一种减小液态源切换过程中流量波动的装置制造方法及图纸

一种减小液态源切换过程中流量波动的装置，涉及液态源供应设备领域，包括源罐A、源罐B、推送气体支路、工艺支路，推送气体支路包括进气总管及第一进气支管、第二进气支管，第一、二进气支管的出口端对应连接在源罐A、源罐B的气相接口阀上；进气总管上安装有第一手动隔膜阀和第一减压阀，第一进气支管上安装有第一单向节流组件和第一气动隔膜阀，第二进气支管上安装有第二单向节流组件和第二气动隔膜阀；工艺支路包括工艺总管及第一工艺支管、第二工艺支管，第一、二工艺支管的的进口端对应连接在源罐A、源罐B的液相接口阀上；本申请提供一种减小液态源切换过程中流量波动的装置，可在源罐进行切换备用时减小液态源输出的压力和流量波动。

A Device for Reducing Flow Fluctuation in the Switching Process of Liquid Source

【技术实现步骤摘要】
一种减小液态源切换过程中流量波动的装置
本技术涉及液态源供应设备领域，具体涉及一种减小液态源切换过程中流量波动的装置。
技术介绍
半导体/光伏/光纤等先进制造业，会使用到如TMA、DEZ、SiCl4等有毒有害化学液态源，工艺机台对这类液态源的流量都很小通常＜1g/min，而且允许流量波动幅度通常＜10％。这个流量对于液体来说是极小的，而且需要持续稳定供应，这就对液态源供应系统提出了很高的恒压恒流要求，液态源使用Ar/N2等惰性气体作为推送气体。比如在源罐切换过程中推送气体的压力波动，会引起液态源输出压力和流量的波动，影响生产机台的工艺参数和成品良率。如图1所示为现有的一种内置式液态源供应柜，液态源通常使用30-50psi的Ar/N2等惰性气体作为推送气体，通常当源罐A消耗设定的至低液位时，会自动打开已经准备好的备用状态的供液阀AV2B，使源罐B进入上线供液状态；随后立即自动关闭AV2A，使源罐A下线；接下来对A侧进行吹扫置换及更换A侧源罐操作，当新的满瓶的A侧源罐安装妥当后，需要执行源罐A进入备用状态操作。由于满瓶的源罐内顶部空间通常是惰性气体和少量液态源蒸汽的混合气，压力通常为大气压或微正压，低于推送气体的推送压力，故当AV1A阀门打开时(使源罐A进入备用状态)，相对压力高的推送气体会快速充进A侧源罐，由于推送气体进气口的减压阀REG1稳压限流，就会造成REG1后的推送气体压力快速下降，使得正在正常供液的源罐B内顶部的推送气体反向流进A侧源罐，约10秒后，REG1后的推送气体上升至设定值，AB两侧源罐内上半部推送气体压力平衡稳定。就是在这推送气体快速充进源罐内的10秒左右，会造成另一侧正常供液的瞬时液态源供应压力下降，在生产机台侧反应出来的就是液态源的瞬时流量波动，影响生产。故如何减小源罐切换过程中的推送气体的压力波动，从而减小液态源输出的压力和流量波动，同时保证系统安全稳定运行，都是非常重要的。
技术实现思路
为了解决上述现有技术中存在的缺陷，本申请提供一种减小液态源切换过程中流量波动的装置，其可在源罐进行切换备用时减小液态源输出的压力和流量波动。为了实现上述技术效果，本技术的具体技术方案如下：一种减小液态源切换过程中流量波动的装置，包括防爆柜体、源罐A、源罐B、电气控制箱、推送气体支路、工艺支路，所述防爆柜体内放置有所述源罐A、源罐B；所述推送气体支路的进气口、工艺支路的出口分别贯穿于所述防爆柜体的顶板；所述推送气体支路位于防爆柜体内，其包括进气总管及进气总管一端分设的第一进气支管、第二进气支管，所述第一、二进气支管的出口端分别对应连接在所述源罐A、源罐B的气相接口阀上；所述进气总管上安装有第一手动隔膜阀和第一减压阀，所述第一进气支管上安装有第一单向节流组件和第一气动隔膜阀，所述第二进气支管上安装有第二单向节流组件和第二气动隔膜阀；所述工艺支路位于防爆柜体内，其包括工艺总管及工艺总管一端分设的第一工艺支管、第二工艺支管，所述第一、二工艺支管的进口端分别对应连接在所述源罐A、源罐B的液相接口阀上；所述第一工艺支管上安装有第三气动隔膜阀和第二手动隔膜阀，所述第二工艺支管上安装有第四气动隔膜阀和第三手动隔膜阀。进一步地，所述第一单向节流组件包括第一单向阀、第一节流孔板，所述第二单向节流组件包括第二单向阀、第二节流孔板。进一步地，还包括位于防爆柜体内的吹扫支路，吹扫支路的进口贯穿于所述防爆柜体的顶板，所述吹扫支路包括吹扫总管及吹扫总管一端分设的第一吹扫支管、第二吹扫支管，所述第一、二吹扫支管的出口端分别对应连接在所述第一、二工艺支管上，所述吹扫总管上安装有第四手动隔膜阀和第二减压阀，所述第一吹扫支管安装有第五气动隔膜阀和第六气动隔膜阀，所述第二吹扫支管安装有第七气动隔膜阀和第八气动隔膜阀。进一步地，还包括位于防爆柜体内的抽真空排气支路，抽真空排气支路的出口贯穿于所述防爆柜体的顶板，所述抽真空排气支路包括排气总管及排气总管一端分设的第一排气支管、第二排气支管，所述第一、二排气支管的出口端分别对应连接在所述第五气动隔膜阀和第六气动隔膜阀之间的第一吹扫支管、第七气动隔膜阀和第八气动隔膜阀之间的第二吹扫支管上，所述排气总管、第一排气支管、第二排气支管上分别安装有第九、十、十一气动隔膜阀。进一步地，所述吹扫总管上还安装有一针孔微漏阀，所述针孔微漏阀位于第二减压阀下游的吹扫总管上。进一步地，所述防爆柜体顶板还设有用于连接离心风机进行抽风的排风口。进一步地，所述防爆柜体内设有一内置有蛭石的积液槽，所述的积液槽的槽口上设有栅格板；所述的源罐A、源罐B均设置在所述栅格板上；所述的源罐A、源罐B与栅格板之间分别设有重量传感器；所述的防爆柜体内的顶部分别设有UV/IR火焰光感探头、高温探头、烟感探头、CO2喷淋头，所述的UV/IR火焰光感探头、高温探头、烟感探头、CO2喷淋头、重量传感器和电控阀门的信号端分别连接电气控制箱内的相应信号控制端；CO2喷淋头连接位于防爆柜体外的CO2灭火系统。进一步地，所述排气总管的出口连通位于防爆柜体外的真空泵。进一步地，所述进气总管、吹扫总管上分别设有第一压力表、第二压力表。进一步地，所述第一进气支管、第二进气支管、第一工艺支管、第二工艺支管、排气总管上分别安装有第一、二、三、四、五压力传感器。依据上述技术方案，本技术在现有技术的基础上进行改进，在第一、二气动隔膜阀前端的对应的第一、二进气支管上，分别安装了一经过压力/流量计算的节流孔板和单向阀，通过安装经过压力/流量计算的节流孔板和单向阀组合，在设定的推送压力下，限制进入满瓶源罐内上半部气体流速流量，使得正在供液侧源罐内顶部的推送气体不会反向流出，确保正在正常供液侧的源罐供应压力稳定。附图说明下面通过具体实施方式结合附图对本作进一步详细说明。图1为现有技术的连接示意图；图2为本技术的连接示意图；其中，1、防爆柜体；2、进气总管；3、第一进气支管；4、第二进气支管；5、气相接口阀；6、第一手动隔膜阀；7、第一减压阀；8、第一气动隔膜阀；9、第二气动隔膜阀；10、第一单向阀；11、第一节流孔板；12、第二单向阀；13、第二节流孔板；14、工艺总管；15、第一工艺支管；16、第二工艺支管；17、液相接口阀；18、第三气动隔膜阀；19、第二手动隔膜阀；20、第四气动隔膜阀；21、第三手动隔膜阀；22、吹扫总管；23、第一吹扫支管；24、第二吹扫支管；25、第四手动隔膜阀；26、第二减压阀；27、第五气动隔膜阀；28、第六气动隔膜阀；29、第七气动隔膜阀；30、第八气动隔膜阀；31、排气总管；32、第一排气支管；33、第二排气支管；34、第九气动隔膜阀；35、第十气动隔膜阀；36、第十一气动隔膜阀；37、第一压力表；38、第二压力表；39、第一压力传感器；40、第二压力传感器；41、第三压力传感器；42、第四压力传感器；43、第五压力传感器；44、针孔微漏阀；45、排风口；46、积液槽；47、重量传感器。具体实施方式为使本实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实施方式中的附图，对本实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本技术中的实施本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种减小液态源切换过程中流量波动的装置，包括防爆柜体、源罐A、源罐B、电气控制箱，其特征在于，还包括推送气体支路、工艺支路，所述防爆柜体内放置有所述源罐A、源罐B；所述推送气体支路的进气口、工艺支路的出口分别贯穿于所述防爆柜体的顶板；所述推送气体支路位于防爆柜体内，其包括进气总管及进气总管一端分设的第一进气支管、第二进气支管，所述第一、二进气支管的出口端分别对应连接在所述源罐A、源罐B的气相接口阀上；所述进气总管上安装有第一手动隔膜阀和第一减压阀，所述第一进气支管上安装有第一单向节流组件和第一气动隔膜阀，所述第二进气支管上安装有第二单向节流组件和第二气动隔膜阀；所述工艺支路位于防爆柜体内，其包括工艺总管及工艺总管一端分设的第一工艺支管、第二工艺支管，所述第一、二工艺支管的进口端分别对应连接在所述源罐A、源罐B的液相接口阀上；所述第一工艺支管上安装有第三气动隔膜阀和第二手动隔膜阀，所述第二工艺支管上安装有第四气动隔膜阀和第三手动隔膜阀。

【技术特征摘要】
1.一种减小液态源切换过程中流量波动的装置，包括防爆柜体、源罐A、源罐B、电气控制箱，其特征在于，还包括推送气体支路、工艺支路，所述防爆柜体内放置有所述源罐A、源罐B；所述推送气体支路的进气口、工艺支路的出口分别贯穿于所述防爆柜体的顶板；所述推送气体支路位于防爆柜体内，其包括进气总管及进气总管一端分设的第一进气支管、第二进气支管，所述第一、二进气支管的出口端分别对应连接在所述源罐A、源罐B的气相接口阀上；所述进气总管上安装有第一手动隔膜阀和第一减压阀，所述第一进气支管上安装有第一单向节流组件和第一气动隔膜阀，所述第二进气支管上安装有第二单向节流组件和第二气动隔膜阀；所述工艺支路位于防爆柜体内，其包括工艺总管及工艺总管一端分设的第一工艺支管、第二工艺支管，所述第一、二工艺支管的进口端分别对应连接在所述源罐A、源罐B的液相接口阀上；所述第一工艺支管上安装有第三气动隔膜阀和第二手动隔膜阀，所述第二工艺支管上安装有第四气动隔膜阀和第三手动隔膜阀。2.如权利要求1所述的一种减小液态源切换过程中流量波动的装置，其特征在于，所述第一单向节流组件包括第一单向阀、第一节流孔板，所述第二单向节流组件包括第二单向阀、第二节流孔板。3.如权利要求2所述的一种减小液态源切换过程中流量波动的装置，其特征在于，还包括位于防爆柜体内的吹扫支路，吹扫支路的进口贯穿于所述防爆柜体的顶板，所述吹扫支路包括吹扫总管及吹扫总管一端分设的第一吹扫支管、第二吹扫支管，所述第一、二吹扫支管的出口端分别对应连接在所述第一、二工艺支管上，所述吹扫总管上安装有第四手动隔膜阀和第二减压阀，所述第一吹扫支管安装有第五气动隔膜阀和第六气动隔膜阀，所述第二吹扫支管安装有第七气动隔膜阀和第八气动隔膜阀。4.如权利要求3所述的一种减小液态源切换过程中流量波动的装置，其特征在于，还包括位于防爆柜体内的抽真空排气支路，抽真空排气...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈一林，施胜利，薛元，
申请(专利权)人：至砾机电设备上海有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31