一种器件参数的测量方法、系统及终端设备技术方案

本发明专利技术提供了器件参数的测量方法、系统及终端设备，方法包括：获取待测器件的测量数据和负载牵引测量系统的误差参数，所述测量数据为所述负载牵引测量系统中矢量网络分析仪的内部接收机基于所述待测器件测量的电压波；利用所述测量数据和所述负载牵引测量系统的误差参数，计算所述待测器件的参数。通过获取矢量网络分析仪测量待测器件的实时测量数据，可以实时计算待测器件的参数，不受阻抗调配器机械重复性的影响，提高了待测器件的参数的测量准确度。

A Method of Measuring Device Parameters, System and Terminal Equipment

【技术实现步骤摘要】
一种器件参数的测量方法、系统及终端设备
本专利技术属于半导体
，尤其涉及一种器件参数的测量方法、系统及终端设备。
技术介绍
目前的负载牵引测量系统由于其测量模型的原因，即需要在自校准过程中用矢量网络分析仪对各频点处的源、负载阻抗状态进行预表征，然后存入软件内部，待实际测试过程中再将阻抗调配器配置到相同的阻抗状态下，并将已存数据调出来。目前，使用负载牵引测量系统对待测器件的进行测量，由于负载牵引测量系统的机械重复性对测试精度影响很大，导致负载牵引测量系统对待测器件的测量不准确，导致最后计算的待测器件的参数不准确。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术实施例提供了一种器件参数的测量方法、系统及终端设备，以解决目前器件的参数测量不准确的问题。本专利技术实施例的第一方面提供了一种器件参数的测量方法，包括：获取待测器件的测量数据和负载牵引测量系统的误差参数，所述测量数据为所述负载牵引测量系统中矢量网络分析仪的内部接收机基于所述待测器件测量的电压波；利用所述测量数据和所述负载牵引测量系统的误差参数，计算所述待测器件的参数。本专利技术实施例的第二方面提供了一种终端设备，包括存储器、处理器以及存储在所述存储器中并可在所述处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实现如上所述器件参数的测量方法的步骤。本专利技术实施例的第三方面提供了一种系统，包括：矢量网络分析仪、源端阻抗调配器、负载端阻抗调配器、源端双定向耦合器、负载端双定向耦合器和以上所述的终端设备；所述源端阻抗调配器的第一端用于连接源端信号源，所述源端阻抗调配器的第二端连接所述源端双定向耦合器的第一端，所述源端双定向耦合器的第二端直接连接同轴或波导待测器件，或连接第一探针，所述第一探针用于连接待测器件；所述负载端阻抗调配器的第一端用于连接负载端信号源，所述负载端阻抗调配器的第二端连接所述负载端双定向耦合器的第一端，所述负载端双定向耦合器的第二端直接连接同轴或波导待测器件，或连接第二探针，所述第二探针用于连接待测器件；所述源端双定向耦合器的第三端和第四端、所述负载端双定向耦合器的第三端和第四端分别连接所述矢量网络分析仪的四个内部接收机的端口；所述终端设备与所述矢量网络分析仪相连。本专利技术实施例的第四方面提供了一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现如上所述器件参数的测量方法的步骤。本专利技术通过获取矢量网络分析仪测量待测器件的实时测量数据，可以实时计算待测器件的参数，不受阻抗调配器机械重复性的影响，提高了待测器件的参数的测量准确度。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本专利技术的一个实施例提供的器件参数的测量方法的流程示意图；图2为本专利技术的一个实施例提供的8-term系统误差模型的结构示意图；图3为本专利技术的一个实施例提供的输入反射系数测量模型的结构示意图；图4为本专利技术的一个实施例提供的输出端负载反射系数测量模型的结构示意图；图5为本专利技术的一个实施例提供的功率校准时输出端测量模型的结构示意图；图6为本专利技术的一个实施例提供的系统的结构示意图；图7为本专利技术的一个实施例提供的系统中终端设备的结构示意图；图8为本专利技术的另一个实施例提供的系统的结构示意图；图9是本专利技术的一个实施例提供的终端设备的示意图。其中：1、矢量网络分析仪；2、源端阻抗调配器；3、负载端阻抗调配器；4、源端双定向耦合器；5、负载端双定向耦合器；6、待测器件；7、第一源端隔离器；8、第一源端衰减器；9、源端放大器；10、第二源端隔离器；11、第二源端衰减器；12、第三源端衰减器；13、第二负载端衰减器；14、第三负载端衰减器；15、第一负载端隔离器；16、第一负载端衰减器；17、移相器；18、负载端放大器；19、环形器；20、功率计；21、终端设备；110、源端连接电路；120、负载端连接电路。具体实施方式以下描述中，为了说明而不是为了限定，提出了诸如特定系统结构、技术之类的具体细节，以便透彻理解本专利技术实施例。然而，本领域的技术人员应当清楚，在没有这些具体细节的其它实施例中也可以实现本专利技术。在其它情况中，省略对众所周知的系统、装置、电路以及方法的详细说明，以免不必要的细节妨碍本专利技术的描述。本专利技术的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“包括”以及其他任何变形，是指“包括但不限于”，意图在于覆盖不排他的包含。例如包含一系列步骤或单元的过程、方法或系统、产品或设备没有限定于已列出的步骤或单元，而是可选地还包括没有列出的步骤或单元，或可选地还包括对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。此外，术语“第一”、“第二”和“第三”等是用于区别不同对象，而非用于描述特定顺序。为了说明本专利技术所述的技术方案，下面通过具体实施例来进行说明。实施例1：图1示出了本专利技术一实施例所提供的器件参数的测量方法的实现流程图，为了便于说明，仅示出了与本专利技术实施例相关的部分，详述如下：如图1所示，本专利技术实施例所提供的一种器件参数的测量方法，包括：S101，获取待测器件的测量数据和负载牵引测量系统的误差参数，所述测量数据为所述负载牵引测量系统中矢量网络分析仪的内部接收机基于所述待测器件测量的电压波；S102，利用所述测量数据和所述负载牵引测量系统的误差参数，计算所述待测器件的参数。在本实施例中，测量数据为所述负载牵引测量系统中矢量网络分析仪的内部接收机基于所述待测器件测量的实时电压波。在本专利技术的实施例中，在S101之前还包括：S1101，获取所述负载牵引测量系统的校准参数和矢量网络分析仪的误差参数，所述校准参数是基于预设的测量模型校准所述负载牵引测量系统获得的；S1102，利用所述校准参数和所述矢量网络分析仪的误差参数，得到所述负载牵引测量系统的误差参数。在本专利技术的实施例中，矢量网络分析仪的误差参数包括e00，e11，e01e10，e22，e33，e23e32，e10e32；所述矢量网络分析仪的误差参数是利用校准件校准所述矢量网络分析仪获得8-term误差模型后，得到e00，e11，e01e10，e22，e33，e23e32，e10e32。如图2所示，在本实施例中，通过对常规在片矢量误差模型进行分析，在矢网内部接收机与被测件之间建立8-term误差模型(可通过12-term求解或直接求解8-term误差模型)，X和Y为误差网络，8-term误差模型中的误差参数，不随源端/负载端阻抗调配器的改变而发生改变，改变的是矢网内部接收机实时测得的电压波a1m，b1m，a2m，b2m。在本专利技术的实施例中，负载牵引测量系统的误差参数包括e00，e11，e01e10，e22,e33，e23e32，e10e32,|e32|2和|e10|2。在本专利技术的实施例中，S1102包括：S2201，基于e11，根据预设的功率校准时输出端测量模型和预设的输入反射系数测量模型，得到|e10|2；S2202，基于e10e32，根据预设的输出端测量模型，得到|e32|2，也可根据所述8-term误差模本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种器件参数的测量方法，其特征在于，包括：获取待测器件的测量数据和负载牵引测量系统的误差参数，所述测量数据为所述负载牵引测量系统中矢量网络分析仪的内部接收机基于所述待测器件测量的电压波；利用所述测量数据和所述负载牵引测量系统的误差参数，计算所述待测器件的参数。

【技术特征摘要】
1.一种器件参数的测量方法，其特征在于，包括：获取待测器件的测量数据和负载牵引测量系统的误差参数，所述测量数据为所述负载牵引测量系统中矢量网络分析仪的内部接收机基于所述待测器件测量的电压波；利用所述测量数据和所述负载牵引测量系统的误差参数，计算所述待测器件的参数。2.如权利要求1所述的器件参数的测量方法，其特征在于，在获取待测器件的测量数据和负载牵引测量系统的误差参数之前，还包括：获取所述负载牵引测量系统的校准参数和矢量网络分析仪的误差参数，所述校准参数是基于预设的测量模型校准所述负载牵引测量系统获得的；利用所述校准参数和所述矢量网络分析仪的误差参数，得到所述负载牵引测量系统的误差参数。3.如权利要求2所述的器件参数的测量方法，其特征在于，所述矢量网络分析仪的误差参数包括e00，e11，e01e10，e22，e33，e23e32，e10e32；所述矢量网络分析仪的误差参数是利用校准件校准所述矢量网络分析仪获得8-term误差模型后，得到e00，e11，e01e10，e22，e33，e23e32，e10e32。4.如权利要求3所述的器件参数的测量方法，其特征在于，所述负载牵引测量系统的误差参数包括e00，e11，e01e10，e22,e33，e23e32，e10e32，|e32|2和|e10|2；所述利用所述校准参数和所述矢量网络分析仪的误差参数，得到负载牵引测量系统的误差参数，包括：基于e11，根据预设的功率校准时输出端测量模型和预设的输入反射系数测量模型，得到|e10|2；基于e33或e10e32，根据预设的输出端测量模型，得到|e32|2；其中，所述功率校准时输出端测量模型为：所述输出端测量模型为：也可通过8-term误差模型结合所述的|e10|2，求得，其中，为功率校准时的连接源端双定向耦合器的第三端的接收机测量的电压波；为负载端接功率计时直通输入端的输入反射系数；S22c为输出探针端面与功率计连接端面的输出反射系数；S21c为输出探针端面与功率计连接端面的传输反射系数；Γpm为功率计探头的反射系数；PCAL为功率校准时功率计的读数，为功率校准时的连接负载端双定向耦合器的第三端的接收机测量的电压波；为功率校准时的连接负载端双定向耦合器的第四端的接收机测量的电压波；为功率校准时直通输出电压波。5.如权利要求1所述的器件参数的测量方法，其特征在于，所述利用所述测量数据和所述系统误差参数，计算待测器件的参数，包括：根据预设的输入反射系数测量模型、所述系统误差参数和所述测量数据，计算待测器件的输入反射系数；根据预设的输出端测量模型、所述系统误差参数和所述测量数据，计算待测器件的负载反射系数；根据所...

【专利技术属性】
技术研发人员：王一帮，霍晔，栾鹏，吴爱华，梁法国，张立飞，李彦丽，张晓云，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第十三研究所，
类型：发明
国别省市：河北,13