一种视觉定位宏微复合平台制造技术

本发明专利技术公开了一种视觉定位宏微复合平台，所述视觉定位宏微复合平台包括：驱动X轴方向大行程移动的X轴工作台；所述视觉定位宏微复合平台还包括：柔性铰链系统、机器视觉系统和微动平台；所述柔性铰链系统包括：X轴刚性框架、X轴柔性铰链组和X轴压电陶瓷；所述X轴工作台带动所述X轴刚性框架移动；所述X轴刚性框架通过所述X轴柔性铰链组与所述微动平台连接；所述X轴压电陶瓷用于驱动所述微动平台在X轴方向上的微小位移；所述机器视觉系统用于观察所述微动平台的运动。将大行程一般精度的传统工作台与高精度小形程的微动平台相结合，利用机器视觉系统定位，得到一种高精度的宏微复合平台。

A Macro-Micro Composite Platform for Visual Positioning

【技术实现步骤摘要】
一种视觉定位宏微复合平台
本专利技术涉及超精密运动平台，尤其涉及基于压电陶瓷的视觉定位宏微复合平台。
技术介绍
随着科技的进步，人们对产品的要求越来越高，促使生产商对产品的加工精度要求也越来越高，传统的十字工作台只有大行程工作台，无法实现超精密定位，难以满足现在人们对于产品的要求。
技术实现思路
本专利技术提出了一种基于压电陶瓷的视觉定位宏微复合平台，将大行程一般精度的传统十字工作台与高精度小形程的微动平台相结合，利用机器视觉系统定位，得到一种视觉定位宏微复合平台。本专利技术采用的技术方案是：一种视觉定位宏微复合平台，所述视觉定位宏微复合平台包括：驱动X轴方向大行程移动的X轴工作台；所述视觉定位宏微复合平台还包括：柔性铰链系统、机器视觉系统和微动平台；所述柔性铰链系统包括：X轴刚性框架、X轴柔性铰链组和X轴压电陶瓷；所述X轴工作台带动所述X轴刚性框架移动；所述X轴刚性框架通过所述X轴柔性铰链组与所述微动平台连接；所述X轴压电陶瓷用于驱动所述微动平台在X轴方向上的微小位移；所述机器视觉系统用于观察所述微动平台的运动。进一步，所述视觉定位宏微复合平台包括：驱动Y轴方向大行程移动的Y轴工作台；本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种视觉定位宏微复合平台，所述视觉定位宏微复合平台包括：驱动X轴方向大行程移动的X轴工作台；其特征在于，所述视觉定位宏微复合平台还包括：柔性铰链系统、机器视觉系统和微动平台；所述柔性铰链系统包括：X轴刚性框架、X轴柔性铰链组和X轴压电陶瓷；所述X轴工作台带动所述X轴刚性框架移动；所述X轴刚性框架通过所述X轴柔性铰链组与所述微动平台连接；所述X轴压电陶瓷用于驱动所述微动平台在X轴方向上的微小位移；所述机器视觉系统用于观察所述微动平台的运动。

【技术特征摘要】
1.一种视觉定位宏微复合平台，所述视觉定位宏微复合平台包括：驱动X轴方向大行程移动的X轴工作台；其特征在于，所述视觉定位宏微复合平台还包括：柔性铰链系统、机器视觉系统和微动平台；所述柔性铰链系统包括：X轴刚性框架、X轴柔性铰链组和X轴压电陶瓷；所述X轴工作台带动所述X轴刚性框架移动；所述X轴刚性框架通过所述X轴柔性铰链组与所述微动平台连接；所述X轴压电陶瓷用于驱动所述微动平台在X轴方向上的微小位移；所述机器视觉系统用于观察所述微动平台的运动。2.根据权利要求1所述的视觉定位宏微复合平台，其特征在于，所述视觉定位宏微复合平台包括：驱动Y轴方向大行程移动的Y轴工作台；所述柔性铰链系统包括：Y轴刚性框架、Y轴柔性铰链组和Y轴压电陶瓷；所述Y轴...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨志军，熊少旺，陈新，须颖，孙晗，
申请(专利权)人：广东工业大学，
类型：发明
国别省市：广东,44