一种单晶硅棒开方夹持装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种单晶硅棒开方夹持装置，包括单晶硅棒夹持机构；所述单晶硅棒夹持机构包括前端夹持机构、尾端夹持机构及单晶硅棒夹持机构驱动机构；所述尾端夹持机构与前端夹持机构正对设置，用于夹持和旋转单晶硅棒；所述单晶硅棒夹持机构驱动机构设置于尾端夹持机构和前端夹持机构之间，用于驱动尾端夹持机构和前端夹持机构相互靠近或远离；所述尾端夹持机构和前端夹持机构均设置有传感器，所述传感器用于扫描单晶硅棒的形状特征。本实用新型专利技术具有在夹持单晶硅棒的同时，能够检测出单晶硅棒的中轴线和晶线所处位置，从而调节单晶硅棒位置提供了信息，保证切割机构始终是沿着单晶硅棒的晶线进行切割的优点。

A Square Clamping Device for Single Crystal Silicon Bar

【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅棒开方夹持装置
本技术涉及硬脆材料切割
，尤其涉及一种单晶硅棒开方夹持装置。
技术介绍
高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制成铸锭，再对铸锭开方、截断后形成各种形状规格的棒料，即晶硅棒，目前切割晶硅棒的装置主要是线锯运行机构。现有的线锯运行机构在切割前，需要通过人工找出单晶硅棒的晶线，并标记，再通过人工上料，再依据标记线装夹单晶硅棒后进行切割，导致效率比较低下，且切割质量难保证。为了减低人工成本，现有的另一种线锯运行机构中，单晶硅棒的晶线对正是在对晶线工位上完成的，晶线对正完成后，需通过机械手将晶硅棒送至床身装置处夹紧后再进行切割，床身装置再次夹紧后并没有重新对晶线位置进行检验，而机械手再次装夹误差可能导致晶线错位；另外，由于切割缝极小，且边皮切割面较大，在切割过程中喷淋液跟随切割丝带入切割缝后会产生负压吸附住边皮，切割完成后头架的夹紧气缸和尾架端浮动夹头松开对棒料的边皮夹紧后，边皮不能很顺畅的落入接料盒中。
技术实现思路
为此，需要提供一种单晶硅棒开方夹持装置,以解决现有技术中人工对正晶线效率低下、晶线对正不准确的问题。为实现上述目的，专利技术人提供了一种单晶硅棒开方夹持装置，包括单晶硅棒夹持机构；所述单晶硅棒夹持机构包括前端夹持机构、尾端夹持机构及单晶硅棒夹持机构驱动机构；所述尾端夹持机构与前端夹持机构正对设置，用于夹持和旋转单晶硅棒；所述单晶硅棒夹持机构驱动机构设置于尾端夹持机构和前端夹持机构之间，用于驱动尾端夹持机构和前端夹持机构相互靠近或远离；所述尾端夹持机构和前端夹持机构均设置有传感器，所述传感器用于扫描单晶硅棒的形状特征。进一步地，还包括边料夹持机构；所述边料夹持机构包括夹持架、边料滑顶机构、边料拨顶机构；所述边料滑顶机构设置于夹持架的一端，所述边料拨顶机构设置于夹持架的另一端；边料滑顶机构和边料拨顶机构相对设置，且可相对靠近或远离，用于夹持和顶出单晶硅棒的边料；边料夹持机构设置有两个，两个边料夹持机构分别设置于单晶硅棒夹持机构的两侧处，且分别可靠近或远离单晶硅棒夹持机构的侧部。进一步地，所述边料夹持机构还包括边料夹持机构安装座及边料夹持机构翻转驱动机构；所述边料夹持机构安装座的一端与单晶硅棒夹持机构连接，所述边料夹持机构翻转驱动机构的底部铰接于边料夹持机构安装座的另一端；所述边料夹持机构位于边料夹持机构翻转驱动机构和单晶硅棒夹持机构之间，且边料夹持机构的底部与边料夹持机构安装座铰接；所述边料夹持机构翻转驱动机构的顶部与边料夹持机构的顶部铰接；边料夹持机构翻转驱动机构用于驱动边料夹持机构以与边料夹持机构安装座的铰接点为旋转点旋转。进一步地，所述边料滑顶机构包括滑爪、活动座板、固定座板、顶紧块及顶紧块驱动机构；所述固定座板与夹持架连接，且固定座板的正面开设有贯穿至背面的销轴孔，所述销轴孔内可活动地设置有滑动销轴；所述滑爪设置于固定座板的正面处，并与滑动销轴的端面连接，且滑爪与边料拨顶机构正对；所述固定座板的背面弹簧槽孔，所述销轴槽孔内可滑动地设置有滑动销轴，所述弹簧槽孔内固定设置有第一弹簧；所述活动座板设置于固定座板的背面处，且与第一弹簧、滑动销轴连接；所述顶紧块驱动机构通过顶紧块与活动座板连接，用于驱动活动座板、滑动销轴、滑爪靠近或远离边料拨顶机构。进一步地，所述边料拨顶机构包括拨爪、拨爪固定座、拨爪旋转驱动机构及拨爪平移驱动机构；所述拨爪固定座与夹持架连接，且可沿夹持架靠近或远离边料滑顶机构滑动；所述拨爪铰接于拨爪固定座处，所述拨爪旋转驱动机构与拨爪连接，用于驱动拨爪旋转至垂直于夹持架；所述拨爪平移驱动机构与拨爪固定座连接，用于驱动拨爪固定座沿夹持架靠近或远离边料滑顶机构滑动。进一步地，所述前端夹持机构包括前端夹持座及前端旋转盘；所述尾端夹持机构包括尾端夹持座、尾端旋转盘及旋转盘驱动电机；所述前端夹持座和尾端夹持座相对设置，所述前端旋转盘设置于前端夹持座上，所述尾端旋转盘设置于尾端夹持座上，且前端旋转盘和尾端旋转盘同轴设置；所述旋转盘驱动电机与尾端旋转盘连接，用于驱动尾端旋转盘旋转；所述前端夹持座和尾端夹持座的中部均设置有传感器安装座，所述前端夹持座和尾端夹持座的传感器安装座分别设置有传感器。进一步地，所述前端夹持座和尾端夹持座的顶部均开设有轴承安装槽；所述前端旋转盘和尾端旋转盘均包括轴承、安装座及顶销；所述轴承固定设置于轴承安装槽内，所述安装座的背面设置有旋转轴，所述旋转轴卡于轴承内；安装座的正面开设有顶销安装槽及前端盖，所述端盖设置于安装座的正面处；所述顶销设置于前端盖处，且顶销的未端穿于顶销安装槽内；顶销的末端设置有限位件，所述限位件用于限制顶销的末端穿出前端盖外；所述顶销安装槽内设置有第二弹簧，所述第二弹簧的一端顶靠着顶销安装槽，弹簧的另一端顶靠着限位件；所述尾端旋转盘还包括旋转盘驱动机构，所述旋转盘驱动机构与旋转轴连接，用于驱动旋转轴、安装座及顶销同步旋转。进一步地，还包括控制系统，所述控制系统与单晶硅棒夹持机构连接，用于控制单晶硅棒夹持机构。进一步地，所述前端夹持机构和尾端夹持机构之间设置有第一滑轨，所述前端夹持机构的底部设置有滑块，所述滑块的底部开设有与滑轨相适配的第一滑槽，所述滑块通过第一滑槽可滑动地设置于第一滑轨上。进一步地，所述前端夹持机构和尾端夹持机构均开设有传动螺母，且前端夹持机构的传动螺母与尾端夹持机构的传动螺母正对设置；所述单晶硅棒夹持机构驱动机构为丝杆电机，所述丝杆电机固定设置于尾端夹持机构处，且丝杆电机的传动丝杆依次穿过前端夹持机构的传动螺母与尾端夹持机构的传动螺母。区别于现有技术，上述技术方案所述的单晶硅棒开方夹持装置，包括单晶硅棒夹持机构；所述单晶硅棒夹持机构包括前端夹持机构、尾端夹持机构及单晶硅棒夹持机构驱动机构；所述尾端夹持机构与前端夹持机构正对设置，用于夹持和旋转单晶硅棒；所述单晶硅棒夹持机构驱动机构设置于尾端夹持机构和前端夹持机构之间，用于驱动尾端夹持机构和前端夹持机构相互靠近或远离；所述尾端夹持机构和前端夹持机构均设置有传感器，所述传感器用于扫描单晶硅棒的形状特征。在将单晶硅棒放至前端夹持机构和尾端夹持机构之间后，单晶硅棒夹持机构驱动机构驱动前端夹持机构和尾端夹持机构靠近，直至完全夹紧单晶硅棒的两端；前端夹持机构和尾端夹持机构带动单晶硅棒沿轴线旋转，此时，传感器可以扫描出单晶硅棒的形状特征；根据传感器的扫描结果所计算出中轴线的所处位置，调整单晶硅棒的位置，这样的设置则能够在切割前，将单晶硅棒的中轴线对正至切割机构的切割通道的中间处，保证切割机构可以沿着单晶硅棒的两侧的晶线进行切割。附图说明图1为本技术一实施例涉及的单晶硅棒开方机的结构图；图2为本技术一实施例涉及的双边线锯运行装置的示意图；图3为本技术一实施例涉及的环形线锯运行机构示意图；图4为本技术一实施例涉及的料车装置示意图；图5为本技术一实施例涉及的料车装置的侧视示意图；图6为本技术一实施例涉及的机械手装置示意图；图7为本技术一实施例涉及的夹爪机构示意图；图8为本技术一实施例涉及的夹爪机构夹装切割前的单晶硅棒的示意图；图9为本技术一实施例涉及的夹爪机构夹装切割后的单晶硅棒的示意图；图10为本技术一实施例涉及的单晶硅棒开方夹持本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种单晶硅棒开方夹持装置，其特征在于，包括单晶硅棒夹持机构；所述单晶硅棒夹持机构包括前端夹持机构、尾端夹持机构及单晶硅棒夹持机构驱动机构；所述尾端夹持机构与前端夹持机构正对设置，用于夹持和旋转单晶硅棒；所述单晶硅棒夹持机构驱动机构设置于尾端夹持机构和前端夹持机构之间，用于驱动尾端夹持机构和前端夹持机构相互靠近或远离；所述尾端夹持机构和前端夹持机构均设置有传感器，所述传感器用于扫描单晶硅棒的形状特征。

【技术特征摘要】
1.一种单晶硅棒开方夹持装置，其特征在于，包括单晶硅棒夹持机构；所述单晶硅棒夹持机构包括前端夹持机构、尾端夹持机构及单晶硅棒夹持机构驱动机构；所述尾端夹持机构与前端夹持机构正对设置，用于夹持和旋转单晶硅棒；所述单晶硅棒夹持机构驱动机构设置于尾端夹持机构和前端夹持机构之间，用于驱动尾端夹持机构和前端夹持机构相互靠近或远离；所述尾端夹持机构和前端夹持机构均设置有传感器，所述传感器用于扫描单晶硅棒的形状特征。2.根据权利要求1所述的单晶硅棒开方夹持装置，其特征在于，还包括边料夹持机构；所述边料夹持机构包括夹持架、边料滑顶机构、边料拨顶机构；所述边料滑顶机构设置于夹持架的一端，所述边料拨顶机构设置于夹持架的另一端；边料滑顶机构和边料拨顶机构相对设置，且可相对靠近或远离，用于夹持和顶出单晶硅棒的边料；边料夹持机构设置有两个，两个边料夹持机构分别设置于单晶硅棒夹持机构的两侧处，且分别可靠近或远离单晶硅棒夹持机构的侧部。3.根据权利要求2所述的单晶硅棒开方夹持装置，其特征在于，所述边料夹持机构还包括边料夹持机构安装座及边料夹持机构翻转驱动机构；所述边料夹持机构安装座的一端与单晶硅棒夹持机构连接，所述边料夹持机构翻转驱动机构的底部铰接于边料夹持机构安装座的另一端；所述边料夹持机构位于边料夹持机构翻转驱动机构和单晶硅棒夹持机构之间，且边料夹持机构的底部与边料夹持机构安装座铰接；所述边料夹持机构翻转驱动机构的顶部与边料夹持机构的顶部铰接；边料夹持机构翻转驱动机构用于驱动边料夹持机构以与边料夹持机构安装座的铰接点为旋转点旋转。4.根据权利要求2所述的单晶硅棒开方夹持装置，其特征在于，所述边料滑顶机构包括滑爪、活动座板、固定座板、顶紧块及顶紧块驱动机构；所述固定座板与夹持架连接，且固定座板的正面开设有贯穿至背面的销轴孔，所述销轴孔内可活动地设置有滑动销轴；所述滑爪设置于固定座板的正面处，并与滑动销轴的端面连接，且滑爪与边料拨顶机构正对；所述固定座板的背面弹簧槽孔，所述销轴槽孔内可滑动地设置有滑动销轴，所述弹簧槽孔内固定设置有第一弹簧；所述活动座板设置于固定座板的背面处，且与第一弹簧、滑动销轴连接；所述顶紧块驱动机构通过顶紧块与活动座板连接，用于驱动活动座板、滑动销轴、滑爪靠近或远离边料拨顶机构。5.根据权利要求2所述的单晶硅棒开方夹持装置，其特征在于，所述边料拨顶机构包括拨爪、拨爪固定座、拨爪旋转驱动机构及拨爪平移驱动机构；所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱文志，黄奇勋，黄田玉，林孝狮，李元业，林光展，
申请(专利权)人：福州天瑞线锯科技有限公司，
类型：新型
国别省市：福建,35