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本实用新型属于气体纯化技术领域，涉及电子级二氧化碳的制备装置。本实用新型的电子级二氧化碳的制备装置，包括原料储罐、换热单元、汽化单元、过滤单元、干燥单元、中间贮罐、预冷单元、再沸器、精馏塔和成品储罐；所述原料储罐的出口与换热单元的液体进口连...
该专利属于欧中电子材料(重庆)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过欧中电子材料(重庆)有限公司授权不得商用。

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