、2-空心板、3-调节杆、4-螺母、5-固定板、6-滑动板、7-储放箱、8-盖板、9-硅片、10-顶板、11-密封箱、12-电机、13-偏心轮、14-过滤板、15-收集箱、16-支撑板、17-水泵、a-喷孔。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-2，本技术提供一种技术方案：一种自动化硅片清洗机，包括清洗箱1、空心板2、调节杆3和螺母4，所述清洗箱1左右端面内侧均滑动连接有空心板2，所述空心板2另一端面开设有均匀分布的喷孔a，所述空心板2上端面均转动连接有调节杆3，所述空心板2上方均设有固定板5，所述调节杆3外侧与固定板5螺旋连接，所述固定板5上方均设有螺母4，所述螺母4内侧与调节杆3螺旋连接，所述固定板5一端与清洗箱1固定连接，所述固定板5另一端滑动连接有滑动板6，所述滑动板6另一端设有储放箱7，所述储放箱7上端面设有盖板8，所述储放箱7内设有硅片9，所述硅片9下方设有顶板10，所述顶板10左右端面与储放箱7滑动连接，位于右侧的所述空心板2下方设有密封箱11，所述密封箱11内部固定连接有电机12，所述电机12主轴末端固定连接有偏心轮13，所述偏心轮13下方设有过滤板14，所述过滤板14外侧与清洗箱1固定连接，所述清洗箱1左端面滑动连接有收集箱15，所述清洗箱1前端面固定连接有支撑板16，所述支撑板16上端面固定连接有水泵17。所述水泵17输入端与清洗箱1连通，所述水泵17输出端均与空心板2连通，这种设置保证装置的正常运行，具有很好的实用效益，所述储放箱7是由镂空的不锈钢丝构成，所述储放箱7内径与硅片9宽度相同，这种设置保证硅片9之间不会重叠，保证清洗的质量，所述空心板2数量为两个，且空心板2关于储放箱7中心呈左右对称设置，所述电机12主轴外侧与密封箱11转动连接，所述密封箱11右端面与清洗箱1固定连接，这种设置保证硅片9可以被全面清洗，大大节省时间，提高了效率，所述过滤板14呈倾斜设置，所述过滤板14下端面与平面所呈夹角为30°，所述收集箱15位于过滤板14的上方，所述水泵17的输入端末端位于过滤板14的下方，这种设置保证杂质可以被清洗掉，且水资源可以循环使用，避免了资源的浪费，具有很好的实用效益。所述电机12型号为YS电机，所述水泵17型号为IPL50水泵。工作流程：使用时接通电源，向清洗箱1注水，使清洗箱1水面位于过滤板14以下，首先将全部硅片9放置在储放箱7中，因为硅片9厚度与储放箱7内径相同，不会出现硅片9重叠的现象，然后通过滑动滑动板6，将储放箱7放置在滑动板6上，然后将盖板8盖在储放箱7上，这样防止外部灰尘对硅片9造成污染，通过电机12和水泵17的启动，电机12带动偏心轮13转动，偏心轮13带动顶板10上下移动，顶板10带动硅片9上下移动，而水泵17将清洗液抽出经空心板2从喷孔a喷出，从而对硅片9进行清洗，而储放箱7为镂空设置，可以保证清洗液对硅片9表面进行清洗，而通过硅片9的上下移动，从而保证硅片9每个位置都能得到充分清洗，当硅片9大小不同时，可以通过转动调节杆3带动空心板2上下移动，这样保证硅片9每个位置都得到清理，然后杂质经过滤板14过滤掉，进入收集箱15中，这种设置可以使水资源得到充分利用，避免资源的浪费，当收集箱15中杂质积累一定程度时，可以通过滑动收集箱15将杂质集中处理，这样保证硅片9表面能完全清洗，且一次可以同时对多个硅片9进行清洗，节省大量时间，保证清洗效率，节省大量水资源，这种设置具有巨大的经济效益，值得推广使用。尽管已经示出和描述了本技术的实施本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种自动化硅片清洗机，包括清洗箱(1)、空心板(2)、调节杆(3)和螺母(4)，其特征在于：所述清洗箱(1)左右端面内侧均滑动连接有空心板(2)，所述空心板(2)另一端面开设有均匀分布的喷孔(a)，所述空心板(2)上端面均转动连接有调节杆(3)，所述空心板(2)上方均设有固定板(5)，所述调节杆(3)外侧与固定板(5)螺旋连接，所述固定板(5)上方均设有螺母(4)，所述螺母(4)内侧与调节杆(3)螺旋连接，所述固定板(5)一端与清洗箱(1)固定连接，所述固定板(5)另一端滑动连接有滑动板(6)，所述滑动板(6)另一端设有储放箱(7)，所述储放箱(7)上端面设有盖板(8)，所述储放箱(7)内设有硅片(9)，所述硅片(9)下方设有顶板(10)，所述顶板(10)左右端面与储放箱(7)滑动连接，位于右侧的所述空心板(2)下方设有密封箱(11)，所述密封箱(11)内部固定连接有电机(12)，所述电机(12)主轴末端固定连接有偏心轮(13)，所述偏心轮(13)下方设有过滤板(14)，所述过滤板(14)外侧与清洗箱(1)固定连接，所述清洗箱(1)左端面滑动连接有收集箱(15)，所述清洗箱(1)前端面固定连接有支撑板(16)，所述支撑板(16)上端面固定连接有水泵(17)。...

【技术特征摘要】
1.一种自动化硅片清洗机，包括清洗箱(1)、空心板(2)、调节杆(3)和螺母(4)，其特征在于：所述清洗箱(1)左右端面内侧均滑动连接有空心板(2)，所述空心板(2)另一端面开设有均匀分布的喷孔(a)，所述空心板(2)上端面均转动连接有调节杆(3)，所述空心板(2)上方均设有固定板(5)，所述调节杆(3)外侧与固定板(5)螺旋连接，所述固定板(5)上方均设有螺母(4)，所述螺母(4)内侧与调节杆(3)螺旋连接，所述固定板(5)一端与清洗箱(1)固定连接，所述固定板(5)另一端滑动连接有滑动板(6)，所述滑动板(6)另一端设有储放箱(7)，所述储放箱(7)上端面设有盖板(8)，所述储放箱(7)内设有硅片(9)，所述硅片(9)下方设有顶板(10)，所述顶板(10)左右端面与储放箱(7)滑动连接，位于右侧的所述空心板(2)下方设有密封箱(11)，所述密封箱(11)内部固定连接有电机(12)，所述电机(12)主轴末端固定连接有偏心轮(13)，所述偏心轮(13)下方设有过滤板(14)，所述过滤板(14)外侧与清...

【专利技术属性】
技术研发人员：张建华，
申请(专利权)人：无锡中环应用材料有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32