一种拉力测试设备制造技术
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体制造
，尤其涉及一种拉力测试设备。
技术介绍
随着半导体产品技术要求不断提高，原材料检测项目朝多样化，复杂化方向发展，由于设备投资的局限性，进行拉力测试时受材料、形状的影响存在一定的误差和局限性。需要对对现存设备的多功能性开发势在必行，本项目通过模具及软件开发对Instron拉力机进行多元化应用，以达到设备功能强化,成本节约及综合效能提高。
技术实现思路
针对现有半导体生产过程中，拉力检测设备测试功能单一、受材料、形状影响存在一定的测量误差等问题，本技术提供一种拉力测试设备，强化设备功能,节约成本及提高综合效能，为达到上述目的，本技术采用以下技术方案：本技术包括上夹具1、下夹具2、测试传感器3、横梁4、测试基座6，所述测试基座6上安装有横梁4、下夹具2；所述下夹具2包括固定平台21、限位导轨23、活动安装于限位导轨23上的至少两个凸块22；所述横梁4上活动安装有上夹具1，所述上夹具1上安装有测试传感器3。优选的，所述上夹具1设置于导轨上，所述上夹具1通过动力驱动装置与机架启动开关5有线连接，所述上夹具1通过动力驱动装置和第一无线数据传输系统与远程控制端连接。优选的，所述凸块22通过动力驱动装置与机架启动开关5连接，所述凸块22通过动力驱动装置和第一无线数据传输系统与远程控制端连接优选的，所述测试传感器3与显示屏的控制芯片有线连接，所述测试传感器3还通过无线数据传输模块与远程控制端连接，所述测试传感器3包括测力传感器、位移传感器。优选的，所述无线数据传输模块包括与动力...
【技术保护点】
一种拉力测试设备，包括上夹具(1)、下夹具(2)、测试传感器(3)、横梁(4)、测试基座(6)，其特征在于：所述测试基座(6)上安装有横梁(4)、下夹具(2)；所述下夹具(2)包括固定平台(21)、限位导轨(23)、活动安装于限位导轨(23)上的至少两个凸块(22)；所述横梁(4)上活动安装有上夹具(1)，所述上夹具(1)上安装有测试传感器(3)。
【技术特征摘要】
1.一种拉力测试设备，包括上夹具(1)、下夹具(2)、测试传感器(3)、横梁(4)、测试基座(6)，其特征在于：所述测试基座(6)上安装有横梁(4)、下夹具(2)；所述下夹具(2)包括固定平台(21)、限位导轨(23)、活动安装于限位导轨(23)上的至少两个凸块(22)；所述横梁(4)上活动安装有上夹具(1)，所述上夹具(1)上安装有测试传感器(3)。
2.根据权利要求1所述的一种拉力测试设备，其特征在于，所述上夹具(1)设置于导轨上，所述上夹具(1)通过动力驱动装置与机架启动开关(5)有线连接，所述上夹具(1)通过动力驱动装置和第一无线数据传输系统与远程控制端连接。
3.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员：卞正凤，
申请(专利权)人：海太半导体无锡有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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