本实用新型专利技术公开了一种脱胶槽碎硅片收集装置，包括水平放置在脱胶槽内的过滤单元、布置在脱胶槽一侧的缓存箱、以及吊起过滤单元的吊钩，缓存箱顶部敞口，所述过滤单元包括方形框体，方形框体内布置有两向下对开的滤板，所述滤板上设有转轴，方形框体上设有转轴穿出的通孔，方形框体上设有螺纹通孔，螺纹通孔内旋接有支撑滤板的螺钉，方形框体上设有吊起用的支撑杆。本实用新型专利技术中通过碎硅片残留在滤板上，定期将滤板上的碎硅片转移至缓存箱内，碎硅片清理简单。硅片清理简单。硅片清理简单。
【技术实现步骤摘要】
一种脱胶槽碎硅片收集装置
[0001]本技术涉及硅片生产设备领域，尤其涉及一种脱胶槽碎硅片收集装置。
技术介绍
[0002]硅片在进行脱胶工艺时，会有碎硅片掉落在脱胶槽内，碎硅片会堵塞排水管道，操作人员需要停机进行打捞清理，同时清理碎硅片消耗时间较长，影响生产进度，同时人工打捞也会有一定的安全风险，由于硅片比较薄，所述碎硅片很锋利，不小心会被割伤，且因为脱胶槽比较深，弯腰打捞即为不便。
技术实现思路
[0003]本技术的目的是提供一种脱胶槽碎硅片收集装置。
[0004]本技术的创新点在于通过碎硅片残留在滤板上，定期将滤板上的碎硅片转移至缓存箱内，碎硅片清理简单。
[0005]为实现上述技术目的，本技术的技术方案是：
[0006]一种脱胶槽碎硅片收集装置，包括水平放置在脱胶槽内的过滤单元、布置在脱胶槽一侧的缓存箱、以及吊起过滤单元的吊钩，所述过滤单元包括方形框体，方形框体内布置有两向下对开的滤板，所述滤板上设有转轴，方形框体上设有转轴穿出的通孔，方形框体上设有螺纹通孔，螺纹通孔内旋接有支撑滤板的螺钉，方形框体上设有吊起用的支撑杆。
[0007]料框上的碎硅片会掉落在放置在脱胶槽内的过滤单元的滤板上，当需要清理滤板上的碎硅片时，用吊钩勾住支撑杆，吊起过滤单元，将过滤单元移放至缓存箱上后，拧出螺钉，滤板由于自重和碎硅片重量，滤板向下打开，滤板上的碎硅片掉入垃圾箱内，操作人员合上滤板，拧入螺钉，过滤单元放回脱胶槽内，操作简单，碎硅片能直接收集。
[0008]作为优选，方形框体上设有支撑杆与转轴的连杆组件，所述连杆组件包括与转轴固定连接的一号连杆，与支撑杆连的二号连杆，以及两端与一号连杆和二号连杆均铰接的三号连杆，二号连杆竖直布置，方形框体上设有箍住二号连杆的卡块，二号连杆在卡块内上下滑动；当转轴向下转动时，二号连杆沿卡块下滑。打开的滤板不易合上，通过二号连杆的上下移动转变为转轴的转动，上拉支撑杆时，可以将打开的滤板的顺带关上，减小操作人员的劳动量。
[0009]作为优选，二号连杆上上下布置有两限位块，卡块位于两限位块之间。通过设置二号连杆上下移动的极限位置来控制转轴转动的角度，当下方的限位块与卡块接触时，滤板水平布置。
[0010]作为优选，滤板包括开设有网孔的板面，以及板面四周的上翻边，上翻边不凸出方形框体。碎硅片掉落在板面上，上翻边确保碎硅片不会从滤板上滑落。
[0011]作为优选，方形框体顶面设有若干用于限位料框的定位板。每个料框都放在过滤单元上的固定位置，碎硅片能集中在滤板上。
[0012]作为优选，方形框体底面设有若干定位销，缓存箱顶面设有定位销插入的销孔。过
滤单元放在缓存箱上时，确保滤板可以正常开合。
[0013]本技术的有益效果是：
[0014]1、本技术中通过碎硅片残留在滤板上，定期将滤板上的碎硅片转移至缓存箱内，碎硅片清理简单。
[0015]2、本技术中加入连杆组件，上拉支撑杆时，可以将打开的滤板的顺带关上，减小操作人员的劳动量。
[0016]3、本技术中加入定位销，过滤单元放在缓存箱上时，确保滤板可以正常开合。
附图说明
[0017]图1为本技术的正视图。
[0018]图2为本技术的爆炸图。
[0019]图3为A处的放大图。
实施方式
[0020]下面将结合附图对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
[0021]实施例1：如图1、2、3所示，一种脱胶槽碎硅片收集装置，包括水平放置在脱胶槽内的过滤单元1、布置在脱胶槽一侧的缓存箱2、以及吊起过滤单元的吊钩4，缓存箱2顶部敞口，过滤单元1包括方形框体1.1，方形框体1.1内布置有两向下对开的滤板1.2，方形框体1.1底面设有若干定位销1.11，缓存箱2顶面设有定位销1.11插入的销孔2.1，滤板1.2包括开设有网孔的板面1.21，以及板面1.21四周的上翻边1.22，上翻边1.22不凸出方形框体1.1，方形框体1.1顶面设有若干用于限位料框的定位板1.12，滤板1.2上设有转轴1.23，方形框体1.1上设有转轴1.23穿出的通孔1.13，方形框体1.1上设有螺纹通孔1.14，螺纹通孔1.14内旋接有支撑滤板1.2的螺钉3，方形框体1.1上设有吊起用的支撑杆1.3；方形框体1.1上设有支撑杆1.3与转轴1.23的连杆组件1.4，连杆组件1.4包括与转轴1.23固定连接的一号连杆1.41，与支撑杆1.3连的二号连杆1.42，以及两端与一号连杆1.41和二号连杆1.42均铰接的三号连杆1.43，二号连杆1.42竖直布置，方形框体1.1上设有箍住二号连杆1.42的卡块1.44，二号连杆1.42在卡块1.44内上下滑动，二号连杆1.42上上下布置有两限位块1.421，卡块1.44位于两限位块1.421之间；当转轴1.23向下转动时，二号连杆1.42沿卡块1.44下滑。
[0022]工作时，过滤单元1放置在脱胶槽内，过滤单元1的滤板1.2上堆积了一些碎硅片后，吊钩4勾住支撑杆1.3、吊起过滤单元1，将过滤单元1放在缓存箱2上，方形框体1.1的定位销1.11插入缓存箱2的销孔2.1，移开吊钩，操作人员向外拧螺钉3，滤板1.2失去螺钉3的支撑，滤板1.2向下打开一定角度，转轴1.23向下转动，二号连杆1.42下移，两滤板1.2上的碎硅片顺着倾斜的滤板1.2下落至缓存箱2内；将吊钩4勾住支撑杆1.3，上拉支撑杆1.3，二号连杆1.42上移，转轴1.23向上转动，滤板1.2合上，将过滤单元1放回缓存箱2内。
[0023]所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种脱胶槽碎硅片收集装置，包括水平放置在脱胶槽内的过滤单元、布置在脱胶槽一侧的缓存箱、以及吊起过滤单元的吊钩，其特征在于，缓存箱顶部敞口，所述过滤单元包括方形框体，方形框体内布置有两向下对开的滤板，所述滤板上设有转轴，方形框体上设有转轴穿出的通孔，方形框体上设有螺纹通孔，螺纹通孔内旋接有支撑滤板的螺钉，方形框体上设有吊起用的支撑杆。2.根据权利要求1所述的脱胶槽碎硅片收集装置，其特征在于，方形框体上设有支撑杆与转轴的连杆组件，所述连杆组件包括与转轴固定连接的一号连杆，与支撑杆连的二号连杆，以及两端与一号连杆和二号连杆均铰接的三号连杆，二号连杆竖直布置，方形...
【专利技术属性】
技术研发人员：瞿梦成，张昌银，白大伟，曹政民，万遥，李瑞鹏，尹贤铮，崔伟，蒋星宇，
申请(专利权)人：无锡中环应用材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。