本发明专利技术公开一种线性引导装置，其具有合适长度的负载滚动体滚动槽，从而能够稳定抑制滚动体的通行振动。该线性引导装置具有导轨（１），该导轨在其两侧部具有滚动体滚动槽（３）并且轴向延伸；滑动件（２），该滑动件横跨所述导轨（１）并且具有滑动件主（２Ａ），所述滑动件体具有面向滚动体滚动槽（３）的负载滚动体滚动槽（３１）并且具有沿轴向穿透滑动件体的滚动体通道（８），所述滑动体还具有端盖（５），该端盖紧固在滑动件体（２Ａ）的两端部并且具有与两个滚动体滚动槽（３，３１）和所述滚动体通道相互连接的滚动件循环通道（６）；以及许多滚动件，其设置成他们可以在两个滚动体滚动槽（３，３１）之间滚动的同时并且经由滚动体循环通道（６）和滚动构件通道（８）而循环。负载滚动体滚动槽（３１）的长度设置成滚动体Ｂ的直径的２３至３２倍。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种线性引导装置，其适合用于需要高处理精度或测量精度的机器设备上，例如模制工艺机器或半导体制造装置。
技术介绍
用于线性地引导体部同时使例如钢珠的滚动构件在内部进行循环的线性引导装置是重要的机器部件之一，其对于半导体制造装置、超精确处理机器和超精确测量装置的移动精度具有显著的影响。于是，这样的设备的移动精度取决于导轨或安装在其上的基部表面的线性，以及伴随线性引导装置中滚动构件的封闭循环所产生的周期性细小振动。在负载在导轨的滚动构件滚动槽和滑动件的负载滚动构件滚动槽之间滚动的滚动构件上释放，同时在他们滚动到作为非负载区域的端盖中的滚动构件循环通道内而承受由预载或外部负载所施加的载荷，并且当他们从非负载区域进入到负载区域而在其上被施加负载时，产生滚动构件通行振动。为了抑制这样的滚动构件通行振动，提出了一种线性引导装置，其中，滑动件主体形成为非分离整块整体结构，并且负载滚动构件滚动槽的整体长度确定为滚动构件直径的20至50倍(例如，参考专利文献1)。专利文献1日本专利未审公报No.2000-46052。在专利文献1中所述的线性引导装置中，由于滑动件主体的负载滚动构件滚动槽的整体长度确定为滚动构件直径的20至50倍，假定滚动构件的直径为4.762mm，所以滑动件主体的负载滚动构件滚动槽的整体长度在20倍长度的情况下为95.24mm，而在50倍长度的情况下为238.1mm。因此，对抑制滚动构件通行振动起作用的负载滚动构件滚动槽整体长度的选定范围在大约143m的范围内(239.1至95.24mm)，并且为了稳定地抑制滚动构件通行振动而进行的负载滚动构件滚动槽的合适长度的选定是困难和效率低的。也就是说，过度地超过所需长度的负载滚动构件滚动槽的长度增加了整个装置的尺寸，而取决于某些情况，将负载滚动构件滚动槽长度设定成下限(95.24mm)有时不足以稳定地抑制滚动构件的通行振动。本专利技术得以完成以克服这样的缺点，并且其目的在于提供一种线性引导装置，其负载滚动构件滚动槽具有合适的长度，从而能够稳定地抑制滚动构件通行振动。
技术实现思路
为了实现上述目的，根据权利要求1的本专利技术提供了一种线性引导装置，其具有如下特征，该线性引导装置包括轴向延伸导轨、滑动件和多个滚动构件，所述导轨在其两侧具有滚动构件滚动槽，而所述滑动件横跨所述导轨并且包括滑动件主体和端盖，所述滑动件主体具有与所述导轨的滚动构件滚动槽相对的负载滚动构件滚动槽并且具有沿轴向穿透的滚动构件通道，所述端盖固定在所述滑动件主体的两端并且具有与所述滚动构件滚动槽和所述滚动构件通道两者连通的滚动构件循环通道，所述多个滚动构件设置成他们可以经由两个所述滚动构件滚动槽、所述滚动构件循环通道和所述滚动构件通道通过滚动而循环，其特征在于，所述滑动件主体的负载滚动构件滚动槽的长度确定为所述滚动构件的直径的23至32倍。附图说明图1是局部剖视透视图，其用于说明作为本专利技术优选实施例的实例的线性引导装置；图2是图1的主要部分的剖视图；图3是曲线图，其示出了在钢珠(ball)直径为4.762mm的情况中在每一预载下有效的滚动构件的数量与滚动构件通行振动的位移分量之间的关系；图4是曲线图，其示出了在钢珠直径为5.556mm的情况中在每一预载下有效的滚动构件的数量与滚动构件通行振动的位移分量之间的关系。附图标记说明1 导轨2 滑动件2A 滑动件主体 3 滚动构件滚动槽5 端盖6 滚动构件循环通道8 滚动构件通道31 负载滚动构件滚动槽B 钢珠(滚动构件)具体实施方式结合附图说明优选实施例的实例。图1是局部剖视透视图，其用于说明作为本专利技术优选实施例的实例的线性引导装置，图2是图1主要部分的剖视图，图3是曲线图，示出了在钢珠直径为4.762mm的情况中在每一预载下有效的滚动构件的数量与滚动构件通行振动的位移分量之间的关系，以及图4是曲线图，其示出了在钢珠直径为5.556mm的情况中在每一预载下有效的滚动构件的数量与滚动构件通行振动的位移分量之间的关系。如图1和2所示，根据本专利技术优选实施例的实例的线性引导装置包括轴向延伸导轨1和滑动件2，该滑动件在轴向上可移动地横跨在导轨1之上。各自在轴向上延伸的滚动构件滚动槽3形成在导轨1的两个侧部表面上，并且与滚动构件滚动槽3相对的负载滚动构件滚动槽31分别形成在滑动件2的滑动件主体2A中两个套部(sleeve)4的内侧表面上，并且在轴向上穿透的滚动构件通道8形成在套部4中。此外，各自带有弯曲成半弓形以与滚动构件滚动槽3、31和滚动通道8都连通的滚动构件循环通道6的端盖5通过螺钉12固定在滑动件主体2A的两个前和后端部上。两个滚动构件滚动槽3、31，滚动构件循环通道6以及滚动构件通道8构成封闭的滚动构件循环轨道。接下来，多个作为滚动构件的钢珠B设置在封闭的滚动构件循环轨道中，并且滑动件可以通过钢珠B的滚动在导轨1上沿轴向方向相对移动。在附图中，附图标记10指示用于将端盖5螺钉安装在滑动件主体2A端面上的塞孔，11指示侧密封条，而13指示设置在端盖的侧表面、端面等上的供油喷嘴。在该实施例中，滑动件主体2A具有非分离的整块结构，并且与负载滚动构件滚动槽31的长度除以钢珠B的直径所得到的数值(负载滚动构件滚动槽的长度/滚动构件的直径＝有效滚动构件的数量)相等的有效滚动构件的数量确定成23到32。在该实施例中，对负载滚动构件滚动槽31进行了超细研磨加工以使得槽表面的粗糙度为0.2μmRa或更小，虽然采用了根据JIS G3类的钢珠B，但是通常不限于此，而是还可以将通常的钢珠用作钢珠B。图3示出了在钢珠直径为4.762mm的情况中在各预载下所绘制的滚动构件通行振动的位移分量(μm)的量与有效滚动构件数量之间的关系，在钢珠直径为4.762mm的情况下，被认为对滚动构件通行振动的影响最为显著。从图3可以知道，如在日本未审专利公报No.2000-40652中所述的那样，滚动构件通行振动在各预载下从有效滚动构件的数量大约为20时开始减小，但取决于预载量可以观察到散布，并且在有效滚动构件的数量为23时，滚动构件通行振动的分量大小的减小比较缓和，这被认为是抑制滚动构件通行振动的稳定区域。此外，在有效滚动构件的数量超过32这样小的数值之后，由钢珠数量增加所引起的位移分量沿缓和的斜度移动。如上所述，可以确定的是，通过将负载滚动构件槽31的整个长度限定为钢珠直径的23至32倍而实现抑制滚动构件通行振动的效果。如图4所示，虽然取决于预载大小而有所不同，在钢珠直径为5.556的情况中，从有效滚动构件的数量为23开始，滚动构件通行振动的位移分量的大小的减小也变得缓和，这显示了抑制滚动构件通行振动的稳定区域。因此，鉴于滚动构件通行振动和有效滚动构件数量之间的关系取决于线性引导装置中所用钢珠直径的不同，由于当有效滚动构件的数量在23至32之间时，具有抑制滚动构件通行振动的稳定效果的区间，所以可以通过将负载滚动构件滚动槽31的整个长度限定为钢珠直径的23至32倍来提供能够抑制滚动构件通行振动的线性引导装置。在该实施例中如上所述，由于可以选定能够稳定地抑制滚动构件通行振动的负载滚动构件滚动槽31(滑动件主体2A)的合适长度，所以可以进行有效的装置设计，并且可以使对滚动构件通行振动的本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种线性引导装置，其具有如下特征，该线性引导装置包括轴向延伸导轨、滑动件和多个滚动构件，所述导轨在其两侧具有滚动构件滚动槽，而所述滑动件横跨所述导轨并且包括滑动件主体和端盖，所述滑动件主体具有与所述导轨的滚动构件滚动槽相对的负载滚动构件滚动槽并且具有沿轴向穿透的滚动构件通道，所述端盖固定在所述滑动件主体的两端并且具有与所述滚动构件滚动槽和所述滚动构件通道两者连通的滚动构件循环通道，所述多个滚动构件设置成他们可以经由两个所述滚动构件滚动槽、所述滚动构件循环通道和所述滚动构件通道通过滚动而循环，其特征在于，所述滑动件主体的负载滚动构件滚动槽的长度确定为所述滚动构件的直径的２３至３２倍。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
【专利技术属性】
技术研发人员：藤村信明，
申请(专利权)人：日本精工株式会社，NSK精密株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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