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一种基于可调谐仿表面等离子体的宽带片上太赫兹开关制造技术
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下载一种基于可调谐仿表面等离子体的宽带片上太赫兹开关的技术资料
文档序号:21837205
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本发明公开了一种基于可调谐仿表面等离子体的宽带片上太赫兹开关,属于电磁功能器件技术领域。本发明通过将具有相变性质的二氧化钒周期的嵌套到一维亚波长金属刻槽结构中,利用二氧化钒薄膜绝缘态到金属态的相变性质,从而实现对一维亚波长金属刻槽结构的形态...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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