一种晶圆合框防二次撕胶装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了半导体加工领域内的一种晶圆合框防二次撕胶装置，包括机箱，机箱内设置有搬运机器人，机箱侧面设有可升降的安全门，机箱内与搬运机器人相对应设有晶圆周向定位机构，所述晶圆周向定位机构包括固定底座，固定底座上滑动连接有移动工作台，移动工作台上侧转动连接有旋转台，机箱内部上方对应设有固定盘，固定盘下侧边缘设有周向角位移传感器，移动工作台的外壳体内设有旋转驱动机构以及横移驱动机构，固定底座靠近搬运机器人的一侧设有U形安装支架，安装支架的顶部设有颜色传感器。本实用新型专利技术能够用来预防工作人员将已撕胶的晶圆产品再次放入机箱内作业，避免二次撕胶。

A Wafer Frame Anti-secondary Tearing Device

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆合框防二次撕胶装置
本技术属于半导体加工领域，特别涉及一种晶圆合框防二次撕胶装置。
技术介绍
现有技术中，晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品。晶圆在加工过程中，需要对晶圆进行涂膜、曝光、显影、蚀刻、离子植入、金属溅镀和切割等若干工序，在晶圆表面覆盖一层保护胶膜，然后将晶圆放入机箱内使得晶圆附在底膜上，在底膜上表面的周围固定一个定位环，定位环作为晶圆的支撑体，便于对晶圆进行加工，定位方便，防止将晶圆破坏。其不足之处在于：正常状况作业下晶圆表面贴有一层保护胶膜，机台作业会将表面胶膜撕去，但不能预先判别晶圆正面是否有胶膜，如工作人员误操作将已经撕去胶膜的晶圆产品再次放入机台内作业，将会发生二次撕胶，胶带粘到晶圆正面会导致晶圆表面有大面残胶，存在生产安全的风险。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种晶圆合框防二次撕胶装置，能够用来预防工作人员将已撕胶的晶圆产品再次放入机箱内作业，避免二次撕胶，杜绝生产安全的风险。本技术的目的是这样实现的：一种晶圆合框防二次撕胶装置，包括机箱，机箱内设置有搬运机器人，机箱侧面设有可升降的安全门，所述搬运机器人与安全门相对应设置，所述机箱内与搬运机器人相对应地设有晶圆周向定位机构，所述晶圆周向定位机构包括固定底座，固定底座上经横向导轨滑动连接有移动工作台，移动工作台上侧转动连接有旋转台，机箱内部上方对应设有固定盘，固定盘下侧边缘设有周向角位移传感器，移动工作台的外壳体内设有与旋转台传动连接的旋转驱动机构以及带动移动工作台横向移动的横移驱动机构，所述固定底座靠近搬运机器人的一侧设有U形安装支架，安装支架的顶部设有颜色传感器。本技术工作时，机箱的安全门外放置有晶圆料盒，晶圆料盒内放置有若干晶圆，安全门打开后，搬运机器人抓取一个晶圆进入机箱内，然后将晶圆穿过安装支架输送到旋转台上，晶圆经过安装支架时，颜色传感器会对晶圆表面进行识别，正面附有胶膜的晶圆与不附有胶膜的晶圆的颜色不同，颜色传感器检测到表面没有胶膜的晶圆时，安全门上安装有报警器，报警器会报警，安全门不会关闭；颜色传感器检测到表面附有胶膜的晶圆时，安全门正常关闭，晶圆被送到旋转台上，移动工作台将晶圆送到固定盘下方，周向角位移传感器检测晶圆的周向位置，旋转台转动对晶圆的周向位置进行调整。与现有技术相比，本技术的有益效果在于：能够用来预防工作人员将已撕胶的晶圆产品再次放入机箱内作业，避免二次撕胶，杜绝生产安全的风险；检测到已撕胶晶圆时，机台报警停止作业，晶圆不会受到任何损伤，安全取出晶圆，具有安全防护作用。作为本技术的进一步改进，所述颜色传感器与安全门的报警器电连接。颜色传感器检测到表面没有胶膜的晶圆时，安全门的报警器会报警，安全门不会关闭。作为本技术的进一步改进，所述搬运机器人包括搬运底座，搬运底座上可转动地连接有摆臂一，摆臂一端部可转动地连接有摆臂二，摆臂二端部可转动地连接有摆臂三，摆臂三端部固定连接有Y形真空吸引手，真空吸引手下侧开设有与抽真空装置相连通的真空吸引孔。晶圆周向调整到位后，真空吸引手将晶圆吸附住，移动到指定区域。作为本技术的进一步改进，所述横移驱动机构包括竖直设置的横移电机，横移电机的输出轴向下穿过移动工作台的外壳体底部并传动连接有齿轮，所述横向导轨上沿轴向设置有齿条，齿条与齿轮相啮合。横移电机带动齿轮沿着齿条转动，移动工作台沿着横向导轨移动。作为本技术的进一步改进，所述旋转驱动机构包括竖直设置的旋转电机，旋转电机侧面通过若干径向设置的固定条与移动工作台的外壳体内侧相固定，旋转电机的输出端经减速器与旋转台的转轴传动连接，转轴外周设有轴承。旋转电机经减速器减速后带动旋转台转动。附图说明图1为本技术的结构示意图。图2为晶圆周向定位机构的左视图。图3为图1的AA向剖视图。图4为真空吸引手的俯视图。其中，1机箱，2搬运机器人，2a搬运底座，2b摆臂一，2c摆臂二，2d摆臂三，2e真空吸引手，3安全门，4晶圆周向定位机构，5固定底座，6横向导轨，7移动工作台，7a外壳体，8旋转台，8a转轴，9固定盘，10周向角位移传感器，11安装支架，12颜色传感器，13横移电机，14齿轮，15齿条，16旋转电机，17固定条，18减速器，19轴承。具体实施方式如图1-4所示，为一种晶圆合框防二次撕胶装置，包括机箱1，机箱1内设置有搬运机器人2，机箱1侧面设有可升降的安全门3，搬运机器人2与安全门3相对应设置，机箱1内与搬运机器人2相对应地设有晶圆周向定位机构4，晶圆周向定位机构4包括固定底座5，固定底座5上经横向导轨6滑动连接有移动工作台7，移动工作台7上侧转动连接有旋转台8，机箱1内部上方对应设有固定盘9，固定盘9下侧边缘设有周向角位移传感器10，移动工作台7的外壳体7a内设有与旋转台8传动连接的旋转驱动机构以及带动移动工作台7横向移动的横移驱动机构，固定底座5靠近搬运机器人2的一侧设有U形安装支架11，安装支架11的顶部设有颜色传感器12。颜色传感器12与安全门3的报警器电连接。搬运机器人2包括搬运底座2a，搬运底座2a上可转动地连接有摆臂一2b，摆臂一2b端部可转动地连接有摆臂二2c，摆臂二2c端部可转动地连接有摆臂三2d，摆臂三2d端部固定连接有Y形真空吸引手2e，真空吸引手2e下侧开设有与抽真空装置相连通的真空吸引孔。所述横移驱动机构包括竖直设置的横移电机13，横移电机13的输出轴向下穿过移动工作台7的外壳体7a底部并传动连接有齿轮14，横向导轨6上沿轴向设置有齿条15，齿条15与齿轮14相啮合。所述旋转驱动机构包括竖直设置的旋转电机16，旋转电机16侧面通过若干径向设置的固定条17与移动工作台7的外壳体7a内侧相固定，旋转电机16的输出端经减速器18与旋转台8的转轴8a传动连接，转轴8a外周设有轴承19。本装置工作时，机箱1的安全门3外放置有晶圆料盒，晶圆料盒内放置有若干晶圆，安全门3打开后，搬运机器人2抓取一个晶圆进入机箱1内，然后将晶圆穿过安装支架11输送到旋转台8上，晶圆经过安装支架11时，颜色传感器12会对晶圆表面进行识别，正面附有胶膜的晶圆与不附有胶膜的晶圆的颜色不同，颜色传感器12检测到表面没有胶膜的晶圆时，安全门3上安装有报警器，报警器会报警，安全门3不会关闭；颜色传感器12检测到表面附有胶膜的晶圆时，安全门3正常关闭，晶圆被送到旋转台8上，移动工作台7将晶圆送到固定盘9下方，周向角位移传感器10检测晶圆的周向位置，旋转台8转动对晶圆的周向位置进行调整。本装置的优点在于：能够用来预防工作人员将已撕胶的晶圆产品再次放入机箱1内作业，避免二次撕胶，杜绝生产安全的风险；检测到已撕胶晶圆时，机台报警停止作业，晶圆不会受到任何损伤，安全取出晶圆，具有安全防护作用。本技术并不局限于上述实施例，在本技术公开的技术方案的基础上，本领域的技术人员根据所公开的
技术实现思路
，不需要创造性的劳动就可以对其中的一些技术特征作出一些替换和变形，这些替换和变形均在本技术的保护范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆合框防二次撕胶装置，其特征在于，包括机箱，机箱内设置有搬运机器人，机箱侧面设有可升降的安全门，所述搬运机器人与安全门相对应设置，所述机箱内与搬运机器人相对应地设有晶圆周向定位机构，所述晶圆周向定位机构包括固定底座，固定底座上经横向导轨滑动连接有移动工作台，移动工作台上侧转动连接有旋转台，机箱内部上方对应设有固定盘，固定盘下侧边缘设有周向角位移传感器，移动工作台的外壳体内设有与旋转台传动连接的旋转驱动机构以及带动移动工作台横向移动的横移驱动机构，所述固定底座靠近搬运机器人的一侧设有U形安装支架，安装支架的顶部设有颜色传感器。

【技术特征摘要】
1.一种晶圆合框防二次撕胶装置，其特征在于，包括机箱，机箱内设置有搬运机器人，机箱侧面设有可升降的安全门，所述搬运机器人与安全门相对应设置，所述机箱内与搬运机器人相对应地设有晶圆周向定位机构，所述晶圆周向定位机构包括固定底座，固定底座上经横向导轨滑动连接有移动工作台，移动工作台上侧转动连接有旋转台，机箱内部上方对应设有固定盘，固定盘下侧边缘设有周向角位移传感器，移动工作台的外壳体内设有与旋转台传动连接的旋转驱动机构以及带动移动工作台横向移动的横移驱动机构，所述固定底座靠近搬运机器人的一侧设有U形安装支架，安装支架的顶部设有颜色传感器。2.根据权利要求1所述的一种晶圆合框防二次撕胶装置，其特征在于，所述颜色传感器与安全门的报警器电连接。3.根据权利要求1或2所述的一种晶圆合框防二次撕胶...

【专利技术属性】
技术研发人员：孟强，陈志远，聂伟，魏通，
申请(专利权)人：江苏汇成光电有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32