一种基于可调谐仿表面等离子体的宽带片上太赫兹开关制造技术

本发明专利技术公开了一种基于可调谐仿表面等离子体的宽带片上太赫兹开关，属于电磁功能器件技术领域。本发明专利技术通过将具有相变性质的二氧化钒周期的嵌套到一维亚波长金属刻槽结构中，利用二氧化钒薄膜绝缘态到金属态的相变性质，从而实现对一维亚波长金属刻槽结构的形态重构。一维亚波长金属刻槽结构形态发生变化时，其表面所支持的仿表面等离子体波的色散同时发生变化，引起其截止频率的变化，最终实现对其表面传输的太赫兹仿表面等离子体波传输特性的控制。通过仿真与实验证明，该片上太赫兹开关工作带宽宽，开关比高，便于与其他太赫兹片上器件集成，有助于实现太赫兹器件的小型化。

A Broadband On-Chip Terahertz Switch Based on Tunable Surface-like Plasmas

【技术实现步骤摘要】
一种基于可调谐仿表面等离子体的宽带片上太赫兹开关
本专利技术属于电磁功能器件
，具体涉及一种基于可调谐仿表面等离子体的宽带片上太赫兹开关。
技术介绍
太赫兹动态功能器件在许多领域都具有广泛应用，如无创医疗检查，无损故障分析，安全监控和下一代高速无线通信网络。然而由于在自然界的常规材料中很难在太赫兹频段产生有效的电磁响应，因此对于太赫兹波的调控技术发展受到限制。近几年来，可重构太赫兹超材料概念的出现为实现太赫兹波操控提供一种有效的技术路线。超材料是指将具有特定几何形状的宏观基本单元谐振结构周期性或非周期性地排列所构成的一种人工电磁周期阵列结构，可通过人为地设计谐振单元，控制其对外加电磁场的响应特性以及电磁特性。由于超材料具有非凡的电磁特性，比如人造磁性，负折射率，手性，偏振控制，以及频率选择性吸收等，可重构超材料引起了研究人员广泛的关注。目前已有大量的工作提出各种不同的超材料重构方式来控制太赫兹波，比如电控，光控，温控以及机械控制，其中涉及到了半导体材料，超导材料，相变材料，石墨烯，液晶，以及微机电技术等。自此，一系列太赫兹功能器件相继被提出来控制太赫兹的各种电磁特性，比如太赫兹本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于可调谐仿表面等离子体的宽带片上太赫兹开关，其特征在于，呈轴对称分布，包括第一共面波导(1)、第一过渡结构(2)、控制区(3)、第二过渡结构(4)、第二共面波导(5)、金属线和介质基板；第一共面波导(1)、第一过渡结构(2)、控制区(3)、第二过渡结构(4)、第二共面波导(5)依次连接并位于介质基板的上表面；共面波导(1、5)自上至下分别为第一共面波导金属覆层、第一缝隙、第二共面波导金属覆层、第二缝隙和第三共面波导金属覆层；金属线位于介质基板的上表面，由第一共面波导(1)的第二共面波导金属覆层延伸至第二共面波导(5)的第二共面波导金属覆层；过渡结构(2、4)包括两个扩口形金属覆层和过...

【技术特征摘要】
1.一种基于可调谐仿表面等离子体的宽带片上太赫兹开关，其特征在于，呈轴对称分布，包括第一共面波导(1)、第一过渡结构(2)、控制区(3)、第二过渡结构(4)、第二共面波导(5)、金属线和介质基板；第一共面波导(1)、第一过渡结构(2)、控制区(3)、第二过渡结构(4)、第二共面波导(5)依次连接并位于介质基板的上表面；共面波导(1、5)自上至下分别为第一共面波导金属覆层、第一缝隙、第二共面波导金属覆层、第二缝隙和第三共面波导金属覆层；金属线位于介质基板的上表面，由第一共面波导(1)的第二共面波导金属覆层延伸至第二共面波导(5)的第二共面波导金属覆层；过渡结构(2、4)包括两个扩口形金属覆层和过渡金属结构；第一扩口形金属覆层的上边界与介质基板的上边界重合，下边界由第一共面波导金属覆层的下边界曲线延伸至介质基板的上边界；第二扩口形金属覆层的下边界与介质基板的下边界重合，上边界由...

【专利技术属性】
技术研发人员：张亭，张雅鑫，杨梓强，梁士雄，
申请(专利权)人：电子科技大学，
类型：发明
国别省市：四川,51