用于微型机械装置的非线性铰链制造方法及图纸

一种用于具有一铰接的可运动元件（１１，２１）的微型机械装置（１０，２０）的非线性扭转铰链（１２，２２）。每个铰链（２２）包括在同一平面内隔开的两个铰链条（２２ａ），从而至少一个铰链条（２２ａ）的旋转轴不同于可运动元件（２１）的旋转轴。结果，铰链条（２２ａ）在被扭转时必定伸长，从而提供较大的回复转矩。（*该技术在2016年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及微型机械装置，尤其涉及具有利用扭转铰链旋转的一个或多个可动元件的此类装置。机电领域中最近的一个改进已使得各种机械装置小型化。这些装置的特征是微小的传动装置、控制杆和阀门。这些“微型机械”装置利用集成电路技术并常结合电气控制电路来制造。通常使用包括加速表、压力传感器和致动器。作为另一个例子，空间光调制器可由微型机械反射镜元件构成。微型机械装置的一个类型是数字微型镜装置(DMD)，有时也叫做可形变镜装置。DMD具有上百或上千个微小的倾斜镜的阵列。入射到DMD上的光选择性地从每块镜子反射到成像平面或不被反射，以形成图像。为了使镜子倾斜，把每块镜子安装到一个或多个扭转铰链上。利用位于下层控制电路上的空气间隙来隔开镜子。控制电路提供可引起每块镜子选择性地倾斜的静电力。为了获得最佳的操作，每块镜子在需要时应立即返回其不倾斜(平衡)的位置。可预见其它的微型机械装置也使用扭转铰链。对于DMD，希望设计出可自动回复到它们平衡位置的铰链。本专利技术的一个方面是某种类型改进的微型机械装置，此类型具有至少一个被扭转铰链支撑的旋转元件，从而旋转元件可绕一旋转轴旋转。此铰链条包括至少两个铰链本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种改进的微型机械装置，它属于具有至少一个由铰链支撑的旋转元件，从而所述旋转元件可绕旋转轴旋转的类型，其特征在于该改进包括：所述铰链包括至少两个铰链条，所述铰链条在同一平面中相互隔开，从而至少一个所述铰链条的旋转轴平行于、但偏离所述运动 元件的旋转轴。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：RL奈普，DA韦布，
申请(专利权)人：德克萨斯仪器股份有限公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]