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本发明公布了一种单晶硅棒加工装置，包括上炉盖、下炉盖、拉升旋转机构、提拉杆、抽气管、导流筒、石英坩埚、加热器、电机柱，所述上炉盖内设置有沿提拉杆杆壁向下对晶棒进行降温的冷却机构以及防止热量散发的挡热组件，其中冷却机构包括套设在提拉杆外的引流...
该专利属于阳江职业技术学院所有，仅供学习研究参考，未经过阳江职业技术学院授权不得商用。

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