【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅棒加工装置
本专利技术属于
，具体是涉及一种单晶硅棒加工装置。
技术介绍
单晶硅是一种比较活泼的非金属元素，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿。其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等；由于太阳能具有清洁、环保、方便等诸多优势，近三十年来，太阳能利用技术在研究开发、商业化生产、市场开拓方面都获得了长足发展，成为世界快速、稳定发展的新兴产业之一，其中在单晶硅的加工工序中，有一个工序是在长晶炉内进行拉晶，形成单晶硅棒。在晶棒生长过程中，需要被升至上炉室冷却一段时间后再取出，现有对晶棒进行冷却的机构，均为从侧部直接吹风，虽然侧吹风装置结构简单，操作方便，但冷却程度不均匀，现有的为局部冷却，靠近风面的晶棒冷却快，背面吹不到的晶棒表面冷却慢，直接影响着晶体的形状和内部结构，正对风面一侧的棒面膨胀系数大于背部一侧。
技术实现思路
本专利技术的目的是针对以上问题，提供了一种单晶硅棒加工装置，旨在形成环形气流，保证晶棒在同一区域能够均匀冷却，提高晶棒的加工质量。为实现以上目的，本专利技术采用的技术方案是，包括上炉盖、下炉盖、拉升旋转机构、提拉...
【技术保护点】
1.一种单晶硅棒加工装置，包括上炉盖(1)、下炉盖(2)、拉升旋转机构(3)、提拉杆(4)、抽气管(15)、导流筒(16)、石英坩埚(17)、加热器(19)、电极柱(20)，其特征在于，所述上炉盖(1)内设置有沿提拉杆(4)杆壁向下对晶棒进行降温的冷却机构以及防止热量散发的挡热组件，其中：冷却机构包括套设在提拉杆(4)外的引流板(5)以及安装风冷器(7)的安装底座(6)，上炉盖(1)的炉体上设置有进风孔(9)，引流板(5)上开设有降温口(8)以及使挡热组件进入对其形成封闭结构的安装槽(13)；所述挡热组件包括密封在安装槽(13)上的隔板(10)和提供压紧力的弹簧(11)，所...
【技术特征摘要】
1.一种单晶硅棒加工装置，包括上炉盖(1)、下炉盖(2)、拉升旋转机构(3)、提拉杆(4)、抽气管(15)、导流筒(16)、石英坩埚(17)、加热器(19)、电极柱(20)，其特征在于，所述上炉盖(1)内设置有沿提拉杆(4)杆壁向下对晶棒进行降温的冷却机构以及防止热量散发的挡热组件，其中：冷却机构包括套设在提拉杆(4)外的引流板(5)以及安装风冷器(7)的安装底座(6)，上炉盖(1)的炉体上设置有进风孔(9)，引流板(5)上开设有降温口(8)以及使挡热组件进入对其形成封闭结构的安装槽(13)；所述挡热组件包括密封在安装槽(13)上的隔板(10)和提供压紧力的弹簧(11)，所述提拉杆(4)上设置有在尾部生长状态时抬升隔板(10)的拉块(12)。2.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒加工装置，其特征在于，所述石英坩埚(17)的外侧焊接有防溢埚(21)，所述防溢埚(21)上开设有流道(22)，所述流道(22)的进料口低于石英坩埚(17)的顶部。3.根据权利要求2所述的一种单晶硅棒加...
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