测试机制造技术

本实用新型专利技术公开一种测试机。测试机包括：载物平台，包括承载面，且能沿平行于所述承载面的方向移动和绕垂直于所述承载面的转轴转动；探针卡，设置有多根向靠近所述载物平台一侧伸出的探针；对位组件，包括：至少两个第一激光发射装置，能发射多束第一激光束，所述第一激光束沿垂直于所述承载面的方向依次排列；第二激光发射装置，能发射多束第二激光束，所述第二激光束沿垂直于所述承载面的方向依次排列，且所述第二激光束垂直于所述第一激光束。采用这种测试机进行对位，探针卡与待测器件之间对位较准确，同时还减少了人工放置探针卡的时间，提高了探针卡与待测器件之间对准的准确度，避免了探针卡的损坏。

test machine

【技术实现步骤摘要】
测试机
本技术总体来说涉及一种半导体加工
，具体而言，涉及一种测试机。
技术介绍
晶圆在被封装成完整芯片前需要进行测试，以筛选出不良的晶圆，从而降低封装成本。测试机用于对未封装的晶圆进行电学性能测试。测试机包括载物平台和探针卡。载物平台用于承载晶圆。探针卡是测试机连接晶圆的接口。探针卡上设置有多个探针，多个探针同时与晶圆上的多个焊垫直接接触来引导电信号。测试机上的测试仪器通过分析该电信号来获得晶圆的电学性能。然而，晶圆放置在载物平台上后，由于晶圆上的焊垫非常小，探针卡与晶圆之间对位难度大，需要人工花费较长的时间进行对位，效率低下。尤其是，探针卡上的探针较为脆弱，在对位不准确时，探针容易顶到其他位置使得探针和晶圆均损坏。在所述
技术介绍
部分公开的上述信息仅用于加强对本技术的背景的理解，因此它可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。
技术实现思路
在
技术实现思路
部分中引入了一系列简化形式的概念，这将在具体实施方式部分中进一步详细说明。本
技术实现思路
部分并不意味着要试图限定出所要求保护的技术方案的关键特征和必要技术特征，更不意味着试图确定所要求保护的技术方案的保护范围。本技术的一个主要目的在于克服上述现有技术的至少一种缺陷，提供一种测试机，其包括：载物平台，包括承载面，且能沿平行于所述承载面的方向移动和绕垂直于所述承载面的转轴转动；探针卡，设置在所述载物平台的上方，能沿平行于所述承载面和垂直于所述承载面的方向移动以及绕垂直于所述承载面的转轴转动，所述探针卡包括多根向靠近所述载物平台一侧伸出的探针；对位组件，包括：至少两个第一激光发射装置，能发射平行于所述载物平台的所述承载面且高于所述承载面的多束第一激光束，所述第一激光束沿垂直于所述承载面的方向依次排列；第二激光发射装置，能发射平行于所述载物平台的所述承载面且高于所述承载面的多束第二激光束，所述第二激光束沿垂直于所述承载面的方向依次排列，且所述第二激光束垂直于所述第一激光束；其中，所述第一激光发射装置能沿平行于所述第二激光束的方向移动，所述第二激光发射装置能沿平行于所述第一激光束的方向移动。根据本技术的一个实施例，所述对位组件还包括摄像机和第三激光发射装置，所述摄像机位于所述探针卡背离所述载物平台的一侧且能沿平行于所述承载面方向移动，所述第三激光发射装置安装于所述摄像机上，所述摄像机能朝载物平台一侧摄像，所述第三激光发射装置能向靠近所述载物平台一侧发射第三激光束，所述第三激光束垂直于所述承载面。根据本技术的一个实施例，所述探针卡还包括部分或全部透明的探针座；所述探针均从所述探针座向靠近所述载物平台的一侧延伸，至少一根所述探针安装在所述探针座的透明部分。根据本技术的一个实施例，所述对位组件还包括激光接收装置；所述激光接收装置的数量与所述第一激光发射装置的数量相同，所述激光接收装置与所述第一激光发射装置一一对应设置，所述第一激光发射装置与其相对应的所述激光接收装置分别位于所述载物平台的两侧；所述第一激光发射装置向与其相对应的所述激光接收装置发射所述第一激光束，所述激光接收装置用于感应是否接收到所述第一激光束。根据本技术的一个实施例，所述测试机还包括平台运动机构，所述平台运动机构设置在所述载物平台的底部，所述平台运动机构包括：第一直线执行机构；第二直线执行机构，所述第二直线执行机构安装在所述第一直线执行机构上；第一转动执行机构，所述第一转动执行机构安装在所述第二直线执行机构上，所述载物平台安装在所述第一转动执行机构上；其中，所述第一直线执行机构用于驱动所述第二执直线行机构沿平行于所述第二激光束的方向移动，所述第二直线执行机构用于驱动所述第一转动执行机构沿平行于所述第一激光束的方向移动，所述第一转动执行机构用于驱动所述载物平台绕垂直于所述承载面的轴线转动。根据本技术的一个实施例，所述测试机还包括探针运动机构，所述探针运动机构设置在所述载物平台的上方，所述探针运动机构包括：第三直线执行机构；第四直线执行机构，所述第四直线执行机构安装在所述第三直线执行机构上；升降机构，所述升降机构安装在所述第四直线执行机构上；第二转动执行机构，所述第二转动执行机构安装在所述升降机构上，所述探针卡安装在所述第二转动执行机构上；其中，所述第三直线执行机构用于驱动所述第四直线执行机构沿平行于所述第二激光束的方向移动，所述第四直线执行机构用于驱动所述升降机构沿平行于所述第一激光束的方向移动，所述升降机构用于驱动所述转动执行机构沿垂直于所述承载面的方向远离或靠近所述承载面，所述第二转动执行机构用于驱动所述探针卡绕垂直于所述承载面的方向的轴线转动。根据本技术的一个实施例，所述对位组件还包括所述相机运动机构，所述相机运动机构设置在所述探针卡背离所述载物平台的一侧，所述相机运动机构包括：第五直线执行机构；第六直线执行机构，所述第六直线执行机构安装在所述第五直线执行机构上，所述摄像机安装在所述第六直线执行机构上；其中，所述第五直线执行机构用于驱动所述第六直线执行机构沿平行于所述第二激光束的方向移动，所述第六直线执行机构用于驱动所述摄像机沿平行于所述第一激光束的方向移动。根据本技术的一个实施例，所述对位组件还包括：直条形的第一导轨，平行于所述第二激光束；安装在所述第一导轨上的多个第一滑块，能沿所述第一导轨滑动；直条形的第二导轨，平行于所述第一激光束；安装在所述第二导轨上的多个第二滑块，能沿所述第二导轨滑动；其中，所述第一激光发射装置与所述第一滑块一一对应设置，每个所述第一激光发射装置设置在与其对应的所述第一滑块上，所述第二激光发射装置与所述第二滑块一一对应设置，每个所述第二激光发射装置设置在与其对应的所述第二滑块上。根据本技术的一个实施例，所述对位组件还包括：直条形的第三导轨，平行于所述第一导轨；安装在所述第三导轨上的多个第三滑块，能沿所述第三导轨滑动；所述第三滑块的数量与所述激光接收装置的数量相同，所述第三滑块与所述激光接收装置一一对应设置，每个所述激光接收装置安装在与其对应的所述第三滑块上。根据本技术的一个实施例，所述对位组件还包括：连接架，所述连接架分别连接所述第一滑块和与该第一滑块相对齐的所述第三滑块；第七直线执行机构，所述第七直线执行机构与所述连接架一一对应连接，用于驱动与其相对应的所述连接架沿平行于所述第一导轨的方向移动。根据本技术的一个实施例，所述第一激光束、所述第二激光束的颜色均与所述第三激光束的颜色不同。由上述技术方案可知，本技术的测试机的优点和积极效果在于：采用本技术中的测试机进行第一步对位时，能先以第一激光发射装置所述发射的第一激光束和第二激光发射装置所发射出的第二激光束为标线将探针卡上的两根探针与待测器件上的两个焊垫分别对齐，探针卡与待测器件之间对位较准确，同时还减少了人工放置探针卡的时间，提高了探针卡与待测器件之间对准的准确度，避免了探针卡的损坏。附图说明通过结合附图考虑以下对本技术的优选实施例的详细说明，本技术的各种目标、特征和优点将变得更加显而易见。附图仅为本技术的示范性图解，并非一定是按比例绘制。在附图中，同样的附图标记始终表示相同或类似的部件。其中：图1是根据一示例性本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种测试机，其特征在于，包括：载物平台，包括承载面，且能沿平行于所述承载面的方向移动和绕垂直于所述承载面的转轴转动；探针卡，设置在所述载物平台的上方，能沿平行于所述承载面和垂直于所述承载面的方向移动以及绕垂直于所述承载面的转轴转动，所述探针卡包括多根向靠近所述载物平台一侧伸出的探针；对位组件，包括：至少两个第一激光发射装置，能发射平行于所述载物平台的所述承载面且高于所述承载面的多束第一激光束，所述第一激光束沿垂直于所述承载面的方向依次排列；第二激光发射装置，能发射平行于所述载物平台的所述承载面且高于所述承载面的多束第二激光束，所述第二激光束沿垂直于所述承载面的方向依次排列，且所述第二激光束垂直于所述第一激光束；其中，所述第一激光发射装置能沿平行于所述第二激光束的方向移动，所述第二激光发射装置能沿平行于所述第一激光束的方向移动。

【技术特征摘要】
1.一种测试机，其特征在于，包括：载物平台，包括承载面，且能沿平行于所述承载面的方向移动和绕垂直于所述承载面的转轴转动；探针卡，设置在所述载物平台的上方，能沿平行于所述承载面和垂直于所述承载面的方向移动以及绕垂直于所述承载面的转轴转动，所述探针卡包括多根向靠近所述载物平台一侧伸出的探针；对位组件，包括：至少两个第一激光发射装置，能发射平行于所述载物平台的所述承载面且高于所述承载面的多束第一激光束，所述第一激光束沿垂直于所述承载面的方向依次排列；第二激光发射装置，能发射平行于所述载物平台的所述承载面且高于所述承载面的多束第二激光束，所述第二激光束沿垂直于所述承载面的方向依次排列，且所述第二激光束垂直于所述第一激光束；其中，所述第一激光发射装置能沿平行于所述第二激光束的方向移动，所述第二激光发射装置能沿平行于所述第一激光束的方向移动。2.根据权利要求1所述的测试机，其特征在于，所述对位组件还包括摄像机和第三激光发射装置，所述摄像机位于所述探针卡背离所述载物平台的一侧且能沿平行于所述承载面方向移动，所述第三激光发射装置安装于所述摄像机上，所述摄像机能朝载物平台一侧摄像，所述第三激光发射装置能向靠近所述载物平台一侧发射第三激光束，所述第三激光束垂直于所述承载面。3.根据权利要求1所述的测试机，其特征在于，所述探针卡还包括部分或全部透明的探针座；所述探针均从所述探针座向靠近所述载物平台的一侧延伸，至少一根所述探针安装在所述探针座的透明部分。4.根据权利要求1至3中任一项所述的测试机，其特征在于，所述对位组件还包括激光接收装置；所述激光接收装置的数量与所述第一激光发射装置的数量相同，所述激光接收装置与所述第一激光发射装置一一对应设置，所述第一激光发射装置与其相对应的所述激光接收装置分别位于所述载物平台的两侧；所述第一激光发射装置向与其相对应的所述激光接收装置发射所述第一激光束，所述激光接收装置用于感应是否接收到所述第一激光束。5.根据权利要求1所述的测试机，其特征在于，所述测试机还包括平台运动机构，所述平台运动机构设置在所述载物平台的底部，所述平台运动机构包括：第一直线执行机构；第二直线执行机构，所述第二直线执行机构安装在所述第一直线执行机构上；第一转动执行机构，所述第一转动执行机构安装在所述第二直线执行机构上，所述载物平台安装在所述第一转动执行机构上；其中，所述第一直线执行机构用于驱动所述第二直线执行机构沿平行于所述第二激光束的方向移动，所述第二直线执行机构用于驱动所述第一转动执行机构沿平行于所述第一激光束的方向移动，所述第一转动执行机构用于驱动所述载物平台绕垂直于所述承载面的轴线转动。6.根据权利要求5所述的测试机，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：林祐贤，王伟州，张姗，蒋真正，其他发明人请求不公开姓名，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34