下载一种视觉定位宏微复合平台的技术资料

文档序号:22147432

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本发明公开了一种视觉定位宏微复合平台,所述视觉定位宏微复合平台包括:驱动X轴方向大行程移动的X轴工作台;所述视觉定位宏微复合平台还包括:柔性铰链系统、机器视觉系统和微动平台;所述柔性铰链系统包括:X轴刚性框架、X轴柔性铰链组和X轴压电陶瓷;...
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