【技术实现步骤摘要】
电子级二氧化碳的制备装置
本技术属于气体纯化
,具体涉及电子级二氧化碳的制备装置。
技术介绍
电子工业是当今推动科技发展的高新技术产业,由于所用气体的品质多、质量要求高,人们把这类在电子工业中所用的气体统称为电子特种气体,简称电子特气。近年来,随着电子工业及半导体技术的发展,电子特气需求增加,而国内从业企业技术水平参差不齐,市场供求,从量上看供大于求,产能过剩;就质而言,能达到电子特气技术要求的只占产能的36%左右;供给短缺,电子特气还主要依赖于进口。因而,对于生产电子特气的企业来说,只有技术进步,保证其所生产的电子特气的纯度,才能满足电子特气质量要求。电子级二氧化碳(纯度在99.9999%以上)在主要用于激光、电子工业、超临界萃取、反应堆气体冷却及科学研究领域。近年来,发光二极管和平板显示器生产过程中需要用大量的电子级二氧化碳作为清洁剂,需求量激增。目前,电子级二氧化碳的生产方法,包括:采用纯度大于99.9%,含有水分、甲烷和其它一些杂质的工业级二氧化碳为原料,通过精馏方法脱除残存的低沸点气体及微量有害物质,来获取纯度为99.9999%的电子级二氧化碳。然 ...
【技术保护点】
1.一种电子级二氧化碳的制备装置,其特征在于,包括原料储罐、换热单元、汽化单元、过滤单元、干燥单元、中间贮罐、预冷单元、再沸器、精馏塔和成品储罐;所述原料储罐的出口与换热单元的液体进口连接,所述换热单元的液体出口依次与汽化单元、过滤单元和干燥单元连接;所述干燥单元的出口与换热单元的气体进口连接,所述换热单元的液化出口依次与中间贮罐、预冷单元和再沸器连接,所述预冷单元和再沸器均与精馏塔连接,所述预冷单元还与成品储罐连接。
【技术特征摘要】
1.一种电子级二氧化碳的制备装置,其特征在于,包括原料储罐、换热单元、汽化单元、过滤单元、干燥单元、中间贮罐、预冷单元、再沸器、精馏塔和成品储罐;所述原料储罐的出口与换热单元的液体进口连接,所述换热单元的液体出口依次与汽化单元、过滤单元和干燥单元连接;所述干燥单元的出口与换热单元的气体进口连接,所述换热单元的液化出口依次与中间贮罐、预冷单元和再沸器连接,所述预冷单元和再沸器均与精馏塔连接,所述预冷单元还与成品储罐连接。2.根据权利要求1所述的电子级二氧化碳的制备装置,其特征在于,还包括压力稳定装置,所述压力稳定装置与所述原料储罐连接。3.根据权利要求2所述的电子级二氧化碳的制备装置,其特征在于,所述压力稳定装置包括自增压盘管。4.根据权利要求1所述的电子级二氧化碳的制备装置,其特征在于,所述过滤单元包括活性炭过滤器;和/或,所述干燥单元包括分子筛干燥器。5.根据权利要求1所述的电子级二氧化碳的制备装置,其特征在于,所述干...
【专利技术属性】
技术研发人员:雷海平,吕其明,张建长,
申请(专利权)人:欧中电子材料重庆有限公司,
类型:新型
国别省市:重庆,50
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